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公开(公告)号：CN105004469B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201510311744.X
申请日：2015-06-09
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01L9/00
摘要： 本发明涉及压力传感器技术领域，具体为一种基于微波散射测量原理的无源高温压力传感器及其制备方法，解决现有高温等恶劣环境中压力测量方法存在诸多缺陷的问题，包括圆柱状底座及密封膜片，底座内设置凹形圆柱腔，凹形圆柱腔中心设有四个对称分布的内圆柱，内圆柱高度低于凹形圆柱腔上端面，底座上端面、凹形圆柱腔内表面以及内圆柱上表面溅射有金属层；密封膜片上表面丝网溅射有微带天线，下表面整体溅射有接地面，下表面上开设长方形耦合缝隙；底座和密封膜片键合形成微波谐振腔。设计合理，灵敏度高，稳定性好，能在高温高压等恶劣环境下长时间工作，实现了基于微波散射的无线测量的无源高温陶瓷压力传感器。
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公开(公告)号：CN105067133A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510529986.6
申请日：2015-08-26
申请人： 中北大学
摘要： 本发明属于温度传感器及其制作工艺技术领域，针对高温环境下温度参数的急切、苛刻的测试需求，提供了一种无线高温温度传感器及其制作方法，无线高温温度传感器，包括询问天线、微带天线和温度敏感器件，所述微带天线印刷在温度敏感器件上，微带天线和温度敏感器件集成为一体；本发明将温度敏感器件与天线通信技术结合在一起，极大的提高了探测的距离，将天线印刷在耐高温氧化铝陶瓷上，微带天线与温度敏感器件一体化设计，极大的扩展了高温下温度的测试范围，本发明无需外加电源、能远距离非接触式遥测读取信号、品质因子高、能在多金属环境应用，而且制造成本低。
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公开(公告)号：CN107402031A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201710465116.6
申请日：2017-06-19
申请人： 中北大学
CPC分类号： G01D5/48 , G01K11/006 , G01L1/25 , H01P3/121 , H01Q13/18
摘要： 本发明涉及温度压力传感器技术领域，提出了一种基于微波散射测量原理的温度压力双参数传感器及其制备方法。该传感器包括基片集成波导、第一缝隙天线和第二缝隙天线；基片集成波导包括介质基片，和设置在介质基片上的上表面金属层、下表面金属层、多个第一金属通孔、多个第二金属通孔和圆形空腔；介质基片、上表面金属层、下表面金属层、多个第一金属通孔、空腔和第一缝隙天线形成压力参数测量部分；介质基片、上表面金属层、下表面金属层、多个第二金属通孔、和第二缝隙天线形成温度参数测量部分。本发明提出的传感器结构设计合理，制造工艺简便，灵敏度高、稳定性好，能在高温高压等恶劣环境下长时间工作。
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公开(公告)号：CN105004469A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510311744.X
申请日：2015-06-09
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01L9/00
摘要： 本发明涉及压力传感器技术领域，具体为一种基于微波散射测量原理的无源高温压力传感器及其制备方法，解决现有高温等恶劣环境中压力测量方法存在诸多缺陷的问题，包括圆柱状底座及密封膜片，底座内设置凹形圆柱腔，凹形圆柱腔中心设有四个对称分布的内圆柱，内圆柱高度低于凹形圆柱腔上端面，底座上端面、凹形圆柱腔内表面以及内圆柱上表面溅射有金属层；密封膜片上表面丝网溅射有微带天线，下表面整体溅射有接地面，下表面上开设长方形耦合缝隙；底座和密封膜片键合形成微波谐振腔。设计合理，灵敏度高，稳定性好，能在高温高压等恶劣环境下长时间工作，实现了基于微波散射的无线测量的无源高温陶瓷压力传感器。
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