公开(公告)号：CN114503030B

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202080069169.6

申请日：2020-10-05

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 中村亮辅 ,  近藤崇弘 ,  武内弘明 ,  今井洋文

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32 ,  G03F7/38

Abstract: 本发明采用含有含环氧基树脂与金属氧化物与阳离子聚合引发剂、利用使用了含有有机溶剂的显影液的显影形成负型图案的负型感光性树脂组合物或者感光性抗蚀剂薄膜作为用于形成中空结构的感光性材料。使用上述负型感光性树脂组合物而在硅晶圆上形成的膜厚20μm的感光性树脂膜的马氏硬度小于235[N/mm2]，并且将该感光性树脂膜固化而得的固化膜在以频率1.0Hz进行粘弹性测量的情况下的温度175℃时的拉伸弹性模量(E*)为2.1[GPa]以上。

公开(公告)号：CN116917809A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202280013308.2

申请日：2022-01-31

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 山形宪一 ,  中村亮辅 ,  今井洋文

IPC: G03F7/038

Abstract: 本发明涉及一种负型感光性组合物，是用于形成中空结构体的顶板部的负型感光性组合物，其含有含环氧基化合物、阳离子聚合引发剂、多官能(甲基)丙烯酸酯化合物和光自由基聚合引发剂。

公开(公告)号：CN114137796A

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN202110875042.X

申请日：2021-07-30

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 近藤崇弘 ,  今井洋文 ,  武内弘明 ,  中村亮辅 ,  山形宪一

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种负型感光性组合物，其固化膜内部的应力被抑制得较低，并且模制抗性得以提高，还提供图案形成方法以及中空结构体的制造方法。所述负型感光性组合物含有含环氧基化合物以及阳离子聚合引发剂，含环氧基化合物包含：(A1)成分，环氧当量为300g/eq.以上的环氧树脂；(A2)成分，环氧当量比(A1)成分小的特定的酚醛清漆型环氧树脂，(A1)成分的含量相对于含环氧基化合物的总质量(100质量％)为60～90质量％，(A2)成分的含量相对于含环氧基化合物的总质量(100质量％)为10～40质量％。

公开(公告)号：CN114503030A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202080069169.6

申请日：2020-10-05

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 中村亮辅 ,  近藤崇弘 ,  武内弘明 ,  今井洋文

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32 ,  G03F7/38

Abstract: 本发明采用含有含环氧基树脂与金属氧化物与阳离子聚合引发剂、利用使用了含有有机溶剂的显影液的显影形成负型图案的负型感光性树脂组合物或者感光性抗蚀剂薄膜作为用于形成中空结构的感光性材料。使用上述负型感光性树脂组合物而在硅晶圆上形成的膜厚20μm的感光性树脂膜的马氏硬度小于235[N/mm2]，并且将该感光性树脂膜固化而得的固化膜在以频率1.0Hz进行粘弹性测量的情况下的温度175℃时的拉伸弹性模量(E*)为2.1[GPa]以上。