一种沉积PyC/SiC界面相的制备方法、陶瓷基复合材料

    公开(公告)号:CN117003572B

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202310959493.0

    申请日:2023-08-01

    摘要: 本发明提供了一种沉积PyC/SiC界面相的制备方法,包括以下步骤:S1、将碳纤维预制体置于化学气相沉积炉中,抽真空,在氮气保护下提升温度至950‑1000℃,并控制压力为5‑10kPa,通入丙烯,沉积30min‑2h,关闭丙烯的通入路径,完成PyC的沉积;S2、在步骤S1的基础上,继续将温度提升至1300‑1500℃,并控制压力为3‑10kPa,通入甲基三氯硅烷(MTS)和氢气,沉积10min‑1h,关闭甲基三氯硅烷和氢气的通入路径,完成SiC的沉积,降温并将压力升至常压,得到PyC/SiC界面相。本发明的制备方法解决了目前制备的PyC/SiC多层界面相无法均匀沉积的问题。

    模具控制方法及装置、旋转进气模具和化学气相沉积系统

    公开(公告)号:CN117821942A

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202410014888.8

    申请日:2024-01-04

    摘要: 本公开涉及一种模具控制方法及装置、旋转进气模具和化学气相沉积系统,涉及化工工程技术领域。其中,所述旋转进气模具的设计方法,包括:在模具主体的反应室内一侧设置不可旋转的底盘;将所述不可旋转的底盘与至少2个支撑轴的一端连接,将所述至少2个支撑轴分别通过对应的支撑主体另一端与模具主体连接;在所述不可旋转的底盘相对侧的所述模具主体的反应室内设置有可转动的旋转进气装置,并将所述旋转进气装置与所述模具主体外侧的进气管路连接。本公开实施例可实现提高化学气相沉积过程的效率和可控性。