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公开(公告)号：CN114503030B
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202080069169.6
申请日：2020-10-05
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明采用含有含环氧基树脂与金属氧化物与阳离子聚合引发剂、利用使用了含有有机溶剂的显影液的显影形成负型图案的负型感光性树脂组合物或者感光性抗蚀剂薄膜作为用于形成中空结构的感光性材料。使用上述负型感光性树脂组合物而在硅晶圆上形成的膜厚20μm的感光性树脂膜的马氏硬度小于235[N/mm2]，并且将该感光性树脂膜固化而得的固化膜在以频率1.0Hz进行粘弹性测量的情况下的温度175℃时的拉伸弹性模量(E*)为2.1[GPa]以上。
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公开(公告)号：CN117420731A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202310839066.9
申请日：2023-07-10
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明涉及负型感光性组合物及图案形成方法。采用含有Novolac型多官能芳香族环氧树脂(Ap)、3官能环氧单体(Am)、和式(I0)表示的锍盐的负型感光性组合物。使质量比(Am)/(Ap)为5/5～8/2。式(I0)中，R1及R2表示芳基、杂环式烃基或烷基。R3～R5为烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、羟基(多)亚烷基氧基或卤素原子。k为0～4的整数，m为0～3的整数，n为1～4的整数。L为‑S‑、‑O‑、‑SO‑、‑SO2‑或‑CO‑。X‑表示一价的多原子阴离子。[化学式1]
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公开(公告)号：CN114137796A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202110875042.X
申请日：2021-07-30
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种负型感光性组合物，其固化膜内部的应力被抑制得较低，并且模制抗性得以提高，还提供图案形成方法以及中空结构体的制造方法。所述负型感光性组合物含有含环氧基化合物以及阳离子聚合引发剂，含环氧基化合物包含：(A1)成分，环氧当量为300g/eq.以上的环氧树脂；(A2)成分，环氧当量比(A1)成分小的特定的酚醛清漆型环氧树脂，(A1)成分的含量相对于含环氧基化合物的总质量(100质量％)为60～90质量％，(A2)成分的含量相对于含环氧基化合物的总质量(100质量％)为10～40质量％。
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公开(公告)号：CN116018558A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202180046897.X
申请日：2021-06-02
Applicant: 三亚普罗股份有限公司 , 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明采用含有含环氧基树脂与阳离子聚合引发剂的负型感光性树脂组合物，包含以下述通式(I0)表示的锍盐。式(I0)中，R1及R2表示芳基、杂环式烃基或烷基。R3～R5为烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、酰氧基、芳硫基、烷硫基、芳基、杂环式烃基、芳氧基、羟基(聚)亚烷氧基或卤素原子。k为0～4的整数，m为0～3的整数，n为1～4的整数。A是以‑S‑、‑O‑、‑SO‑、‑SO2‑或‑CO‑表示的基团。X‑表示一价的多原子阴离子。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114675492A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202111269347.2
申请日：2021-10-29
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种在图案形成中难以产生底切的负型感光性树脂组合物以及图案形成方法。采用含有含环氧基化合物、光阳离子聚合引发剂、具有以通式(ahs1)表示的结构单元的树脂的负型感光性树脂组合物。含环氧基化合物包含酚醛清漆型环氧树脂。光阳离子聚合引发剂包含鎓硼酸盐。通式(ahs1)中，R为氢原子、碳原子数为1～5的烷基或者碳原子数为1～5的卤代烷基。YaX1为单键或者2价的连接基团。Wax1为可具有取代基的芳香族烃基。nax1为1以上的整数。[化1]
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公开(公告)号：CN113960886A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202110596858.9
申请日：2021-05-28
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明涉及中空结构体的制造方法、及中空封装体的制造方法。提供能抑制因固化操作所致的顶板部的变形、且能稳定地制造强度被进一步提高的中空结构体的制造方法。中空结构体的制造方法具有下述工序：配置具有负型感光性树脂膜的感光性抗蚀剂膜的工序；将配置后的感光性树脂膜曝光的工序；对曝光后的感光性树脂膜加热处理的工序；将加热处理后的感光性树脂膜显影形成负型图案的工序；和对显影后的负型图案进一步加热处理使其固化得到顶板部由感光性树脂膜的固化体形成的中空结构体的工序，通过于150℃以下加热10分钟以上后进一步于高于150℃的温度加热的操作、或照射紫外线后于100℃以上加热的操作进行在显影后进行的加热处理。
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公开(公告)号：CN116457361A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202180077163.8
申请日：2021-11-18
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: C07F5/02
Abstract: 中空封装体的制造方法，其包括：在具有铝布线的基板上形成侧壁的工序；和在前述侧壁上形成顶板部，制作收纳前述铝布线的前述中空结构体的工序，其中，形成前述侧壁及/或前述顶板部的感光性组合物包含通式(I1‑an)表示的阴离子，通式(I1‑an)中，A为杂原子；X为卤原子；R为1价的有机基团；k为1～6的整数；m为0～5的整数，n为1～3的整数；m/(k+m)为0以上且小于0.7。[化学式1]
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公开(公告)号：CN114503030A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202080069169.6
申请日：2020-10-05
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明采用含有含环氧基树脂与金属氧化物与阳离子聚合引发剂、利用使用了含有有机溶剂的显影液的显影形成负型图案的负型感光性树脂组合物或者感光性抗蚀剂薄膜作为用于形成中空结构的感光性材料。使用上述负型感光性树脂组合物而在硅晶圆上形成的膜厚20μm的感光性树脂膜的马氏硬度小于235[N/mm2]，并且将该感光性树脂膜固化而得的固化膜在以频率1.0Hz进行粘弹性测量的情况下的温度175℃时的拉伸弹性模量(E*)为2.1[GPa]以上。
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公开(公告)号：CN113960885A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202110594058.3
申请日：2021-05-28
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明涉及中空结构体的制造方法、及中空封装体的制造方法。提供能抑制因PEB操作而导致的顶板部的变形、能稳定地制造中空结构体的制造方法、及中空封装体的制造方法。中空结构体的制造方法，具有下述工序：按照负型感光性树脂膜表面封堵凹部的开口面的方式配置感光性抗蚀剂膜的工序；将配置后的感光性树脂膜曝光的工序；对曝光后的感光性树脂膜进行加热处理的工序；将加热处理后的感光性树脂膜显影形成负型图案的工序；针对显影后的负型图案进一步进行加热处理由此使其固化得到顶板部由感光性树脂膜的固化体形成的中空结构体的工序；于40℃以上且70℃以下的温度加热3分钟以上，由此进行针对曝光后的感光性树脂膜进行的加热处理。
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