公开(公告)号：CN101858745B

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN201010210155.X

申请日：2010-06-21

申请人： 中北大学

发明人： 熊继军 ,  严英占 ,  闫树斌 ,  沈三民 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  吉喆 ,  王丽 ,  张宇光 ,  王晓倩 ,  徐鹏飞 ,  孟祥然 ,  李鹏 ,  邹江

IPC分类号： G01C19/56 ,  B81B3/00

摘要： 本发明涉及基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺，包括垂直腔面发射激光器、共振腔增强型探测器、输入光栅、输出光栅、环形谐振腔、输入和输出光波导、分光隔离器；所述垂直腔面发射激光器集成在SOI材料顶层硅层，利用硅基与III-V族化合物半导体基芯片间的键合技术形成；所述共振腔增强型探测器集成在SOI材料上硅层，应用键合技术键合到InGaAs等探测物质的有源区上；其特点是所述环形谐振腔为圆环形形状，所述输入光栅，通过分光隔离器，输入和输出光波导与环形谐振腔，输出光栅集成一体。本发明基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺主要应用在外部角速度的测量，可应用于小卫星甚至微型卫星中。