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公开(公告)号：CN109759957A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201910129998.8
申请日：2019-02-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B57/02
摘要： 本发明涉及环抛中抛光液的循环供液装置和供液方法，装置包括供液器；供液管路，其与供液器可转换连通或截止，且其固定于环抛机的多工位桥架上；多个喷嘴，按照预设间距布置于供液管路上，且与供液管路可转换连通或截止；其中预设间距指根据光学元件在环抛机上的位置对应设置喷嘴的位置；回收桶，其连接于环抛机的抛光盘底部；回收泵，其通过管路与回收桶连通，且与供液器可转换连通或截止；及控制柜，供液器、喷嘴和回收泵均与控制柜电性连接。解决了单点供给抛光液造成的抛光液分布不均匀，导致元件表面散热速度不同，引起变形的技术问题，从而改善元件内部的非均匀温度场及其引起的变形，提高加工精度；同时循环利用抛光液可以降低加工成本。
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公开(公告)号：CN110153839B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN201910492443.X
申请日：2019-06-06
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及全口径抛光浸没式元件加工装置、加工方法及抛光机，其中全口径抛光浸没式元件加工装置包括：工件盘，工件盘中部限定出一个浸没室，浸没室用于浸没加工中的元件；及抛光液输送泵，抛光液输送泵出液端通过抛光液输送管连接至浸没室上方喷射抛光液；其进液端与抛光液储液桶连接。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本发明公开提供了一种全口径抛光浸没式元件加工装置，将元件放置在浸没室内，抛光液输送泵供液，抛光液由浸没室顶部流入，抛光液与加工中的元件各表面传导热量，从而有利于改善元件内部的温度分布均匀性，降低非均匀温度分布引起的变形。
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公开(公告)号：CN106949852B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201710229911.5
申请日：2017-04-10
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。
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公开(公告)号：CN107883964A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201711115936.9
申请日：2017-11-13
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC分类号： G01C21/20 , G01B11/002 , G01B11/02
摘要： 环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法，涉及一种环抛加工工件环上运动轨迹检测装置及其方法。本发明为了解决现有环抛加工中工件环上单点运动轨检测过程复杂和检测精度低的问题。装置由工件环、激光位移传感器、光电位置传感器和固定板构成；工件环与固定板平行设置，激光位移传感器设置于工件环上表面的盲孔内部，光电位置传感器以环形阵列的方式设置于固定板的下表面。方法：工件环转动过程中光电位置传感器记录平面坐标数据x和y，激光位移传感器记录竖直高度变化z；将x和y绘制成平面运动轨迹图，将x、y和z绘制成三维运动轨迹图。本发明检测过程简单方便且精度较高，可以而提高元件面形演变预测的精度。
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公开(公告)号：CN110293467B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201910528631.3
申请日：2019-06-18
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 上海中晶企业发展有限公司
IPC分类号： B24B13/00 , B24B13/005 , B24B13/01 , B24B41/02 , B24B51/00 , B24B47/12 , B24B49/00 , B24B53/12
摘要： 本发明涉及一种智能环抛机床，包括基座，其顶部支撑转台底部；转台顶面浇注有一层沥青胶形成抛光盘；转台顶部架设有多工位桥架机构；多工位桥架机构的多个横梁处对应有元件加工工位、抛光盘检测工位及修正盘工位；元件加工工位对应的第一横梁上设置有第一直线滑动导轨，元件加工装置与第一直线滑动导轨可滑动连接；抛光盘检测工位对应的第二横梁上设置有气浮直线导轨，抛光盘检测装置与气浮直线导轨可滑动连接；修正盘工位对应的第三横梁上设置有第二直线滑动导轨，抛光盘修正装置与第二直线滑动导轨可滑动连接；元件加工装置、抛光盘检测装置及抛光盘修正装置均与控制终端电性连接，控制终端内预设有元件加工、抛光盘检测及抛光盘修正的程序。
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公开(公告)号：CN110293467A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201910528631.3
