-
公开(公告)号：CN110537138A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201780089813.4
申请日：2017-04-25
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02F1/015
Abstract: 光调制装置具备：具有第一电容的第一光调制器、具有比第一电容大的第二电容的第二光调制器、具有第一电感且一端与第一光调制器连接的第一供电路径、具有比第一电感大的第二电感且一端与第二光调制器连接的第二供电路径。在将横轴设为电感，将纵轴设为电容值的曲线图中，对预先确定的下限直线和预先确定的上限直线之间的预先确定的规定范围进行设定。以由第一电容和第一电感决定的第一坐标及由第二电容和第二电感决定的第二坐标落在该规定范围内的方式，规定第一电容、第一电感、第二电容及第二电感。
-
公开(公告)号：CN107706739A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201710670452.4
申请日：2017-08-08
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 高木和久
IPC: H01S5/12
Abstract: 得到能够以nm级别对衍射光栅端部和光调制器出射端面的距离进行控制的光设备的制造方法。在有源层(2)之上的第1绝缘膜(18)通过电子束曝光形成衍射光栅图案，与此同时，在光吸收层(5)之上的第1绝缘膜通过电子束曝光形成以光调制器的成为出射端面的位置作为端部的端面形成图案。在第1绝缘膜的端面形成图案之上形成第2绝缘膜(20)。将第1及第2绝缘膜作为掩模对衍射光栅形成层(17)进行蚀刻而形成衍射光栅(3)，由填埋层(4)填埋衍射光栅。将第2绝缘膜去除，在衍射光栅及填埋层之上以不覆盖端面形成图案的方式形成第3绝缘膜(21)。将第1及第3绝缘膜作为掩模对光吸收层(5)进行蚀刻而形成光调制器的出射端面。
-
公开(公告)号：CN103378544B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201310128713.1
申请日：2013-04-15
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S5/0085 , B82Y20/00 , H01L2224/48091 , H01S3/10 , H01S5/0208 , H01S5/02276 , H01S5/0265 , H01S5/0422 , H01S5/0425 , H01S5/12 , H01S5/2224 , H01S5/227 , H01S5/3211 , H01S5/34306 , H01S2301/176 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明涉及调制器集成型激光器元件。本发明的目的在于提供一种能够不产生问题地对调制器进行差动驱动的调制器集成型激光器元件。一种调制器集成型激光器元件，在同一基板（40）上形成有：具有第一下包覆层（42）的激光器部（12）、具有第二下包覆层（60）的分离部（14）和具有第三下包覆层（70）的调制部（16），其中，调制器集成型激光器元件的短尺寸方向的该第二下包覆层（60）的宽度比该第一下包覆层（42）的宽度及该第三下包覆层（70）的宽度窄。
-
公开(公告)号：CN103378544A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310128713.1
申请日：2013-04-15
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S5/0085 , B82Y20/00 , H01L2224/48091 , H01S3/10 , H01S5/0208 , H01S5/02276 , H01S5/0265 , H01S5/0422 , H01S5/0425 , H01S5/12 , H01S5/2224 , H01S5/227 , H01S5/3211 , H01S5/34306 , H01S2301/176 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明涉及调制器集成型激光器元件。本发明的目的在于提供一种能够不产生问题地对调制器进行差动驱动的调制器集成型激光器元件。一种调制器集成型激光器元件，在同一基板（40）上形成有：具有第一下包覆层（42）的激光器部（12）、具有第二下包覆层（60）的分离部（14）和具有第三下包覆层（70）的调制部（16），其中，调制器集成型激光器元件的短尺寸方向的该第二下包覆层（60）的宽度比该第一下包覆层（42）的宽度及该第三下包覆层（70）的宽度窄。
-
公开(公告)号：CN110612645A
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201780090706.3
申请日：2017-05-17
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 高木和久
IPC: H01S5/022
