公开(公告)号：CN105264440B

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201480032260.5

申请日：2014-05-28

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 高须贺大晃 ,  越后雅敏 ,  冈田悠 ,  落合由美

IPC: G03F7/004 ,  C08G8/22 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及的抗蚀剂组合物包含含有抗蚀基材的固体成分和溶剂。进而，本发明涉及的抗蚀剂组合物中，前述抗蚀剂组合物中的固体成分处于1～80质量％的范围内、溶剂处于20～99质量％的范围内，前述抗蚀基材含有规定的式(1)所示的化合物(ctt体)和规定的式(3)所示的化合物，规定的式(1)所示的化合物(ctt体)在前述抗蚀基材中所占的比例为65～99质量％，并且规定的式(3)所示的化合物与规定的式(1)所示的化合物(ctt体)的质量比率为0.01～0.53。

公开(公告)号：CN105264440A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201480032260.5

申请日：2014-05-28

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 高须贺大晃 ,  越后雅敏 ,  冈田悠 ,  落合由美

IPC: G03F7/004 ,  C08G8/22 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及的抗蚀剂组合物包含含有抗蚀基材的固体成分和溶剂。进而，本发明涉及的抗蚀剂组合物中，前述抗蚀剂组合物中的固体成分处于1～80质量％的范围内、溶剂处于20～99质量％的范围内，前述抗蚀基材含有规定的式(1)所示的化合物(ctt体)和规定的式(3)所示的化合物，规定的式(1)所示的化合物(ctt体)在前述抗蚀基材中所占的比例为65～99质量％，并且规定的式(3)所示的化合物与规定的式(1)所示的化合物(ctt体)的质量比率为0.01～0.53。

公开(公告)号：CN104737073B

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201380054587.8

申请日：2013-10-16

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 高须贺大晃 ,  越后雅敏 ,  冈田悠 ,  落合由美

IPC: G03F7/038 ,  C07C39/17 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的抗蚀剂组合物为包含抗蚀基材和溶剂的抗蚀剂组合物，该抗蚀基材含有特定的立体异构体，且前述特定的立体异构体占该抗蚀基材的比率为50～100质量％。

公开(公告)号：CN104737073A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201380054587.8

申请日：2013-10-16

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 高须贺大晃 ,  越后雅敏 ,  冈田悠 ,  落合由美

IPC: G03F7/038 ,  C07C39/17 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/027 ,  C07C39/17 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/92 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的抗蚀剂组合物为包含抗蚀基材和溶剂的抗蚀剂组合物，该抗蚀基材含有特定的立体异构体，且前述特定的立体异构体占该抗蚀基材的比率为50～100质量％。