公开(公告)号：CN101408728A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200810212866.3

申请日：2008-09-10

申请人： 东京应化工业株式会社

发明人： 川上晃也 ,  岩井武 ,  羽田英夫 ,  秀坂慎一 ,  黑泽刚志 ,  圆山夏子 ,  松泽贤介 ,  濑下武广 ,  清水宏明 ,  中村刚

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/00 ,  C07D493/18 ,  C08L33/14 ,  C08K5/42

摘要： 本发明涉及含有能用作产酸剂的新型化合物的抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、所述化合物、能用作所述化合物的前体的化合物及其制造方法。其中，涉及式(I)表示的化合物以及式(b1－1)表示的化合物[式中，X是－O－、－S－、－O－R3－或－S－R4－，R3和R4分别独立地是碳原子数为1～5的亚烷基；R2是碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基、碳原子数为1～6的卤代烷基、卤原子、碳原子数为1～6的羟烷基、羟基或氰基；a是0～2的整数；Q1是碳原子数为1～12的亚烷基或单键；Y1是碳原子数为1～4的亚烷基或氟代亚烷基；M+是碱金属离子；A+是有机阳离子。

公开(公告)号：CN101408728B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200810212866.3

申请日：2008-09-10

申请人： 东京应化工业株式会社

发明人： 川上晃也 ,  岩井武 ,  羽田英夫 ,  秀坂慎一 ,  黑泽刚志 ,  圆山夏子 ,  松泽贤介 ,  濑下武广 ,  清水宏明 ,  中村刚

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/00 ,  C07D493/18 ,  C08L33/14 ,  C08K5/42

摘要： 本发明涉及含有能用作产酸剂的新型化合物的抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、所述化合物、能用作所述化合物的前体的化合物及其制造方法。其中，涉及式(I)表示的化合物以及式(b1-1)表示的化合物式，其中，X是-O-、-S-、-O-R3-或-S-R4-，R3和R4分别独立地是碳原子数为1～5的亚烷基；R2是碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基、碳原子数为1～6的卤代烷基、卤原子、碳原子数为1～6的羟烷基、羟基或氰基；a是0～2的整数；Q1是碳原子数为1～12的亚烷基或单键；Y1是碳原子数为1～4的亚烷基或氟代亚烷基；M+是碱金属离子；A+是有机阳离子。