公开(公告)号：CN107085015B

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201710232914.4

申请日：2017-04-11

申请人： 中北大学

发明人： 谭秋林 ,  郭晓威 ,  熊继军 ,  翟成瑞 ,  张文栋 ,  董和磊 ,  王海星 ,  张磊 ,  郭彦杰 ,  逯斐 ,  刘文怡

IPC分类号： G01N27/22 ,  G01N27/12 ,  G01K7/34

摘要： 本发明属于传感器技术领域，为解决现有气体传感器稳定性差、重复使用率低及需要电源供电导致传感器寿命年限短、不能在高温工作的技术问题，提供了一种无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法，传感器包括介质基底，介质基底的一侧设置气体测试电感线圈和叉指电容，叉指电容设置在气体测试电感线圈的内侧，且叉指电容与气体测试电感线圈的内圈相连，叉指电容表面附着GO/In2O3气敏薄膜，介质基底的另一侧设置温度测试线圈，温度测试线圈与其自身存在的寄生电容形成一个LC谐振回路。本发明结构简单合理，利用无线无源的方法进行测量，提高了测量的稳定性，降低了功耗，利于实现气体、温度双参数传感器的一体化、微型化，便于加工，成本低廉。

公开(公告)号：CN107677707B

公开(公告)日：2020-02-18

申请号：CN201710735159.1

申请日：2017-08-24

申请人： 中北大学

发明人： 谭秋林 ,  熊继军 ,  郭彦杰 ,  张磊 ,  逯斐 ,  郭晓威 ,  董和磊 ,  张文栋

IPC分类号： G01N27/12

摘要： 本发明属于气体传感技术领域，具体是一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法。解决了现有气体传感器有线连接，安装不方便，使用周期短等问题，包括上表面金属层、下表面金属层以及设置在中间的LTCC氧化铝陶瓷片，上表面金属层、下表面金属层和LTCC氧化铝陶瓷片组成基片，基片周侧设有一圈基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔，以此构成基于基片集成波导的结构，基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔内填充有银浆料，基片中部设有气体敏感结构，上表面金属层表面设有缝隙天线。本发明充分利用了基片集成波导谐振器具有高的品质因数，低损耗等优点，可以有效的增大无线测试的距离。

公开(公告)号：CN107402031A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201710465116.6

申请日：2017-06-19

申请人： 中北大学

发明人： 谭秋林 ,  熊继军 ,  郭彦杰 ,  伍国柱 ,  董和磊 ,  张文栋 ,  张磊 ,  逯斐

IPC分类号： G01D5/48 ,  G01K11/00 ,  G01L1/25 ,  H01P3/12 ,  H01Q13/18

CPC分类号： G01D5/48 ,  G01K11/006 ,  G01L1/25 ,  H01P3/121 ,  H01Q13/18

摘要： 本发明涉及温度压力传感器技术领域，提出了一种基于微波散射测量原理的温度压力双参数传感器及其制备方法。该传感器包括基片集成波导、第一缝隙天线和第二缝隙天线；基片集成波导包括介质基片，和设置在介质基片上的上表面金属层、下表面金属层、多个第一金属通孔、多个第二金属通孔和圆形空腔；介质基片、上表面金属层、下表面金属层、多个第一金属通孔、空腔和第一缝隙天线形成压力参数测量部分；介质基片、上表面金属层、下表面金属层、多个第二金属通孔、和第二缝隙天线形成温度参数测量部分。本发明提出的传感器结构设计合理，制造工艺简便，灵敏度高、稳定性好，能在高温高压等恶劣环境下长时间工作。

公开(公告)号：CN107085015A

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：CN201710232914.4

申请日：2017-04-11

申请人： 中北大学

发明人： 谭秋林 ,  郭晓威 ,  熊继军 ,  翟成瑞 ,  张文栋 ,  董和磊 ,  王海星 ,  张磊 ,  郭彦杰 ,  逯斐 ,  刘文怡

IPC分类号： G01N27/22 ,  G01N27/12 ,  G01K7/34

摘要： 本发明属于传感器技术领域，为解决现有气体传感器稳定性差、重复使用率低及需要电源供电导致传感器寿命年限短、不能在高温工作的技术问题，提供了一种无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法，传感器包括介质基底，介质基底的一侧设置气体测试电感线圈和叉指电容，叉指电容设置在气体测试电感线圈的内侧，且叉指电容与气体测试电感线圈的内圈相连，叉指电容表面附着GO/In2O3气敏薄膜，介质基底的另一侧设置温度测试线圈，温度测试线圈与其自身存在的寄生电容形成一个LC谐振回路。本发明结构简单合理，利用无线无源的方法进行测量，提高了测量的稳定性，降低了功耗，利于实现气体、温度双参数传感器的一体化、微型化，便于加工，成本低廉。

公开(公告)号：CN107677707A

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201710735159.1

申请日：2017-08-24

申请人： 中北大学

发明人： 谭秋林 ,  熊继军 ,  郭彦杰 ,  张磊 ,  逯斐 ,  郭晓威 ,  董和磊 ,  张文栋

IPC分类号： G01N27/12

摘要： 本发明属于气体传感技术领域，具体是一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法。解决了现有气体传感器有线连接，安装不方便，使用周期短等问题，包括上表面金属层、下表面金属层以及设置在中间的LTCC氧化铝陶瓷片，上表面金属层、下表面金属层和LTCC氧化铝陶瓷片组成基片，基片周侧设有一圈基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔，以此构成基于基片集成波导的结构，基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔内填充有银浆料，基片中部设有气体敏感结构，上表面金属层表面设有缝隙天线。本发明充分利用了基片集成波导谐振器具有高的品质因数，低损耗等优点，可以有效的增大无线测试的距离。