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公开(公告)号：CN116367972A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202180054607.6
申请日：2021-08-29
申请人： 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： B25J13/00
摘要： 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据由被所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。
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公开(公告)号：CN110482015B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201910392649.5
申请日：2019-05-13
申请人： 东京毅力科创株式会社
摘要： 本发明提供一种能够抑制输送反应管组合件时的振动的技术。本发明的一个方式的应管单元的输送方法是沿竖式的反应管的内壁面的长度方向与上述内壁面隔开间隔地设置有气体供给管的反应管组合件的输送方法，包括：在上述反应管的内部配置能够缓冲上述内壁面与上述气体供给管的碰撞的缓冲部件的步骤；将安装有上述缓冲部件的上述反应管组合件隔着消振部件载置在台车上的步骤；和使上述台车移动来输送上述反应管组合件的步骤。
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公开(公告)号：CN116096532A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202180054557.1
申请日：2021-08-29
申请人： 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： B25J9/06
摘要： 本发明提供一种机器人，该机器人包括引导部、移动部、手部、变形取得部、姿势调整部和控制部。所述移动部被设置在所述引导部，能够在该引导部引导的方向移动。所述手部被设置在所述移动部，保持所述基板。所述变形取得部取得与所述引导部的变形相关的信息。所述姿势调整部能够根据所述变形取得部所取得的所述引导部的变形来调整所述手部的姿势。所述控制部控制所述姿势调整部的动作。所述控制部根据与所述引导部的变形相关的信息，用所述姿势调整部调整相对于运送预定的所述基板进行保持作业的所述手部的姿势。
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公开(公告)号：CN110482015A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910392649.5
申请日：2019-05-13
申请人： 东京毅力科创株式会社
摘要： 本发明提供一种能够抑制输送反应管组合件时的振动的技术。本发明的一个方式的应管单元的输送方法是沿竖式的反应管的内壁面的长度方向与上述内壁面隔开间隔地设置有气体供给管的反应管组合件的输送方法，包括：在上述反应管的内部配置能够缓冲上述内壁面与上述气体供给管的碰撞的缓冲部件的步骤；将安装有上述缓冲部件的上述反应管组合件隔着消振部件载置在台车上的步骤；和使上述台车移动来输送上述反应管组合件的步骤。
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公开(公告)号：CN116547112A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180054611.2
申请日：2021-08-29
申请人： 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： B25J9/06
摘要： 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部、手姿势调整部和控制部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息。所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势。所述控制部对所述臂部、所述手部以及所述手姿势调整部的动作进行控制。所述控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。
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公开(公告)号：CN116349001A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202180054635.8
申请日：2021-08-29
申请人： 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括手部、臂部、基板检测部以及基板姿势检查部。所述手部保持且运送所述基板。所述臂部连接在所述手部，使所述手部移动。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板姿势检查部根据没有由所述手部所保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度，来检查所述基板的姿势。
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