-
公开(公告)号：CN115091131A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210763157.4
申请日：2022-06-29
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种镍CH复合黑腔制造方法，该方法采用聚醚砜作芯轴材料，通过金刚石车削加工聚醚砜芯轴，获得表面粗糙度较小的芯轴，接着采用磁控溅射技术在聚醚砜芯轴表面溅射数微米厚镍层，并通过气相沉积技术在表面制备CH层，之后通过飞秒激光加工切断黑腔入射孔附近的镍/CH层，并通过金刚石车削技术对芯轴进行二次加工，远离黑腔有效区域去除镀层，露出芯轴材料，最后为避免去芯轴过程中溶胀和提高去除效率，再采用铣削加工去除芯轴中心区域材料，最后通过丙酮或氯仿溶液去除聚醚砜芯轴，获得镍CH复合黑腔。
-
公开(公告)号：CN104694880B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510138718.1
申请日：2015-03-27
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C23C14/22
摘要： 本发明提供了一种精密真空微球拨动装置，所述装置包括真空机械手、真空接口法兰、接地导线、微球盘、步进电机、步进电机支撑及角度调节平台、连接头。真空机械手含有导电刷、真空万向密封球头、机械手柄。所述装置中，真空机械手与真空接口法兰连接，真空接口法兰固定在真空镀膜设备上。通过操作机械手驱动机械手末端的导电刷拨动微球盘内的微球；也可将导电刷预先固定在微球盘内，再通过步进电机驱动微球盘转动来拨动微球。接地导电刷可将微球上的静电导入大地，避免微球静电粘连，进一步保证微球的有效运动，从而实现对微球表面进行均匀涂层处理。本发明结构简单，安装操作方便，能够有效提高微球表面涂层质量。
-
公开(公告)号：CN104689972B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510138684.6
申请日：2015-03-27
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B06B1/06
摘要： 本发明提供了一种水平微球间歇震动装置，所述装置中，微球盘与连接杆连接，连接杆与一组压电陶瓷组件连接，与另一组压电陶瓷组件连接后再与可移动安装架连接，可移动安装架与真空镀膜机连接。两组压电陶瓷组件作为震动源在继电器的控制下间歇震动带动独立微球盘内的微球多向震动，避免了微球间的碰撞和粘连，减少了高频连续震动导致的微球间，及微球与盘壁间的碰撞，降低了对涂层的碰撞破坏，实现微球表面的均匀涂覆，提高了涂层质量。本发明结构简单，安装操作方便，能够有效提高微球表面涂层质量。
-
公开(公告)号：CN104694880A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510138718.1
申请日：2015-03-27
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C23C14/22
摘要： 本发明提供了一种精密真空微球拨动装置，所述装置包括真空机械手、真空接口法兰、接地导线、微球盘、步进电机、步进电机支撑及角度调节平台、连接头。真空机械手含有导电刷、真空万向密封球头、机械手柄。所述装置中，真空机械手与真空接口法兰连接，真空接口法兰固定在真空镀膜设备上。通过操作机械手驱动机械手末端的导电刷拨动微球盘内的微球；也可将导电刷预先固定在微球盘内，再通过步进电机驱动微球盘转动来拨动微球。接地导电刷可将微球上的静电导入大地，避免微球静电粘连，进一步保证微球的有效运动，从而实现对微球表面进行均匀涂层处理。本发明结构简单，安装操作方便，能够有效提高微球表面涂层质量。
-
公开(公告)号：CN104131269A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201410355087.4
申请日：2014-07-24
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C23C16/517 , C23C16/458
摘要： 本发明提供一种微球聚合物涂层制备装置，所述的装置包括进气管、射频屏蔽罩、电感线圈、石英谐振腔、真空室。石英谐振腔位于电感线圈中，电感线圈位于射频屏蔽罩中，进气管与石英谐振腔连接，石英谐振腔与真空室连接，真空室内设有样品架、样品升降台、敲击杆。本发明应用于激光惯性约束聚变领域靶丸烧蚀层材料的制备，具有能实现微球聚合物涂层厚度可控、微球聚合物涂层单层及多层掺杂等特点。
-
公开(公告)号：CN115091131B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202210763157.4
