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公开(公告)号：CN118639214A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410679786.8
申请日：2024-05-29
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/44 , C23C16/52
摘要： 本发明公开了一种化学气相沉积用液态气源匮入装置及方法，涉及分解式化学沉积技术领域，目的是提高匮入化学气相沉积反应腔的反应气源的纯度。本发明采用的技术方案是：化学气相沉积用液态气源匮入装置，包括第一储液罐和第二储液罐，第一储液罐装有抽气管、进料管和排料管，三根管道分别连接阀门，抽气管、进料管和排料管位于第一储液罐内部的一端相对第一储液罐的液位高度依次降低；第二储液罐安装入料管和出料管，入料管的一端位于第二储液罐的内部，另一端与排料管相连，出料管的一端位于第二储液罐的内部并位于罐底之外的位置。本发明通过两级储存和真空密封，避免杂质气体混入反应气源，用于将反应气源匮入化学气相沉积反应腔。
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公开(公告)号：CN117466643A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311384193.0
申请日：2023-10-24
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C04B35/51 , C04B35/622 , C04B38/06
摘要： 一种低密度U3O8泡沫陶瓷的制备方法，该方法包括如下步骤：1)配制氧化铀前驱物溶液；2)将泡沫模板置于步骤1)配制的氧化铀前驱物溶液中浸渍，随后在空气中干燥；3)上述步骤循环1～10次，获得氧化铀泡沫坯体；4)将步骤3)所得氧化铀泡沫坯体在低压环境下高温处理，得到氧化铀/碳复合泡沫陶瓷；5)将步骤4)所得物在空气气氛中高温烧结，得到U3O8泡沫陶瓷。本发明可以获得结构完整的低密度U3O8泡沫陶瓷块体材料，材料物相纯度高，密度及泡沫孔径调控范围大，材料最大孔隙率达～95％，可以满足其在催化、激光聚变工程技术等领域的应用。
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公开(公告)号：CN113215532B
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202110517767.1
申请日：2021-05-12
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开的是激光惯性约束聚变靶制备技术领域的一种黑腔内壁低密度金转化层的制备方法，包括以下步骤：首先采用Au靶与活泼金属靶的双靶共溅方式在芯轴表面制备合金结构的内衬层；然后在内衬层结构的表面制备纯金的支撑层；然后对样品进行退火处理；最后将样品在电解质溶液中进行去芯轴和合金处理，清洗、烘干后得到内衬层为低密度金转化层的黑腔。本发明直接在传统金黑腔内壁原位制备低密度能量转化层，不需要二次加工装配成型，制备方法简单，成本低、效率高，并且低密度Au层的密度和密度分布精确可控，可根据需求有效调节，低密度金层作为金黑腔内衬层可提高激光‑X光能量转化效率，降低黑腔壁损失能量，降低特定角度的闪烁和抑制受激布里渊散射。
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公开(公告)号：CN112390658B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202011179763.9
申请日：2020-10-29
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C04B38/06 , C04B35/10 , C04B35/14 , C04B35/48 , C04B35/622
摘要： 一种氧化物泡沫陶瓷材料机械加工成型方法，它属于工程材料加工技术领域，具体涉及一种氧化物泡沫陶瓷材料的加工方法。本发明目的是要解决氧化物泡沫陶瓷材料结构强度低、机械加工成型困难的问题。方法：一、高温预处理；二、泡沫骨架强化；三、机械加工成型；四、高温处理除碳，即实现氧化物泡沫陶瓷材料机械加工成型。优点：显著改善氧化物泡沫陶瓷材料可加工性，提高泡沫材料加工成品率。本发明主要用于氧化物泡沫陶瓷材料机械加工成型。
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公开(公告)号：CN110091130B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201910376676.3
申请日：2019-05-05
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
发明人： 谢军 , 蒋柏斌 , 袁光辉 , 刘峰 , 高莎莎 , 杨洪 , 魏胜 , 何智兵 , 张海军 , 宋成伟 , 李国 , 刘世忠 , 高林 , 张云望 , 卢春林 , 杨亮 , 童维超 , 梁榉曦
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明公开了一种磁重联镍线圈靶制造方法。该方法包括以下步骤：a.采用精密铣削技术加工铝模芯；b.在铝模芯表面电镀镍层；c.在镍层上加工孔，孔深度大于等于镍层的厚度，得到磁重联镍线圈靶粗坯；d.采用慢走丝线切割加工磁重联镍线圈靶粗坯的外形轮廓，得到磁重联镍线圈靶坯子；e.通过NaOH溶液腐蚀磁重联镍线圈靶坯子的铝模芯，清洗后得到所需的磁重联镍线圈靶。本发明的磁重联镍线圈靶制造方法保证了磁重联镍线圈靶的整体性、平整性和加工精度，能够满足磁重联物理实验需求。
