公开(公告)号：CN116465468A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310434690.0

申请日：2023-04-21

Applicant: 东南大学

Inventor： 张志强 ,  顾闰淇

IPC: G01F1/696 ,  G01F1/38

Abstract: 本发明提供了一种双模式MEMS流量传感器，第一衬底与第二衬底，两者硅硅键合；在第一衬底的表面与体内设有：流道、第一空腔、第一硅衬底层、第一中间层、第一顶层、膜结构、压敏电阻、第一惠斯通电桥、第二惠斯通电桥、压焊块、第一连接线。在第二衬底的表面与体内设有：第二硅衬底层、第二中间层、第二顶层、第二空腔、加热电阻、第一热电堆、第二热电堆、压焊块、第二连接线。该流量传感器集成了热电式流量传感器与压阻式流量传感器，实现了双模式测量。该流量传感器的热电模式适用于测量小流速流体，压阻模式适用于测量大流速流体，在保证测量精度的同时拓宽了测量量程。该流量传感器流道制作在衬底内部，实现了微型化，易与环境集成。

公开(公告)号：CN118464076A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410552107.0

申请日：2024-05-07

Applicant: 东南大学

Inventor： 张志强 ,  蒋亦非 ,  顾闰淇 ,  袁子杰

IPC: G01D5/241 ,  G01D5/24 ,  H04W4/38 ,  H04W52/02 ,  H04B5/73 ,  H04B5/43 ,  B32B27/28 ,  B32B27/06 ,  B32B33/00 ,  B32B3/24 ,  B29C69/00 ,  C23C28/02

Abstract: 本发明公开了一种无线柔性温湿压集成传感器及其制备方法、传感系统，传感系统其主要由无线柔性温度传感器、无线柔性湿度传感器、无线柔性压力传感器以及无线低功耗唤醒电路构成，通过集成三种不同谐振频率的LC传感器，实现对温度、湿度和压力的无线测量。其中，温度传感器采用聚乙二醇作为温度敏感材料，湿度传感器采用氧化石墨烯作为湿度敏感材料，压力传感器把平行板电容作为压力敏感元件，从而温湿压的改变引起对应LC传感器的电容值改变。该无线柔性温湿压集成传感器为无源器件，具有柔性可穿戴和高灵敏度等特点；该低功耗唤醒电路实现对检测系统的休眠‑唤醒功能，降低该传感器系统的平均功耗，具有无线唤醒和响应速度快等特点。

公开(公告)号：CN118501080A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410596253.3

申请日：2024-05-14

Applicant: 东南大学

Inventor： 张志强 ,  顾闰淇 ,  李波 ,  燕尚泉 ,  吕丝旭

IPC: G01N21/3504

Abstract: 本发明公开了一种微型化NDIR气体传感器模组，该模组的中空气室包括底板和外罩，外罩的上表面设进气孔，进气孔表面设滤网，外罩的内表面设有至少一个椭圆弧侧壁、多个内侧壁与斜坡；底板上设有用于放置红外光源和红外气体传感器芯体的第一通孔与第二通孔，两通孔的孔心分别与对应椭圆弧侧壁所在椭圆的两个焦点重合，第二通孔位于斜坡的正下方；底板背面设有调理电路，红外光源和红外气体传感器芯体均与调理电路电连接；待测气体通过滤网与进气孔进入气室，红外光源发出的光线经椭圆弧侧壁、多个内侧壁与斜坡的多次反射后进入红外气体传感器芯体。本发明在不降低红外光程长度和灵敏度的情况下，实现了一种高性能微型化NDIR气体传感器模组。

公开(公告)号：CN116448193A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202310434700.0

申请日：2023-04-21

Applicant: 东南大学

Inventor： 张志强 ,  顾闰淇

IPC: G01F1/684

Abstract: 本发明提供了一种MEMS热式流量传感器。通过在衬底的内部做纵向贯穿衬底的两个流道，在流道中央分别做两个环形电阻环绕流道，流道的两端分别围绕有环形热电堆测量上下游温度。工作时，由于流道上下表面的热电堆关于环形电阻呈对称分布，输出电压相同。流体经过时，改变了热场的对称分布，引起流道上下表面热电堆的输出电压改变，从而可以测量出垂直于衬底方向流过的流体的流量与方向。此外，传感器具有多种工作模式：两个环形电阻可以单独工作，也可以串联工作。对应地，环形热电堆的输出电压既可以单独测量也可以串联后进行测量，实现了单一流道内流体的测量与双流道内流体的同时测量。