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公开(公告)号：CN118543227A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410771074.9
申请日：2024-06-14
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
Abstract: 本发明涉及一种混合尾气分离设备、方法及半导体工艺系统，混合尾气分离设备包括第一冷凝单元、第二冷凝单元、磷烷去除单元、酸性气体去除单元和气体分析单元。其优点在于，通过将第一冷凝单元与上游半导体工艺设备连通，第一冷凝单元可将混合气体中的气态三氯硅烷液化，实现去除混合气体中的三氯硅烷；通过将第二冷凝单元与第一冷凝单元连通，第二冷凝单元可将第一冷凝气体中的气态二氯硅烷液化，实现去除混合气体中的二氯硅烷；通过将磷烷去除单元与第二冷凝单元连通，可去除第二冷凝气体中的PH3气体；通过将酸性气体去除单元与磷烷去除单元连通，可去除第一过滤气体中的酸性气体，并得到2N～4N纯度的H2，提升氢气的纯度。
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公开(公告)号：CN116983815B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311244245.4
申请日：2023-09-26
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
Abstract: 本发明涉及一种吸附过滤装置、方法及半导体工艺系统，包括气体供应单元、第一吸附单元、第二吸附单元、第三吸附单元、分析单元、冷凝回流单元、加热单元、第一气体输出单元、第二气体输出单元和吹扫单元。其优点在于，通过设置第一吸附单元、第二吸附单元、第三吸附单元，使得第一吸附单元、第二吸附单元、第三吸附单元内的药剂与混合气体内的H2S、CO2、H2O进行反应，从而可便于后续的吸附过滤提纯等作业并提升对混合气体吸附过滤的效果，还通过在第一吸附单元、第二吸附单元、第三吸附单元上分别设置加热单元，通过加热处理可使得第一吸附单元、第二吸附单元、第三吸附单元内的药剂可与混合气体内的H2S、CO2、H2O反应更加充分，有利于后续的吸附过滤。
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公开(公告)号：CN117366462A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311177007.6
申请日：2023-09-12
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
Abstract: 本发明提供一种液氨槽车卸氨供应系统，包括槽车储罐、蒸发罐、增压泵、氨气供应管路、冷凝装置和冷凝回收罐；所述槽车储罐的液氨出口与所述蒸发罐的入口连通，所述蒸发罐的氨气出口分别与所述氨气供应管路、所述冷凝装置的入口及所述增压泵的入口连通，所述增压泵的出口与所述槽车储罐的氨气入口连通；所述冷凝装置的出口与所述冷凝回收罐的入口连通，所述冷凝回收罐的出口与所述蒸发罐的入口连通。该液氨槽车卸氨供应系统能够更加稳定高效地卸氨。
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公开(公告)号：CN117208931A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311148083.4
申请日：2023-09-06
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
IPC: C01C1/02
Abstract: 本发明提供一种液氨纯化系统，包括普氨存放装置、热源装置、分子筛吸附系统、冷源装置、氨气冷凝装置和超纯氨存放装置；热源装置用于对普氨存放装置进行加热，使普氨存放装置中的初级液氨汽化为氨气，并使初级液氨中不能被汽化的杂质留在普氨存放装置中；分子筛吸附系统用于对氨气中的杂质进行吸附处理，以得到超纯氨气；冷源装置用于对氨气冷凝装置进行降温，以将超纯氨气冷凝液化为超纯液氨。该液氨纯化系统利用普氨存放装置中的加热蒸馏以及分子筛吸附系统的分子筛吸附，对初级液氨进行双重纯化，使普氨可以纯化为超纯液氨，不仅提高了纯化精度，而且提高了生产效率，同时能够降低设备成本，并减小设备占用空间。
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公开(公告)号：CN117106554A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311175766.9
申请日：2023-09-12
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
Abstract: 本发明提供了一种恒温鼓泡桶夹层结构，包括：内胆、外壳、顶盖、外壳底盖、内胆底盖、进水环管、管夹、排废液管和排水管；所述内胆和外壳一起焊接在顶盖上；所述内胆焊接在内胆底盖上；所述外壳焊接在外壳底盖上；所述管夹焊接在外壳上靠近顶盖处；所述进水环管焊接在外壳右侧靠上位置；所述排废液管有两处焊接点，一点位于内胆底盖上，另一点位于外壳上；所述排水管焊接在外壳底盖上。本发明在TANK中使用了夹层结构，通过改变传统TANK结构的方式对TANK的加工工艺进行了简化，从而降低了生产成本，并且替换掉盘管这种热交换模式后，减少了桶内液体受污染的风险，使得桶内能储存更多液体，让热交换的效率得到了显著提升。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116173651A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310121453.9
