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公开(公告)号:CN113151901B
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202110307620.X
申请日:2021-03-23
Applicant: 中广核工程有限公司 , 深圳中广核工程设计有限公司 , 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种CZT晶体及其后处理方法、CZT晶片、核辐射探测器件及其制备方法。上述CZT晶体的后处理方法,包括如下步骤:采用移动加热器法生长CZT晶体;将CZT晶体先在870℃~930℃下进行原位退火处理50h~70h,然后在50h~80h内将温度降至400℃~420℃,最后在400℃~420℃下保温40h~50h。上述CZT晶体的后处理方法利用热迁移机制消除热应力、减少Te夹杂和Te沉淀,获得的CZT晶体质量高、Te夹杂等相关缺陷密度减小,最终提高CZT晶体用于探测器时的光电性能。
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公开(公告)号:CN112436062B
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202011382658.5
申请日:2020-12-01
Applicant: 上海大学 , 中广核工程有限公司 , 深圳中广核工程设计有限公司
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种用于碲锌镉辐射探测器的复合电极,其包括:生长在碲锌镉晶体材料表面的NiTe基薄膜电极、生长在NiTe基薄膜电极表面的Ni薄膜电极,以及生长在Ni薄膜电极表面的Au薄膜电极。相对于现有技术,本发明用于碲锌镉辐射探测器的复合电极可在碲锌镉晶体材料表面形成更好的欧姆接触、接触电阻更低,显著提高了碲锌镉辐射探测器的电荷收集性能。此外,本发明还公开了一种用于碲锌镉辐射探测器的复合电极的制备方法。相对于现有技术,本发明用于碲锌镉辐射探测器的复合电极的制备方法采用磁控溅射技术制备NiTe基薄膜电极,结晶质量好、附着力强、电导率高、速度快、质量稳定,且磁控溅射技术批量生长的成本低。
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公开(公告)号:CN112349797A
公开(公告)日:2021-02-09
申请号:CN202011093126.X
申请日:2020-10-13
IPC: H01L31/0336 , H01L31/119 , H01L31/18 , G01T1/24
Abstract: 一种碲锌镉探测器的器件结构,包括有:由CZT及Si构成的复合晶体;设于复合晶体两端的电极及设于复合晶体侧壁的弗里希栅极;一种碲锌镉探测器的制备工艺,针对此结构的探测器进行。形成依次的:硅片预处理、碲锌镉表面处理、单晶硅与碲锌镉进行低温键合、电极制备、表面钝化、弗里希栅制备工序。本发明的一种碲锌镉探测器的器件结构及其制备工艺,从结构本身的设置及工艺方面,在着重探测器的探测效率及能量分辨率基础上,兼顾考量漏电流问题及键合问题,最终形成漏电流小、系统的信噪比高、构成探测器的复合晶体内部键合强度高的一种高探测效率及高能量分辨率的探测器。
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公开(公告)号:CN111883619A
公开(公告)日:2020-11-03
申请号:CN202010771843.7
申请日:2020-08-04
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L31/0296 , H01L31/08 , C30B33/10
Abstract: 一种核辐射探测器用电极的构成及晶体的制备方法,采用移动加热器法完成晶体的生长,依次包括由生长炉温度场分布的设定、各组分化学计量比的配比完成、合料形成多晶料锭、建立回溶控制步序、单晶晶片的切割制成、制备电极阴阳极面的区分、晶体表面处理、电极制备、钝化处理构成的工序。本发明的一种核辐射探测器用电极的构成及晶体的制备方法,通过上述步序形成的晶体生长控制与电极结构设置,完成了具有载流子迁移率高、表面光滑、成分均匀的晶体及高质量的欧姆接触特性的探测器用复合电极的制备,为探测器的优秀能谱响应提供了保障。
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公开(公告)号:CN111883619B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202010771843.7
申请日:2020-08-04
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L31/0296 , H01L31/08 , C30B33/10
Abstract: 一种核辐射探测器用电极的构成及晶体的制备方法,采用移动加热器法完成晶体的生长,依次包括由生长炉温度场分布的设定、各组分化学计量比的配比完成、合料形成多晶料锭、建立回溶控制步序、单晶晶片的切割制成、制备电极阴阳极面的区分、晶体表面处理、电极制备、钝化处理构成的工序。本发明的一种核辐射探测器用电极的构成及晶体的制备方法,通过上述步序形成的晶体生长控制与电极结构设置,完成了具有载流子迁移率高、表面光滑、成分均匀的晶体及高质量的欧姆接触特性的探测器用复合电极的制备,为探测器的优秀能谱响应提供了保障。
