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    薄膜晶体管衬底、薄膜晶体管的制造方法以及显示装置
    1.
    发明授权
    薄膜晶体管衬底、薄膜晶体管的制造方法以及显示装置 有权

    公开(公告)号：CN100550399C

    公开(公告)日：2009-10-14

    申请号：CN200710138489.9

    申请日：2007-08-08

    Applicant: 三菱电机株式会社

    Inventor： 西浦笃德 ,  今村卓司

    IPC: H01L27/12 ,  H01L21/84 ,  G02F1/1362

    CPC classification number: H01L27/124 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/1255 ,  H01L27/1288

    Abstract: 本发明提供减少掩膜数和步骤数的薄膜晶体管衬底，包括：形成在衬底(1)上的第一导电层(7)；形成在第一导电层(7)上的防扩散层(2)；形成在防扩散层(2)上的半导体层(3)；形成在半导体层(3)上的栅极绝缘层(4)；形成在栅极绝缘层(4)上的第二导电层(5)；形成在第二导电层(5)上的层间绝缘层(6)；第三导电层(9)，形成在以贯通层间绝缘层(6)与栅极绝缘层(4)达到半导体层(3)的方式形成的第一接触孔内、以贯通层间绝缘层(6)、栅极绝缘层(4)和防扩散层(2)到达第一导电层(7)的方式形成的第二接触孔内和层间绝缘层(6)上，第三导电层(9)包括以岛状形成在层间绝缘层(6)上的像素电极(9a)。

    有源矩阵显示装置
    2.
    发明公开
    有源矩阵显示装置 失效

    公开(公告)号：CN101090125A

    公开(公告)日：2007-12-19

    申请号：CN200710110028.0

    申请日：2007-06-12

    Applicant: 三菱电机株式会社

    Inventor： 永田一志 ,  今村卓司

    IPC: H01L27/12 ,  G02F1/1362

    CPC classification number: H01L27/124 ,  G02F1/133555 ,  G02F1/1362 ,  G02F2201/123 ,  G02F2202/104 ,  H01L27/1255

    Abstract: 本发明提供一种减少LTPS TFT的构图步骤数的有源矩阵显示装置。本发明的有源矩阵显示装置包括：具有形成在绝缘衬底(1)上的源极区域(2a)、漏极区域(2c)及沟道区域(2b)的多晶硅层(2)；形成在多晶硅层(2)上的栅极绝缘层(4)；形成在栅极绝缘层(4)上的栅电极(5)；形成在栅电极(5)上的层间绝缘层(7)；通过设置在层间绝缘层(7)上的接触孔(12)与源极区域(2a)及漏极区域(2c)连接的布线层(9)。而且，由形成在绝缘衬底(1)上的第一像素电极(3a)、栅极绝缘层(4)及形成在与栅电极(5)相同层上的电容器上部电极(6)构成电容器。

    显示面板以及显示装置
    3.
    发明授权
    显示面板以及显示装置 有权

    公开(公告)号：CN106062684B

    公开(公告)日：2019-03-12

    申请号：CN201480076804.8

    申请日：2014-12-22

    Applicant: 三菱电机株式会社

    Inventor： 折田泰 ,  中川直纪 ,  大野岳 ,  上里将史 ,  森成一郎 ,  宫山隆 ,  今村卓司

    IPC: G06F3/041 ,  G02F1/1333 ,  G06F3/044

    Abstract: 本发明提供一种显示面板，具备：显示功能部(3)，形成为在对置的透明基板(14、58)之间夹着显示功能层；以及触摸屏幕部(1)，构成为具有由金属的导电材料构成的下部布线(20)以及上部布线(30)，在下部布线(20)与上部布线(30)之间配置层间绝缘膜(11)，用保护膜(12)覆盖下部布线(20)、上部布线(30)以及层间绝缘膜(11)，其中，触摸屏幕部(1)的下部布线(20)形成于在观察者侧配置的透明基板(14)的观察者侧的面。这样，下部布线(20)以及上部布线(30)由在化学上稳定的金属布线材料构成，形成于显示功能部(3)的透明基板(14)上，所以能够形成耐水性、耐化学药品性优良的层间绝缘膜(11)以及保护膜(12)而实现优良的耐环境性，并且使装置薄型化、轻质化。

