无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107085015B

    公开(公告)日:2019-10-15

    申请号:CN201710232914.4

    申请日:2017-04-11

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01N27/22 G01N27/12 G01K7/34

    摘要: 本发明属于传感器技术领域,为解决现有气体传感器稳定性差、重复使用率低及需要电源供电导致传感器寿命年限短、不能在高温工作的技术问题,提供了一种无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法,传感器包括介质基底,介质基底的一侧设置气体测试电感线圈和叉指电容,叉指电容设置在气体测试电感线圈的内侧,且叉指电容与气体测试电感线圈的内圈相连,叉指电容表面附着GO/In2O3气敏薄膜,介质基底的另一侧设置温度测试线圈,温度测试线圈与其自身存在的寄生电容形成一个LC谐振回路。本发明结构简单合理,利用无线无源的方法进行测量,提高了测量的稳定性,降低了功耗,利于实现气体、温度双参数传感器的一体化、微型化,便于加工,成本低廉。

    一种基于HTCC的高温热流传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108975920A

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201810526801.X

    申请日:2018-05-29

    申请人: 中北大学

    摘要: 本发明提供了一种基于HTCC的高温热流传感器及其制备方法,根据热电堆热流传感器的敏感机理,在氮化铝生瓷带上设置多个填充孔将多个热电偶进行集成,增加了热电偶的排布密度,增大了热电偶的输出电势,同时大大提高了传感器的测试灵敏度;根据耐高温材料的热传导系数的不同,选择氮化铝作为传感器结构的基底及中间层的介质材料,氮化铝材料、铂/15%铱合金、钯金这三种材料的选择使得传感器的响应时间得到大大的提升;制造工艺简便,灵敏度高、响应块、稳定性好,安装比较方便,可以实现航天飞行器及发动机内部等高温、大热流环境中的热流量的检测。

    一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107677707B

    公开(公告)日:2020-02-18

    申请号:CN201710735159.1

    申请日:2017-08-24

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明属于气体传感技术领域,具体是一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法。解决了现有气体传感器有线连接,安装不方便,使用周期短等问题,包括上表面金属层、下表面金属层以及设置在中间的LTCC氧化铝陶瓷片,上表面金属层、下表面金属层和LTCC氧化铝陶瓷片组成基片,基片周侧设有一圈基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔,以此构成基于基片集成波导的结构,基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔内填充有银浆料,基片中部设有气体敏感结构,上表面金属层表面设有缝隙天线。本发明充分利用了基片集成波导谐振器具有高的品质因数,低损耗等优点,可以有效的增大无线测试的距离。

    一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器

    公开(公告)号:CN107713983B

    公开(公告)日:2019-11-29

    申请号:CN201710768242.9

    申请日:2017-08-31

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: A61B3/16 A61M31/00 A61F9/007

    摘要: 本发明属于医疗器械设备技术领域,具体是一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器。解决了可以利用植入式微型供药腔实时地对眼部进行供药,以维持房水动力学平衡,达到治疗青光眼的的问题,包括的PDMS薄膜层,PDMS薄膜层上利用磁控溅射技术溅射金靶材形成金属感应线圈,其中一侧的感应线圈上设有一层parylene保护层,另一侧的感应线圈上方设有电解腔,电解腔外侧设有PDMS空腔。PDMS薄膜层厚20um。本发明创新性的将眼压监测与供药集成为一体化结构,利于实现眼压监测与实时供药的功能。

    无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107085015A

    公开(公告)日:2017-08-22

    申请号:CN201710232914.4

    申请日:2017-04-11

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01N27/22 G01N27/12 G01K7/34

    摘要: 本发明属于传感器技术领域,为解决现有气体传感器稳定性差、重复使用率低及需要电源供电导致传感器寿命年限短、不能在高温工作的技术问题,提供了一种无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法,传感器包括介质基底,介质基底的一侧设置气体测试电感线圈和叉指电容,叉指电容设置在气体测试电感线圈的内侧,且叉指电容与气体测试电感线圈的内圈相连,叉指电容表面附着GO/In2O3气敏薄膜,介质基底的另一侧设置温度测试线圈,温度测试线圈与其自身存在的寄生电容形成一个LC谐振回路。本发明结构简单合理,利用无线无源的方法进行测量,提高了测量的稳定性,降低了功耗,利于实现气体、温度双参数传感器的一体化、微型化,便于加工,成本低廉。

    一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器

    公开(公告)号:CN107713983A

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201710768242.9

    申请日:2017-08-31

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: A61B3/16 A61M31/00 A61F9/007

    摘要: 本发明属于医疗器械设备技术领域,具体是一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器。解决了可以利用植入式微型供药腔实时地对眼部进行供药,以维持房水动力学平衡,达到治疗青光眼的问题,包括的PDMS薄膜层,PDMS薄膜层上利用磁控溅射技术溅射金靶材形成金属感应线圈,其中一侧的感应线圈上设有一层parylene保护层,另一侧的感应线圈上方设有电解腔,电解腔外侧设有PDMS空腔。PDMS薄膜层厚20um。本发明创新性的将眼压监测与供药集成为一体化结构,利于实现眼压监测与实时供药的功能。

    一种基于HTCC的高温热流传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108975920B

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:CN201810526801.X

    申请日:2018-05-29

    申请人: 中北大学

    摘要: 本发明提供了一种基于HTCC的高温热流传感器及其制备方法,根据热电堆热流传感器的敏感机理,在氮化铝生瓷带上设置多个填充孔将多个热电偶进行集成,增加了热电偶的排布密度,增大了热电偶的输出电势,同时大大提高了传感器的测试灵敏度;根据耐高温材料的热传导系数的不同,选择氮化铝作为传感器结构的基底及中间层的介质材料,氮化铝材料、铂/15%铱合金、钯金这三种材料的选择使得传感器的响应时间得到大大的提升;制造工艺简便,灵敏度高、响应块、稳定性好,安装比较方便,可以实现航天飞行器及发动机内部等高温、大热流环境中的热流量的检测。

    一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107677707A

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201710735159.1

    申请日:2017-08-24

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明属于气体传感技术领域,具体是一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法。解决了现有气体传感器有线连接,安装不方便,使用周期短等问题,包括上表面金属层、下表面金属层以及设置在中间的LTCC氧化铝陶瓷片,上表面金属层、下表面金属层和LTCC氧化铝陶瓷片组成基片,基片周侧设有一圈基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔,以此构成基于基片集成波导的结构,基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔内填充有银浆料,基片中部设有气体敏感结构,上表面金属层表面设有缝隙天线。本发明充分利用了基片集成波导谐振器具有高的品质因数,低损耗等优点,可以有效的增大无线测试的距离。