公开(公告)号：CN116080269A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202211354265.2

申请日：2022-11-01

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中村隆央 ,  数井诚人

IPC: B41J2/165 ,  B29C64/30 ,  B29C64/35 ,  B33Y40/00

Abstract: 本发明提供在早期检测喷嘴的异常的技术。本公开是从喷嘴喷出液滴的液滴喷出装置，具有：获取部，获取与液滴的喷出状态相关的信息；时间序列数据计算部，计算与上述液滴的喷出状态相关的信息的时间序列数据；计算部，基于上述时间序列数据来计算与喷嘴的清洁相关的参数；以及判断部，基于上述参数来判断清洁的定时。

公开(公告)号：CN119156688A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202380038791.4

申请日：2023-04-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中村隆央 ,  小川裕亮 ,  加藤隆彦 ,  茂木弘典

IPC: H01L21/00 ,  G05B19/418 ,  G06N20/00 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供模型生成方法、计算机程序以及信息处理装置。由计算机执行如下的处理：获取用于构建工艺配方的多个变量组、表示执行工艺配方的特定步骤之前的被处理体的状态的状态数据、以及表示被处理体的目标状态的目标数据；从多个变量组选择一个变量组，对通过执行由所选择的一个变量组表征的一个步骤而得到的上述被处理体的状态进行评价；以及通过使用获取到的状态数据及目标数据、以及根据所评价的上述被处理体的状态而决定的报酬的强化学习，生成用于工艺配方构建的模型。