公开(公告)号：CN113557797B

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202080020699.1

申请日：2020-03-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 加贺谷宗仁 ,  川上聪 ,  守屋刚 ,  松土龙夫 ,  山涌纯 ,  小野田裕之

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  C23C16/505

Abstract: 本发明提供等离子体处理装置和等离子体处理方法。分隔板具有绝缘性，将处理容器的内部分隔为载置被处理体的反应室和生成等离子体的等离子体生成室。此外，分隔板在等离子体生成室侧的面设置第一电极，形成有用于将在等离子体生成室内生成的等离子体所包含的活性种供给到反应室的多个贯通孔。第二电极与第一电极相对地配置在等离子体生成室。在等离子体生成室生成等离子体时，电功率供给部对第一电极和第二电极中的任一者供给将多个频率的高频电功率进行相位控制并叠加而成的高频电功率。

公开(公告)号：CN115696713A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210808444.2

申请日：2022-07-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  长田勇辉 ,  宫下大幸 ,  小野田裕之 ,  川上聪

IPC: H05H1/46 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种等离子体源和等离子体处理装置。等离子体源具有：第1腔室，构成为形成扁平的第1等离子体生成空间，并具有构成第1腔室的多个壁中的面积最大且相对的第1壁和第2壁；气体供给部，构成为能够向第1腔室内供给气体；电磁波供给部，在设置于第1壁的开口具有面向第1等离子体生成空间设置的电介质窗，并构成为能够经由电介质窗向第1腔室内供给电磁波；等离子体供给部，向第1腔室的外部供给等离子体中所含的自由基，该等离子体是利用电磁波从供给到第1腔室内的气体生成的等离子体；和等离子体点火源，在第1腔室内从与电介质窗相对的第2壁的内壁突出，并与电介质窗隔开间隔地设置。根据本发明，能够使等离子体的点火变得容易。

公开(公告)号：CN113557797A

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN202080020699.1

申请日：2020-03-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 加贺谷宗仁 ,  川上聪 ,  守屋刚 ,  松土龙夫 ,  山涌纯 ,  小野田裕之

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  C23C16/505

Abstract: 本发明提供等离子体处理装置和等离子体处理方法。分隔板具有绝缘性，将处理容器的内部分隔为载置被处理体的反应室和生成等离子体的等离子体生成室。此外，分隔板在等离子体生成室侧的面设置第一电极，形成有用于将在等离子体生成室内生成的等离子体所包含的活性种供给到反应室的多个贯通孔。第二电极与第一电极相对地配置在等离子体生成室。在等离子体生成室生成等离子体时，电功率供给部对第一电极和第二电极中的任一者供给将多个频率的高频电功率进行相位控制并叠加而成的高频电功率。