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公开(公告)号:CN113151901A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN202110307620.X
申请日:2021-03-23
Applicant: 中广核工程有限公司 , 深圳中广核工程设计有限公司 , 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种CZT晶体及其后处理方法、CZT晶片、核辐射探测器件及其制备方法。上述CZT晶体的后处理方法,包括如下步骤:采用移动加热器法生长CZT晶体;将CZT晶体先在870℃~930℃下进行原位退火处理50h~70h,然后在50h~80h内将温度降至400℃~420℃,最后在400℃~420℃下保温40h~50h。上述CZT晶体的后处理方法利用热迁移机制消除热应力、减少Te夹杂和Te沉淀,获得的CZT晶体质量高、Te夹杂等相关缺陷密度减小,最终提高CZT晶体用于探测器时的光电性能。
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公开(公告)号:CN111900213A
公开(公告)日:2020-11-06
申请号:CN202010771822.5
申请日:2020-08-04
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/09 , H01L31/18 , C23C14/18 , H01L27/146 , C23C14/24 , C23C14/58
Abstract: 一种CdMnTe(简称CMT)成像探测器及其制备方法,其中所述的探测器由CMT晶体制备而成,并于晶体两端真空蒸镀Ti/Au复合电极构成平面探测器结构,并在此基础上设置了弗里希栅极结构,从而改变了权重势分布,使得收集性能得到提高的同时兼顾了漏电流的影响;其中所述的制备方法,在完成晶体制备的过程中建立了对诸如Cd空位等点缺陷补偿控制、对组分过冷造成的固液界面的不稳定的控制,并进一步通过设置的三步回溶步骤、形成对固液界面的形貌控制。本发明的一种CMT成像探测器及其制备方法,通过同时从晶体生长工艺与器件制备工艺两个方面作考量,形成对探测器性能的良好响应。
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公开(公告)号:CN111900213B
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202010771822.5
申请日:2020-08-04
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/09 , H01L31/18 , C23C14/18 , H01L27/146 , C23C14/24 , C23C14/58
Abstract: 一种CdMnTe(简称CMT)成像探测器及其制备方法,其中所述的探测器由CMT晶体制备而成,并于晶体两端真空蒸镀Ti/Au复合电极构成平面探测器结构,并在此基础上设置了弗里希栅极结构,从而改变了权重势分布,使得收集性能得到提高的同时兼顾了漏电流的影响;其中所述的制备方法,在完成晶体制备的过程中建立了对诸如Cd空位等点缺陷补偿控制、对组分过冷造成的固液界面的不稳定的控制,并进一步通过设置的三步回溶步骤、形成对固液界面的形貌控制。本发明的一种CMT成像探测器及其制备方法,通过同时从晶体生长工艺与器件制备工艺两个方面作考量,形成对探测器性能的良好响应。
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公开(公告)号:CN112436062A
公开(公告)日:2021-03-02
申请号:CN202011382658.5
申请日:2020-12-01
Applicant: 上海大学 , 中广核工程有限公司 , 深圳中广核工程设计有限公司
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种用于碲锌镉辐射探测器的复合电极,其包括:生长在碲锌镉晶体材料表面的NiTe基薄膜电极、生长在NiTe基薄膜电极表面的Ni薄膜电极,以及生长在Ni薄膜电极表面的Au薄膜电极。相对于现有技术,本发明用于碲锌镉辐射探测器的复合电极可在碲锌镉晶体材料表面形成更好的欧姆接触、接触电阻更低,显著提高了碲锌镉辐射探测器的电荷收集性能。此外,本发明还公开了一种用于碲锌镉辐射探测器的复合电极的制备方法。相对于现有技术,本发明用于碲锌镉辐射探测器的复合电极的制备方法采用磁控溅射技术制备NiTe基薄膜电极,结晶质量好、附着力强、电导率高、速度快、质量稳定,且磁控溅射技术批量生长的成本低。
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公开(公告)号:CN116227213A
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202310242018.1
申请日:2023-03-14
IPC: G06F30/20 , G06F113/16 , G06F119/08
Abstract: 本发明公开了一种长廊内电缆火灾风险快速分析方法,涉及火灾风险风险预警技术领域,其包括如下步骤:确定所述长廊内燃烧电缆的火焰蔓延模式;确定所述长廊的几何尺寸和横向多层电缆装置的关联参数,根据不同的火焰蔓延模式采取不同区域分析模型计算所述长廊内烟气层温度和热辐射;根据所述长廊内烟气层温度和热辐射,计算目标物的温度响应。本发明充分考虑了长廊特殊的长宽比、电缆火灾火源移动特性以及不同电缆燃烧特性对火灾动力学过程的影响,能适用于不同长廊尺寸、电缆种类和电缆桥架尺寸,实现较为准确的长廊内电缆火灾分析。
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