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公开(公告)号：CN117192663A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311037727.2
申请日：2023-08-17
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种光阑系统及半导体检测设备。该光阑系统包括至少一个可变光阑以及通光过道，可变光阑包括多根挡光条以及驱动机构；多根挡光条间隔设置，驱动机构位于通光过道外且设置为能够驱动任一挡光条运动，以调节挡光条伸入于通光过道内的位置。通过改变挡光条的位置，实现了不同光阑样式效果，改变通光过道的透光效果以在像面上形成不同样式的衍射图案，灵活性更高，能够适配晶圆图案多样复杂的缺陷检测应用场景，有效提高成像质量。另外，该半导体检测设备可对光阑系统程序化控制，方便快捷。
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公开(公告)号：CN117269190A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311114343.6
申请日：2023-08-31
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本申请提供一种晶圆缺陷光学检测系统，该检测系统包括光发射装置、第一成像装置(3)以及第二成像装置(4)；光发射装置用于向晶圆(9)的表面射入入射光；第一成像装置(3)用于接收入射光经晶圆(9)的反射光或散射光进行成像；第二成像装置(4)用于接收入射光经晶圆(9)的散射光进行成像。通过多个成像装置基于入射光的反射光或散射光成像，以便于筛选出清晰的图像或基于多个图像进行三维立体成像，以识别出更多的缺陷，从而可以提高检测系统的缺陷检出率。
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公开(公告)号：CN118465959A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410627389.6
申请日：2024-05-20
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本发明第提供了一种光路调节单元，包括多个反射棱镜以及驱动机构；多个反射棱镜用于依次传播光束；驱动机构用于驱动至少一个反射棱镜运动，以调节光束传播方向。在由于多个反射棱镜均用于传播光束，通过设置驱动机构驱动任意一个反射棱镜运动，即可对反射棱镜所传播的光束进行调节，通过驱动机构对反射棱镜进行调节能够有效的提升调节的精准度，从而确保光束处于合适的位置。
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公开(公告)号：CN117233951A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311037706.0
申请日：2023-08-17
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种滤波机构及半导体检测设备。该滤波机构包括框架、多个滤波杆以及锁止机构；框架形成有光通道，各滤波杆沿第一方向穿过框架且至少部分位于光通道内，各滤波杆设置为能够相对框架在第二方向移动；锁止机构连接于框架且至少部分位于光通道外、并用于固定滤波杆。滤波杆的位置可以独立调节，并通过锁止机构进行固定，多个滤波杆之间相互配合，相应地在光通道内形成的截面形状具备多种样式，灵活性更高，如此通过多个滤波杆组合对不同频率光进行遮挡，从而突出成像图样的特定特征。
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公开(公告)号：CN117111289A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202310907228.8
申请日：2023-07-21
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种光阑调节系统以及半导体检测设备，光阑调节系统包括光阑集成模块、牵引组件以及驱动机构；光阑集成模块用于设置于光路中；驱动机构设置于光阑集成模块一侧以远离光路设置，牵引组件连接于光阑集成模块和驱动机构；驱动机构设置为通过牵引组件驱动光阑集成模块的对应部分运动，以使在光阑集成模块中形成对应的挡光图案。通过将可以形成挡光图案的光阑集成模块设置在光路中，并将驱动机构以设置于光阑集成模块一侧远离光路，以避免驱动机构影响光路；由于驱动机构可以通过牵引组件来牵引光阑集成模块，因此驱动机构无需设置在光路中，只需将光阑集成模块设置在光路中即可实现对挡光图案的调节，精简了位于光路中的结构。
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公开(公告)号：CN117031719A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310869406.2
申请日：2023-07-14
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本申请提供一种物镜、光学模组以及光学系统，该物镜(1)包括：在物镜(1)的轴向上，透镜组(101)形成明场光路通道(104)；在物镜(1)的径向上，透镜组(101)的外侧设置有暗场光路通道(105)，暗场光路通道(105)的外侧设置有调节装置(102)；反射元件(103)设置于暗场光路通道(105)内，用于将进入暗场光路通道(105)内的入射光反射到样品(10)上；其中，调节装置(102)连接于反射元件(103)，用于调节反射元件(103)的倾斜角度。从而通过调节装置控制反射元件，改变暗场照明光的入射角，可使所成的像更加清晰，提高了物镜的识别能力以及对检测的适应性。
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公开(公告)号：CN220539547U
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202322003321.4
申请日：2023-07-27
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种密封推拉门机构以及半导体设备，密封推拉门机构包括门板、驱动组件、传动组件、活动门以及密封件；门板设置有开口，驱动组件设置于门板上；传动组件连接于驱动组件，活动门连接于传动组件；活动门设置为在驱动组件的作用下运动至开口上方、在传动组件的作用下挤压位于门板与活动门之间的密封件。当门板之间两侧需要封闭时，活动门在驱动组件的作用下运动至开口的上方时，通过传动组件的作用挤压门板与活动门之间的密封件，以此使活动门完全封闭开口，阻挡门板两侧之间的连通，并同时能够实现高气密性。
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公开(公告)号：CN220539546U
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202321994384.4
申请日：2023-07-27
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种密封推拉门机构以及半导体设备，密封推拉门机构包括：门板，设置有开口；驱动组件，设置于门板上；活动门，设置为在驱动组件的驱动作用下靠近或远离开口，以封闭或打开开口；以及气囊密封件，设置在门板与活动门之间，且气囊密封件设置为在活动门封闭开口后受控充气以密封活动门与门板。本实用新型通过在门板上设置开口，能够使得门板两侧可以连通；在门板上设置受驱动组件驱动靠近或远离开口的活动门，可以封闭或打开开口，以使得门板两侧连通或封闭；通过在活动门与门板之间设置气囊密封件，在活动门封闭开口后充入流体，从而密封活动门与门板，阻断门板两侧之间的气流。
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公开(公告)号：CN220287041U
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202321551060.3
申请日：2023-06-16
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本申请提供一种调平机构及光学平台，多个调平机构分别用于支撑设备底部的多个调平位置，调平机构包括：支撑结构，包括位于不同高度的第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板设置在第二支撑板下方，第二支撑板支撑于调平位置处；致动结构，设置在第一支撑板上并用于驱动第二支撑板上下运动，以对调平位置的高度进行局部调节。该调平机构结构紧凑、空间占用率小、灵活度和通用性高及成本较低；同时利用致动结构更方便人工调节，所能承载的载荷更大，可应用于大型设备中，通过调节调平位置的高度，即可实现设备水平度的调节，从而提高设备的加工精度。
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