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发明公开
一种探针卡的陶瓷基板定位调节装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN118112899A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202410453105.6

申请日：2024-04-15

申请人： 上海泽丰半导体科技有限公司

发明人： 曹林 , 陈奕安 , 梁建 , 罗雄科

IPC分类号： G03F9/00

摘要： 本发明涉及半导体测试技术领域，更具体地说，涉及一种探针卡的陶瓷基板定位调节装置及方法。本装置包括探针陶瓷基板、若干定位调节机构、若干掩膜版以及固定基准部件：所述探针陶瓷基板，放置在固定基准部件上方，表面分布探针以及对位标记点；所述掩膜版，设置在固定基准部件上，表面分布用于对位的掩膜版图案；所述定位调节机构，设置在固定基准部件上，并围绕探针陶瓷基板的四周分布；其中，所述定位调节机构，推动探针陶瓷基板在一定范围内进行位移调节，使得对位标记点与掩膜版图案对齐。本发明通过定位调节结构实现探针陶瓷板基板的定位调节和固定，不仅提升了对位精度与作业效率，而且还降低了生产成本和复杂度。