申请日：2023-02-15
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于流量控制的液态源气体中的He分子剥离装置，包括气液分离器，所述气液分离器包括原液流通部件、真空接口和漏液检测接口，所述壳体包括筒体和固定安装于筒体内部的滤膜渗透管，所述原液流通部件、真空接口和漏液检测接口均与筒体固定连通；所述漏液液位传感装置包括密封容器和设置于密封容器内的检测波导杆，所述检测波导杆底部过滑动安装有磁环浮球，本发明使用渗透滤膜管实现器液分离功能，结合液位传感器检测原理，利用磁场进行漏液测量，将液态源气体中的He分子进行剥离，在减轻流量计的负担的同时，不影响液态源的稳定供应，同时能够防止液态源泄漏，符合危险化学液体的控制需求。
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公开(公告)号：CN115738775A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211451357.2
申请日：2022-11-20
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
Abstract: 本发明涉及一种混气装置、方法及半导体工艺系统，包括第一气体输送单元、第二气体输送单元、浓度监测单元、混合缓冲单元、排气单元、泄压单元和吹扫单元。其优点在于，通过浓度监测单元可以进行高精度、低浓度的气体稀释，从而满足不同的工艺要求；利用混合缓冲单元将第一气体输送单元输送的第一气源和第二气体输送单元输送的第二气源进行现场混合稀释以达到工艺要求的浓度，延长了第二气源的单次使用时间，降低更换第二气源的的频率，进提高工艺效率；通过排气单元、泄压单元和吹扫单元的配合，可以对混气装置的管路以及混合缓冲单元进行排空、吹扫、泄压，满足洁净要求，避免残留前次工艺气源，从而可以进行更换气源操作。
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公开(公告)号：CN119198886A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411335769.9
申请日：2024-09-24
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
Abstract: 本发明涉及一种TCS浓度检测装置、系统、方法和半导体工艺设备，包括第一气体输送单元、浓度检测单元、验证单元和第一吹扫单元。其优点在于，通过将第一气体输送单元与浓度检测单元连通，采用精度更高、延迟更低的质谱仪对TCS浓度进行检测，提升TCS浓度检测的精度和效果；通过将第一气体输送单元与验证单元连通，通过对混合气体进行冷凝称重得到冷凝液体的重量和冷凝气体的总流量，并通过冷凝液体的重量和冷凝气体的总流量计算的到TCS浓度，以对质谱检测元件所检测的结果进行验证，提升检测结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN117450423B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202311216051.3
申请日：2023-09-20
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
Abstract: 本发明涉及一种特气输送供应装置、系统、方法及半导体工艺系统，特气输送供应装置包括第一气体输入单元、加热单元、过滤单元、调压单元、检测单元、第一气体输出单元和第一排放单元。其优点在于，通过过滤单元和调压单元对特殊气体进行二次过滤和二次调压，将槽车输送的高压特殊气体转变为低压特殊气体，以满足工艺腔室的使用要求；利用检测单元对经过滤单元、调压单元处理的特殊气体进行检测，判断特殊气体的气体成分、浓度等是否满足使用需求，有效提高气体处理效率，提高后续工艺良率；利用第一排放单元特气输送供应装置的特殊气体进行排放，确保未满足检测要求的特殊气体不进入后续工艺腔室。
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公开(公告)号：CN117753164A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311780817.0
申请日：2023-12-22
Applicant: 上海良薇机电工程有限公司
IPC: B01D53/04
Abstract: 本发明涉及一种气体输送系统的尾气处理设备、方法及半导体工艺系统，尾气处理设备包括气体输送单元、分析单元、回收单元、吸附单元、排气单元、吹扫单元和真空单元。其优点在于，通过将分析单元与气体输送单元连通并增加回收单元，可实时检测气体输送单元所输送的特殊工艺气体的纯度，若特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，可将特殊工艺气体回收并输送至工艺腔室；此外，通过设置吹扫单元和真空单元，可对整体设备管路及阀体进行吹扫，保证整体设备管路及阀体的洁净度。
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