申请日：2019-06-18
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 上海中晶企业发展有限公司
IPC分类号： B24B13/00 , B24B13/005 , B24B13/01 , B24B41/02 , B24B51/00 , B24B47/12 , B24B49/00 , B24B53/12
摘要： 本发明涉及一种智能环抛机床，包括基座，其顶部支撑转台底部；转台顶面浇注有一层沥青胶形成抛光盘；转台顶部架设有多工位桥架机构；多工位桥架机构的多个横梁处对应有元件加工工位、抛光盘检测工位及修正盘工位；元件加工工位对应的第一横梁上设置有第一直线滑动导轨，元件加工装置与第一直线滑动导轨可滑动连接；抛光盘检测工位对应的第二横梁上设置有气浮直线导轨，抛光盘检测装置与气浮直线导轨可滑动连接；修正盘工位对应的第三横梁上设置有第二直线滑动导轨，抛光盘修正装置与第二直线滑动导轨可滑动连接；元件加工装置、抛光盘检测装置及抛光盘修正装置均与控制终端电性连接，控制终端内预设有元件加工、抛光盘检测及抛光盘修正的程序。
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公开(公告)号：CN109794825A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910157298.X
申请日：2019-03-01
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 上海中晶企业发展有限公司
IPC分类号： B24B13/00 , B24B13/005 , B24B13/01 , B24B41/02 , B24B51/00 , B24B47/12 , B24B49/00 , B24B53/12 , B24B1/00
摘要： 本发明涉及一种智能环抛机床，包括基座，其顶部支撑转台底部；转台顶面浇注有一层沥青胶形成抛光盘；转台顶部架设有多工位桥架机构；多工位桥架机构的多个横梁处对应有元件加工工位、抛光盘检测工位及修正盘工位；元件加工工位对应的第一横梁上设置有第一直线滑动导轨，元件加工装置与第一直线滑动导轨可滑动连接；抛光盘检测工位对应的第二横梁上设置有气浮直线导轨，抛光盘检测装置与气浮直线导轨可滑动连接；修正盘工位对应的第三横梁上设置有第二直线滑动导轨，抛光盘修正装置与第二直线滑动导轨可滑动连接；元件加工装置、抛光盘检测装置及抛光盘修正装置均与控制终端电性连接，控制终端内预设有元件加工、抛光盘检测及抛光盘修正的程序。
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公开(公告)号：CN106949852A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710229911.5
申请日：2017-04-10
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24
摘要： 环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。
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公开(公告)号：CN109799138B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201910127368.7
申请日：2019-02-20
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及全口径抛光中抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置，包括固定于抛光机床横梁顶部的控制器；与控制器通信连接的显示终端；固定于横梁上的加载力执行器，且与控制器电性连接；测试板，其为圆形板；其顶部与加载力执行器铰接，其底部与抛光机床的抛光盘抵接；及位移传感器，其通过连接件固定于加载力执行器上，与控制器通信连接，且位移传感器的检测方向指向测试板的顶部。本发明还提供了测量方法，实现了抛光盘弹性模量或蠕变特性的在位测量，无需拆卸抛光盘，操作简单，精度高；同时无需购买专用测量设备，测试成本得到降低；由于测量时无需拆卸抛光盘，防止了抛光盘的形状精度的改变，进而延长了抛光盘的使用寿命。
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公开(公告)号：CN107883964B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201711115936.9
申请日：2017-11-13
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法，涉及一种环抛加工工件环上运动轨迹检测装置及其方法。本发明为了解决现有环抛加工中工件环上单点运动轨检测过程复杂和检测精度低的问题。装置由工件环、激光位移传感器、光电位置传感器和固定板构成；工件环与固定板平行设置，激光位移传感器设置于工件环上表面的盲孔内部，光电位置传感器以环形阵列的方式设置于固定板的下表面。方法：工件环转动过程中光电位置传感器记录平面坐标数据x和y，激光位移传感器记录竖直高度变化z；将x和y绘制成平面运动轨迹图，将x、y和z绘制成三维运动轨迹图。本发明检测过程简单方便且精度较高，可以而提高元件面形演变预测的精度。
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