    触摸屏幕
    5.
    发明公开
    触摸屏幕 有权

    公开(公告)号：CN104685453A

    公开(公告)日：2015-06-03

    申请号：CN201380050186.5

    申请日：2013-08-02

    Applicant: 三菱电机株式会社

    Inventor： 大野岳 ,  中川直纪 ,  上里将史 ,  西冈孝博 ,  森成一郎 ,  宫山隆 ,  今村卓司 ,  中村达也

    IPC: G06F3/041 ,  G06F3/044

    CPC classification number: G06F3/044 ,  G06F1/16 ,  G06F2203/04111 ,  G06F2203/04112

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种触摸屏幕，该触摸屏幕的行方向布线与列方向布线之间的交叉电容小、并且在通过指示体进行了触摸时的交叉电容的变化大。在触摸屏幕(1)中，行方向布线(21)由第1部分(E1)、和布线宽度(W2)比第1部分(E1)的布线宽度(W1)小的第2部分(E2)构成。列方向布线(31)的布线宽度(Wc)小于第2部分(E2)的行方向的长度(M2)。行方向布线(21)和列方向布线(31)在第2部分(E2)交叉，在交叉部分，在行方向布线(21)与列方向布线(31)之间，在俯视下形成间隙。触摸屏幕(1)还具备在俯视下填补该间隙的浮置布线(21a)，浮置布线(21a)形成于与行方向布线(21)或者列方向布线(31)相同的层，与任意布线都绝缘。

    触摸屏
    6.
    发明公开
    触摸屏 有权

    公开(公告)号：CN103853403A

    公开(公告)日：2014-06-11

    申请号：CN201310640934.7

    申请日：2013-12-04

    Applicant: 三菱电机株式会社

    Inventor： 中村达也 ,  今村卓司 ,  大野岳 ,  中川直纪 ,  上里将史 ,  森成一郎 ,  宫山隆

    IPC: G06F3/044

    CPC classification number: G06F3/044 ,  G06F2203/04112

    Abstract: 本发明所涉及的触摸屏(1)被由行方向布线(21)和列方向布线(31)的上下两层构成的布线图案覆盖，其特征在于，抑制在将浮动电极(21a)设于与行方向布线(21)和列方向布线(31)邻接的区域时产生的、在上部电极(30)搭上下部电极(20)时产生的阶梯差。从而本发明通过改善在将浮动电极设置于行方向布线与列方向布线之间时产生的显示品质的代价以提供视觉辨认性较好的触摸屏。

    显示装置及其制造方法
    9.
    发明公开
    显示装置及其制造方法 无效

    公开(公告)号：CN101179084A

    公开(公告)日：2008-05-14

    申请号：CN200710186020.2

    申请日：2007-11-09

    Applicant: 三菱电机株式会社

    Inventor： 今村卓司

    IPC: H01L27/12 ,  H01L21/84 ,  G02F1/1362

    CPC classification number: H01L27/0248 ,  H01L27/12 ,  H01L27/124 ,  H01L27/13

    Abstract: 提供一种高成品率且可靠性高的显示装置及其制造方法。本发明的显示装置包括：衬底(1)；电容器下部电极(20)，具有形成在上述衬底(1)上的多晶硅膜(4)和设置在多晶硅膜(4)上的接触金属膜(5)；栅极绝缘膜(6)，形成在电容器下部电极(20)上；以及栅极金属电极(7)，在栅极绝缘膜(6)上的与电容器下部电极(20)对置的位置上，以在俯视图中配置在电容器下部电极(20)的方式形成。

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