一种气湿敏传感芯片测试腔体、系统及方法

    公开(公告)号:CN116699068A

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202310659119.9

    申请日:2023-06-05

    IPC分类号: G01N33/00 G05D27/02

    摘要: 本发明涉及气体传感器及湿度传感器性能检测技术领域,具体涉及一种气湿敏传感芯片测试腔体、系统及方法,腔体包括密封的腔体,腔体内设置有用以放置待测试芯片的样品台,样品台内设置有温度控制组件,温度控制组件包括利用帕尔贴效应实现制冷和加热的温度控制单元以及热电偶测温反馈单元;腔体内还设置有气流组件,包括背景载气送气组件和待测气体送气组件,以及用以排出腔体内气体的排气组件,气流组件还包括扰流件;腔体内还设置有标准温湿度传感器组件。本发明能对测试环境进行精确设定,包括气体组分、测试温度和湿度条件等,在设定后能够提高测试的效果,可更为精确的确定芯片的测定数据,并同时验证多种条件对芯片综合测定性能的影响。

    一种惰性气氛手套箱氢同位素气体去除系统

    公开(公告)号:CN111939717A

    公开(公告)日:2020-11-17

    申请号:CN202010703940.2

    申请日:2020-07-21

    IPC分类号: B01D53/04

    摘要: 本发明公开了一种惰性气氛手套箱氢同位素气体去除系统,包括真空泵、手套箱、循环泵、缓冲罐、检测装置、除杂床、吸气柱;手套箱内为惰性气氛,其与真空泵连接;循环泵进口与手套箱出口连通,用于强制手套箱内的惰性气体在系统内进行循环;缓冲罐进口与循环泵出口连通,用于缓冲循环泵出口气体压力,减少系统内压力波动;检测装置与缓冲罐出口连通,用于监测系统内的真空度以及气体的水、氧含量;除杂床用于将检测水、氧含量后的惰性气体中的氧气和水去除;吸气柱用于将去除氧气和水后的惰性气体中的氢同位素吸附。本发明可以在惰性气氛下高效工作,并以气态的形式回收氢同位素,不仅提高了氢同位素的回收效率和回收效果,而且减少了处理流程。

    一种用于热循环吸附分离装置的高低温循环装置

    公开(公告)号:CN111569658A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010320839.9

    申请日:2020-04-22

    IPC分类号: B01D59/26

    摘要: 本发明涉及热核聚变领域,特别涉及氢同位素气体的分离,具体涉及一种用于热循环吸附分离装置的高低温循环装置,包括油浴池、油泵、第一油罐和第二油罐;所述油浴池用于容纳分离柱;所述油泵用于将第一油罐或第二油罐中的油抽送至所述油浴池;所述油泵的进口端和/或出口端设有阀门;所述油浴池的出油口设有第一出油主管和第二出油主管,所述第一出油主管与所述第一油罐的入口连通,所述第二出油主管与所述第二油罐的入口连通;所述第一出油主管设有第三阀门,所述第二出油主管上设有第四阀门。保证了分离柱温度的均匀性,通过高温油箱和低温油箱以及油泵实现了油浴池内流动介质的冷热循环。提升了分离效果和效率。

    一种螺旋状分离柱的制造方法及实现该方法的设备

    公开(公告)号:CN111569657A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010320838.4

    申请日:2020-04-22

    IPC分类号: B01D59/26

    摘要: 本发明涉及热核聚变领域,特别涉及一种用于氢同位素气体分离的螺旋状分离柱,具体涉及一种螺旋状分离柱的制造方法,以及实现该方法的设备,该方法通过先在原料管内填充填料,再将原料管成型为螺旋状,实现了螺旋状分离柱填料均匀。该设备包括机床、螺旋胎具、管道夹持器;所述机床连接所述螺旋胎具,用于带动所述螺旋胎具旋转;所述螺旋胎具与所述螺旋状分离柱匹配;所述螺旋胎具上设有固定装置,所述固定装置用于固定所述原料管的头端;所述管道夹持器位于所述螺旋胎具的侧面,用于定位未成型的原料管,该设备能够更好的实现上述制造方法。

    一种柱状内置式低温泵
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110985339A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201911167018.X

    申请日:2019-11-25

    IPC分类号: F04B37/08 F04B39/06

    摘要: 本发明公开了一种柱状内置式低温泵,包括接头板、泵壳、环形80K外障板、液氦管道以及若干4.6K低温障板和80K内障板;接头板设置在泵壳上,其上设有进气口、液氦进口、液氦出口;环形80K外障板设置在泵壳内;环形80K外障板中设置有支架,所有的80K内障板并排均布于支架的两侧,并且每片80K内障板均为人字形结构;80K内障板与环形80K外障板之间设有环形连接板,4.6K低温障板的形状为凹字型,并且内壁上涂覆有活性炭;所有的4.6K低温障板两两镜像组成一组,并均布在环形连接板上;所述液氦管道依次穿过相邻4.6K低温障板的间隙,该液氦管道一端连接液氦进口,另一端连接液氦出口。本发明很好地实现了对待处理气体中易气体的冷凝和难冷凝点的气体(氢气、氦气)吸附。