Abstract: 在管座(1)安装有多波长集成元件(5)，该多波长集成元件(5)具有多个半导体激光器(6)以及分别对多个半导体激光器(6)的输出光进行调制的多个调制器(7)。多个引线(10)贯穿管座(1)，分别与多个半导体激光器(6)以及多个调制器(7)连接。各引线(10)是多个层以同心圆状重叠的同轴线路。同轴线路具有：高频信号线(12)，其向调制器(7)传输高频信号；GND线(14)；以及供电线(16)，其向半导体激光器(6)供给直流电流。高频信号线(12)配置在同轴线路的中央。GND线(14)以及供电线(16)配置在高频信号线(12)的外侧。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107706739B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201710670452.4
申请日：2017-08-08
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 高木和久
IPC: H01S5/12
Abstract: 得到能够以nm级别对衍射光栅端部和光调制器出射端面的距离进行控制的光设备的制造方法。在有源层(2)之上的第1绝缘膜(18)通过电子束曝光形成衍射光栅图案，与此同时，在光吸收层(5)之上的第1绝缘膜通过电子束曝光形成以光调制器的成为出射端面的位置作为端部的端面形成图案。在第1绝缘膜的端面形成图案之上形成第2绝缘膜(20)。将第1及第2绝缘膜作为掩模对衍射光栅形成层(17)进行蚀刻而形成衍射光栅(3)，由填埋层(4)填埋衍射光栅。将第2绝缘膜去除，在衍射光栅及填埋层之上以不覆盖端面形成图案的方式形成第3绝缘膜(21)。将第1及第3绝缘膜作为掩模对光吸收层(5)进行蚀刻而形成光调制器的出射端面。
-
公开(公告)号：CN103515841B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310252029.4
申请日：2013-06-24
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 高木和久
CPC classification number: H01S5/22 , B82Y20/00 , H01S5/026 , H01S5/0265 , H01S5/0655 , H01S5/12 , H01S5/34306 , H01S5/4031
Abstract: 根据本发明，获得能够使半导体激光器部的振荡光的横模稳定化、并且防止频率特性的劣化的光半导体装置及其制造方法。在n-InP衬底(1)上集成有半导体激光器部(2)和光调制器部(3)。光调制器部(3)将从半导体激光器部(2)出射的光调制。半导体激光器部(2)具有垂直脊(4)，光调制器部(3)具有倒台面脊(5)。这样由光调制器部(3)和半导体激光器部(2)来改变脊型结构，能够使半导体激光器部(2)的振荡光的横模稳定化，并且防止频率特性的劣化。
-
公开(公告)号：CN102445769B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201110215013.7
申请日：2011-07-29
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G02F1/025 , G02F1/2255
Abstract: 本发明的目的在于得到一种能够充分地扩大调制频带的光调制器。在半导体芯片（10）内设置有波导（12）。经由第一导线（18）将供电线（20）连接到行波型电极（14）的输入部（14a）。经由第二导线（22）以及终端线（24）将终端电阻（26）连接到行波型电极（14）的输出部（14b）。输出部（14b）和接地点之间的电容比输入部（14a）和接地点之间的电容大。
-
公开(公告)号：CN110612645B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201780090706.3
申请日：2017-05-17
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 高木和久
IPC: H01S5/02212 , H01S5/0232 , H01S5/02345
Abstract: 在管座(1)安装有多波长集成元件(5)，该多波长集成元件(5)具有多个半导体激光器(6)以及分别对多个半导体激光器(6)的输出光进行调制的多个调制器(7)。多个引线(10)贯穿管座(1)，分别与多个半导体激光器(6)以及多个调制器(7)连接。各引线(10)是多个层以同心圆状重叠的同轴线路。同轴线路具有：高频信号线(12)，其向调制器(7)传输高频信号；GND线(14)；以及供电线(16)，其向半导体激光器(6)供给直流电流。高频信号线(12)配置在同轴线路的中央。GND线(14)以及供电线(16)配置在高频信号线(12)的外侧。
-
公开(公告)号：CN107275924A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710224912.0
申请日：2017-04-07
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 高木和久
Abstract: 得到寄生振荡光对半导体激光器的影响小且高输出的光模块。半导体激光器(1)发出激光。光元件(2)具有对接界面(23)。光放大器(3)对通过了光元件的激光进行放大。等价谐振器长度调整部(4)插入至光放大器和光元件之间。波长谱测定器(7)对光放大器的输出光的波长进行测定。折射率调整电路(8)基于波长谱测定器的测定结果来控制向等价谐振器长度调整部施加的电流，对等价谐振器长度调整部的折射率进行调整。将对接界面作为一个反射端而产生多个法布里－珀罗模式的寄生振荡光。折射率调整电路对等价谐振器长度调整部的折射率进行调整，以使寄生振荡光的多个峰值波长均不与半导体激光器的振荡波长一致。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
13
records
(took 0.021 seconds)
