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公开(公告)号：CN102471387A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080031198.X
申请日：2010-07-07
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C08F2/00 , C08F220/10 , G03F7/26
CPC classification number: C08F24/00 , C08F2/00 , C08F297/026 , C08F2500/06 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/0397 , G03F7/085
Abstract: 本发明提供一种聚合物的制造方法，所述聚合物可改善共聚物中构成单元的含有比率的分散性、以及分子量的分散性，能提高在溶剂中的溶解性、以及在抗蚀剂组合物中使用时的灵敏度。所述制造方法具有聚合工序，其中，一边向反应器内滴入单体以及聚合引发剂，一边聚合2种以上单体而得到聚合物，在聚合工序的初期供给第1溶液，所述第1溶液按照第1组成含有单体。在开始供给第1溶液之后或者开始供给的同时，开始滴入第2溶液，所述第2溶液按照第2组成含有单体。第2组成与计划得到的聚合物的目标组成相同，第1组成是考虑到目标组成和聚合中使用的各单体的反应性预先求出的组成。另外，在聚合工程的初期加大聚合引发剂的滴入速度。
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公开(公告)号：CN102471387B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201080031198.X
申请日：2010-07-07
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C08F2/00 , C08F220/10 , G03F7/26
CPC classification number: C08F24/00 , C08F2/00 , C08F297/026 , C08F2500/06 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/0397 , G03F7/085
Abstract: 本发明提供一种聚合物的制造方法，所述聚合物可改善共聚物中构成单元的含有比率的分散性、以及分子量的分散性，能提高在溶剂中的溶解性、以及在抗蚀剂组合物中使用时的灵敏度。所述制造方法具有聚合工序，其中，一边向反应器内滴入单体以及聚合引发剂，一边聚合2种以上单体而得到聚合物，在聚合工序的初期供给第1溶液，所述第1溶液按照第1组成含有单体。在开始供给第1溶液之后或者开始供给的同时，开始滴入第2溶液，所述第2溶液按照第2组成含有单体。第2组成与计划得到的聚合物的目标组成相同，第1组成是考虑到目标组成和聚合中使用的各单体的反应性预先求出的组成。另外，在聚合工程的初期加大聚合引发剂的滴入速度。
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公开(公告)号：CN102472982B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201080031212.6
申请日：2010-07-05
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: G03F7/26 , C08F220/10
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 提供不用实际制备光刻用组合物也可以评价含有光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性的方法。根据将光刻用共聚物溶解在溶剂中制备测试溶液的工序，及将所述测试溶液中的凝胶状物质分离的工序，及求出所述凝胶状物质中结构单元的组成比减去所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的差相对于所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的比例表示的组成比变化率的工序，以及所述组成比变化率，评价含有所述光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性。
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公开(公告)号：CN102472982A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080031212.6
申请日：2010-07-05
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: G03F7/26 , C08F220/10
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 提供不用实际制备光刻用组合物也可以评价含有光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性的方法。根据将光刻用共聚物溶解在溶剂中制备测试溶液的工序，及将所述测试溶液中的凝胶状物质分离的工序，及求出所述凝胶状物质中结构单元的组成比减去所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的差相对于所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的比例表示的组成比变化率的工序，以及所述组成比变化率，评价含有所述光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性。
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