申请日：2022-06-29
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种镍CH复合黑腔制造方法，该方法采用聚醚砜作芯轴材料，通过金刚石车削加工聚醚砜芯轴，获得表面粗糙度较小的芯轴，接着采用磁控溅射技术在聚醚砜芯轴表面溅射数微米厚镍层，并通过气相沉积技术在表面制备CH层，之后通过飞秒激光加工切断黑腔入射孔附近的镍/CH层，并通过金刚石车削技术对芯轴进行二次加工，远离黑腔有效区域去除镀层，露出芯轴材料，最后为避免去芯轴过程中溶胀和提高去除效率，再采用铣削加工去除芯轴中心区域材料，最后通过丙酮或氯仿溶液去除聚醚砜芯轴，获得镍CH复合黑腔。
-
公开(公告)号：CN116543927A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310686857.2
申请日：2023-06-12
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种实现能量增益的激光可控聚变系统及方法，所述系统包括：真空球腔、靶丸、多路激光器、单路高强激光器和激光—冲击波转换器，其中单路高强激光器是指能够输出功率密度可达1023w/cm2，能量在8万焦耳以上的激光器；激光—冲击波转换器为中空锥台形，其锥顶平台端位于靶丸内部，且锥顶虚尖点与靶丸中心重合，所述方法首先利用热斑等离子体状态方程和火箭方程激光激光器参数，接着搭建激光可控聚变系统，最后进行激光可控聚变实验。本申请的系统在激光聚变的直接驱动和间接驱动实验方法基础上发展而来，是一种激光聚变领域新的实验理论和实验方法，该系统及方法能够有效降低激光聚变实验技术难度，实现能量增益的激光可控聚变。
-
公开(公告)号：CN106756889B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201710060502.7
申请日：2017-01-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/517
摘要： 本发明公开了一种用于微波等离子体环境的微球驱动装置，涉及涂层制备技术领域，采用的技术方案是：用于微波等离子体环境的微球驱动装置，包括拨杆、微球盘、真空驱动电机、铜座和微波屏蔽腔板，拨杆和微球盘为石英玻璃材质，拨杆由直杆和圆环构成，圆环用于放置微球盘，直杆连接真空驱动电机；铜座的顶部设置圆槽，放置于圆环内的微球盘位于圆槽内，铜座的下方为微波屏蔽腔板，铜座和真空驱动电机分别位于微波屏蔽腔板的上下侧。微球驱动装置放于微波等离子体化学气相沉积系统内使用，真空驱动电机驱动微球盘内的微球随机运动，实现均匀涂层。微球驱动装置结构简单，使用方便，避免了微球驱动装置与微波电磁场间的相互干扰，提高了涂层质量。
-
公开(公告)号：CN104694900A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510138693.5
申请日：2015-03-27
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C23C14/50
CPC分类号： C23C14/505
摘要： 本发明提供了一种可加偏压式薄膜样品架，能够方便磁控溅射镀膜机样品架加载正负偏压又可以转动样品。本发明的可加偏压式薄膜样品架，包括托架、托架底座、金属轴承、连接杆和真空室底座。利用轴承的特性，把金属轴承的内圈固定在托架连接杆上，同时外圈引出电极，通过连接杆将真空室底座与托架底座之间隔开。这样，解决了旋转托架架和电极连接的难题，也实现了电极和机壳的绝缘问题。本发明既能够使托架旋转，同时又能够对托架施加持续偏压，结构简单，使用方便。
-
公开(公告)号：CN104668146B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201510138715.8
申请日：2015-03-27
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B05C3/08
摘要： 本发明提供了一种微球全向运动涂覆装置，所述装置包括微球盘、步进电机、电机、支撑及角度调节平台、连接头、安装架、弹簧片、凸轮、平板小车、紧固螺钉。微球盘与步进电机连接，支撑及角度调节平台连接，支撑及角度调节平台安放于平板小车上，平板小车与弹簧片及安装架连接，弹簧片与安装架及平板小车连接，电机固定于安装架上，凸轮固定于电机转轴上。本发明采用步进电机、电机作为动力源带动微球盘运动，从而实现微球盘中的微球的全向运动，实现微球的均匀涂覆，并避免了微球之间的粘连和撞击，降低了微球表面涂层粗糙度。本发明结构简单，安装操作方便，能够有效提高微球表面涂层质量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
26 条记录 (耗时 0.037 秒)
