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公开(公告)号：CN120029007A
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202510084806.1
申请日：2019-01-24
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 本发明提供拒墨性高、直线性良好的着色感光性树脂组合物。本发明的着色感光性树脂组合物含有：(A)烯属不饱和化合物、(B)光聚合引发剂、(C)碱可溶性树脂、(D)拒液剂、及(E)着色剂，其中，在所述着色感光性树脂组合物的全部固体成分中，所述(E)着色剂的含有比例为20质量%以下，所述(C)碱可溶性树脂含有(c1)侧链具有烯属不饱和基团的丙烯酸类共聚树脂、及(c2)环氧(甲基)丙烯酸酯树脂。
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公开(公告)号：CN118020026A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280065688.4
申请日：2022-09-29
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 提供具有充分的拒液性、且能够兼具喷墨涂布性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有(A)共聚物、(B)碱溶性树脂和(C)光聚合性化合物，前述(A)共聚物含有具有通过照射活性能量射线而产生自由基的活性基团的单体(a1)、具有氟原子的单体(a2)和具有碳原子数2～4的环状醚基的单体(a3)作为构成单体。
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公开(公告)号：CN114450630A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202080067602.2
申请日：2020-11-04
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/105 , G02B5/20 , G02F1/1335 , H05B33/22 , H05B33/12 , G09F9/30 , H01L51/50 , H01L27/32
Abstract: 本发明提供即使在低曝光量下也能够确保充分的拒墨性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有：(A)烯属不饱和化合物、(B)光聚合引发剂、(C)碱可溶性树脂、及(D)拒液剂，其中，所述(C)碱可溶性树脂含有具有下述通式(c1)所示的部分结构的碱可溶性树脂(C‑1)，所述(D)拒液剂含有具有交联基团的含氟原子树脂。(式(c1)中，Rc11表示氢原子或甲基，Rc12表示任选具有取代基的2价烃基，n表示2或3的整数，式(c1)中的苯环任选进一步被任意的取代基取代，*分别表示键合臂。)
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公开(公告)号：CN113993922A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202080042736.9
申请日：2020-05-29
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C08F290/00 , G03F7/004 , G03F7/027 , G02B5/20 , G09F9/00 , H01L27/32 , H05B33/12 , H01L51/50 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供一种感光性着色树脂组合物，其对绿色光的遮光性良好，能够形成拒墨性高、高精细的间隔壁。本发明的感光性着色树脂组合物含有：(A)烯属不饱和化合物、(B)光聚合引发剂、(C)碱可溶性树脂、(D)拒液剂、及(E)着色剂，所述(D)拒液剂含有具有交联基团的含氟原子树脂，所述(E)着色剂含有紫色颜料，并且，所述(E)着色剂中的所述紫色颜料的含有比例为45质量％以上。
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公开(公告)号：CN105899568A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201580003943.2
申请日：2015-01-08
Applicant: 三菱化学株式会社
CPC classification number: C08F2/44 , C08F2/50 , C09D163/00 , G02B5/305
Abstract: 本发明的课题在于提供一种热固性树脂组合物，其能够在低温下固化，可得到电可靠性优异的固化构件，并且能够形成表面性状优异的薄膜。本发明的热固性树脂组合物含有：(A)乙烯基共聚物、(B)非潜伏性咪唑系环氧固化剂、(C)含有烯属不饱和基团的化合物、以及(D)自由基聚合引发剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101165593A
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200710169939.0
申请日：2004-09-22
Applicant: 三菱化学株式会社 , 日本合成化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种感光性组合物和图像形成方法，所述组合物包含下列通式(XI)至(XIII)代表的增感剂中的至少一种类型，在所述通式(XI)～(XIII)中，环A～G各自彼此独立地具有作为基本骨架的芳烃环或芳香杂环，环A和B、环D和E、或者环F和G选择性地互相键连形成包含N的键合环；在通式(XII)中，连接基团L代表包含芳烃环和/或芳香杂环的连接基团，连接基团L和N通过所述芳烃环或芳香杂环键连，n代表至少2的整数；通式(XIII)中，R代表选择性具有取代基的烷基；环A～G和连接基团L选择性具有取代基，该取代基选择性地互相键连成环。
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公开(公告)号：CN101135850A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710182370.1
申请日：2003-08-05
Applicant: 三菱化学株式会社 , 日本合成化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/033 , G03F7/0045 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供一种成像材料及其抗蚀剂成像法，该成像材料具有对紫光区激光束高度敏感的紫激光感光性抗蚀剂材料层，同时，即使当抗蚀剂材料层的膜较厚时，其感光性也不会下降。本发明提供一种具有紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料，该成像材料包括被加工基板和形成于所述基板上的紫激光感光性抗蚀剂材料层，其中所述感光性抗蚀剂材料层的膜厚至少为10μm，并且在405nm的波长处具有每1μm膜厚至多为0.3的吸光度，本发明还提供一种抗蚀剂成像法，其中用波长为320nm至450nm的激光束对所述成像材料的感光性抗蚀剂材料层进行扫描曝光，随后进行显影处理。
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公开(公告)号：CN117136333A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202280025486.7
申请日：2022-03-28
Applicant: 三菱化学株式会社
Inventor： 利光惠理子
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供能够形成图案化性优异的间隔壁的着色感光性树脂组合物。本发明的着色感光性树脂组合物含有(a)着色剂、(b)碱可溶性树脂、(c)光聚合引发剂、(d)光聚合性化合物及(e)拒液剂，相对于着色感光性树脂组合物的全部固体成分量，上述(a)着色剂的含有比例为20质量％以下，上述(a)着色剂含有(a1)氧化钛粒子，上述(b)碱可溶性树脂的双键当量为1000g/mol以下，上述(c)光聚合引发剂含有在波长300～350nm具有极大吸收波长(λmax)的肟酯类光聚合引发剂(c1)，上述(e)拒液剂含有化合物(e1)，该化合物(e1)具有交联基团、且具有氟原子和/或硅氧烷链。
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公开(公告)号：CN111566561A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201980007828.0
申请日：2019-01-24
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 本发明提供拒墨性高、直线性良好的着色感光性树脂组合物。本发明的着色感光性树脂组合物含有：(A)烯属不饱和化合物、(B)光聚合引发剂、(C)碱可溶性树脂、(D)拒液剂、及(E)着色剂，其中，在所述着色感光性树脂组合物的全部固体成分中，所述(E)着色剂的含有比例为20质量％以下，所述(C)碱可溶性树脂含有(c1)侧链具有烯属不饱和基团的丙烯酸类共聚树脂、及(c2)环氧(甲基)丙烯酸酯树脂。
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公开(公告)号：CN106662694A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580041457.X
申请日：2015-07-30
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种光学元件的制造方法，该光学元件可容易地图案化且尺寸精度优异，具有无涂布缺陷的均匀的光学膜和保护膜，不受水和溶剂的影响。本发明涉及具有以下工序的光学元件的制造方法：(I)在基板上形成具有各向异性的光学膜，然后进行不溶性处理的工序；(II)在所述光学膜上形成保护层的工序；及(III)通过在所述保护层上设置掩模并进行曝光，采用碱性溶液进行显影，对所述保护层和所述光学膜进行图案化的工序。
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