公开(公告)号：CN112640038B

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN201980057338.1

申请日：2019-08-23

Applicant: 首选网络株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 中乡孝祐 ,  本木大资 ,  渡部正树 ,  小松智希 ,  茂木弘典 ,  本田昌伸 ,  加藤隆彦 ,  新关智彦

IPC: H01L21/00 ,  G06N3/02 ,  H01L21/02 ,  H01L21/3065

Abstract: 一种用于提高制造工艺的仿真精度的学习装置。该学习装置包括：取得部，取得对象物的图像数据和关于针对所述对象物的处理的数据；以及学习部，向学习模型输入所述对象物的图像数据和关于所述处理的数据，并且以使所述学习模型的输出接近所述处理后的所述对象物的图像数据的方式，使所述学习模型进行学习。

公开(公告)号：CN112640038A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201980057338.1

申请日：2019-08-23

Applicant: 首选网络株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 中乡孝祐 ,  本木大资 ,  渡部正树 ,  小松智希 ,  茂木弘典 ,  本田昌伸 ,  加藤隆彦 ,  新关智彦

IPC: H01L21/00 ,  G06N3/02 ,  H01L21/02 ,  H01L21/3065

Abstract: 一种用于提高制造工艺的仿真精度的学习装置。该学习装置包括：取得部，取得对象物的图像数据和关于针对所述对象物的处理的数据；以及学习部，向学习模型输入所述对象物的图像数据和关于所述处理的数据，并且以使所述学习模型的输出接近所述处理后的所述对象物的图像数据的方式，使所述学习模型进行学习。

公开(公告)号：CN115423738A

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202210517992.X

申请日：2022-05-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 穐山大志郎 ,  小川裕亮 ,  水内毅 ,  加藤隆彦 ,  小松智希 ,  中乡孝祐 ,  大友雄平 ,  刘鸿志

IPC: G06T7/00 ,  G06N3/12 ,  H01L21/66

Abstract: 一种评价装置,具有:存储部,其将以将处理前的对象物的形状信息输入形状模拟器的情况下的输出接近在规定的处理条件下对处理前的对象物进行处理的情况下的处理后的对象物的形状信息的方式计算的形状模拟器的模拟参数与表示被视为与处理前的对象物相同的形状的形状范围的第一范围信息或者表示被视为与处理后的对象物相同的形状的形状范围的第二范围信息建立对应关系地进行存储；预测部,其将处理前新的对象物的形状信息和模拟参数输入形状模拟器,对于处理后的新的对象物的形状信息进行预测；以及评价部,其输出将处理前的新的对象物的形状信息与第一范围信息对比的结果或者输出将处理后的新的对象物的形状信息与第二范围信息对比的结果。