公开(公告)号：CN102121095A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201010260204.0

申请日：2010-08-20

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 崔丞镐 ,  郑石源 ,  崔永默 ,  宋贤根

IPC: C23C14/35

CPC classification number: C23C14/352 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/3417 ,  H01J37/345 ,  H01J37/347

Abstract: 公开了一种溅射系统，其包括第一和第二溅射单元、第一和第二气体供应管、第一和第二基底支撑单元。第一溅射单元包括：彼此面对的第一和第二沉积材料板；磁场产生器，位于第一和第二沉积材料板的后面。第二溅射单元包括：第三沉积材料板，靠近第一沉积材料板；第四沉积材料板，靠近第二沉积材料板，面对第三沉积材料板；磁场产生器，位于第三和第四沉积材料板的后面。第一气体供应管位于第一和第三沉积材料板之间，将气体排放到第二和第四沉积材料板。第二气体供应管位于第二和第四沉积材料板之间，将气体排放到第一和第三沉积材料板。第一基底支撑单元朝向第一和第二沉积材料板的外边缘。第二基底支撑单元朝向第三和第四沉积材料板的外边缘。

公开(公告)号：CN102195007B

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201110064882.4

申请日：2011-03-11

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 洪钟元 ,  张锡洛 ,  曹昌睦 ,  崔永默 ,  柳在光

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C14/042 ,  C23C14/243 ,  C23C14/54 ,  C23C14/568 ,  C23C16/042 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了一种薄膜沉积装置，薄膜沉积装置包括薄膜沉积组件，薄膜沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并与沉积源喷嘴单元分隔开；位置检测构件，检测基底相对于图案化缝隙片的相对位置；对准控制构件，通过利用位置检测构件检测的基底的所述相对位置来控制图案化缝隙片相对于基底的相对位置；其中，薄膜沉积组件和基底相互分隔开，并且薄膜沉积组件和基底被设置成可彼此相对移动。

公开(公告)号：CN102586738A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210008397.X

申请日：2012-01-09

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 崔永默 ,  康熙哲 ,  金綵雄 ,  金茂显 ,  李东规

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12

CPC classification number: H01L51/0004 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/56

Abstract: 一种沉积源和有机层沉积装置，其可以简单地用于制造大规模的大尺寸显示装置，并且可以防止或者基本防止沉积源喷嘴在沉积材料的沉积过程中被阻塞，从而提高制造产量和沉积效率。沉积源包括具有多个第一沉积源喷嘴的第一沉积源；以及具有多个第二沉积源喷嘴的第二沉积源，其中所述多个第一沉积源喷嘴和所述多个第二沉积源喷嘴朝向彼此倾斜。

公开(公告)号：CN102195007A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110064882.4

申请日：2011-03-11

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 洪钟元 ,  张锡洛 ,  曹昌睦 ,  崔永默 ,  柳在光

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C14/042 ,  C23C14/243 ,  C23C14/54 ,  C23C14/568 ,  C23C16/042 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了一种薄膜沉积装置，薄膜沉积装置包括薄膜沉积组件，薄膜沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并与沉积源喷嘴单元分隔开；位置检测构件，检测基底相对于图案化缝隙片的相对位置；对准控制构件，通过利用位置检测构件检测的基底的所述相对位置来控制图案化缝隙片相对于基底的相对位置；其中，薄膜沉积组件和基底相互分隔开，并且薄膜沉积组件和基底被设置成可彼此相对移动。

公开(公告)号：CN102005541A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010266406.6

申请日：2010-08-27

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 赵昌睦 ,  金钟宪 ,  崔镕燮 ,  金相洙 ,  姜熙哲 ,  崔永默

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC classification number: H01L33/005 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/6831 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明公开了一种用来大规模地制造大基底并能够具有高清晰度图案化的薄膜沉积设备和一种使用该薄膜沉积设备制造有机发光显示设备的方法，所述薄膜沉积设备包括：装载单元，将基底固定到静电吸盘上；沉积单元，包括保持在真空状态的室和设置在室中的薄膜沉积组件，用来将薄膜沉积在固定于静电吸盘上的基底上，薄膜沉积组件与基底分开预定的距离；卸载单元，将完成了沉积工艺的基底与静电吸盘分离；第一循环单元，将固定有基底的静电吸盘顺序地移动到装载单元、沉积单元和卸载单元；第二循环单元，将与基底分离的静电吸盘从卸载单元返回到装载单元，其中，第一循环单元在穿过沉积单元时穿过室。