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公开(公告)号：CN113096833A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110358490.2
申请日：2021-04-01
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供能够适用于要求仅含有碳和氢两种元素的实验的需求、调制界面结合紧密且调制图形清晰的双介质调制靶及其制备方法。双介质调制靶包括层叠设置的第一介质调制层和第二介质调制层，第一介质调制层由第一介质形成，第二介质调制层由第二介质形成，第一介质和第二介质均仅含有碳和氢两种元素，第一介质调制层的密度与第二介质调制层的密度的比为5:1‑15:1，并且在位于第一介质调制层与第二介质调制层之间的界面处，形成有调制图形。
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公开(公告)号：CN112326630B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202110000543.3
申请日：2021-01-04
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种用于新型冠状病毒检测的SERS芯片及其制备方法，所述的SERS芯片为包含基底及三明治前驱体的多层增强结构，所述的方法包括步骤（1）采用磁控溅射技术首先在基底上沉积三明治前驱体；步骤（2）对三明治前驱体进行去合金化处理，获得SERS芯片。本发明制备简单、成本低廉、无需引入表面活化剂、可大面积均匀制备且能特异性捕获病毒颗粒，本发明避免了合金体系在去合金化过程中宏观结构的坍塌，实现了以Au含量仅1~5at.%的Au‑Ag合金作为前驱体功能层，制备出具有不同沟道尺寸的SERS芯片。本发明可应用于新冠病毒的现场快速检测领域。
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公开(公告)号：CN109175658B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201810836458.9
申请日：2018-07-26
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B23K20/02 , B23K20/24 , B23K20/233
摘要： 一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，它属于精密连接领域，具体涉及一种铝薄膜与异种金属薄膜的连接方法。本发明的目的是要解决现有铝与异种金属薄膜连接方法得到的扩散层厚度无法达到纳米级或厚度不均匀的问题。一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法：先在异种金属薄膜上镀铝层，然后以异种金属薄膜表面的铝层与铝薄膜面接触形式重叠在一起，再通过真空扩散焊接技术进行焊接，即完成铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接。优点：连接界面厚度均匀，平整致密，无微孔和缝隙，厚度控制在百nm量级，薄膜表面粗糙度小于100nm。本发明主要用于铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接。
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公开(公告)号：CN107217234A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201710581458.4
申请日：2017-07-17
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC分类号： C23C14/185 , C23C14/022 , C23C14/0605 , C23C14/34
摘要： 本发明公开了一种制备脆硬金属微球涂层样品盘及其加工方法，涉及微球涂层制备技术领域，解决现有样品盘内表面的涂层脱落产生碎渣，沾附到微球的表面，导致微球表面脆硬金属涂层的表面粗糙度增大的问题。本发明采用的技术方案是：样品盘的内表面呈曲面状，内表面呈粗糙状，内表面外侧顺次涂镀有铝涂层和石墨碳涂层。铝涂层可促使脆硬金属涂层应力弛豫释放；石墨碳涂层可增强脆硬金属与铝涂层之间的附着力，通过两种过渡层的共同作用，抑制脆硬金属涂层从石英样品盘内表面脱落碎裂，改善微球表面质量。样品盘加工方法采用离子束对样品盘内的表面进行表面刻蚀清洗处理，再分别溅射涂镀铝涂层和石墨碳涂层；此外，样品盘经简单处理加工后可重复使用。
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公开(公告)号：CN106498221A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611152625.5
申请日：2016-12-14
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC分类号： C22C1/08 , C23C14/165 , C23C14/185 , C23C14/352 , C23F1/18 , C23F1/20 , C23F1/30
摘要： 本发明属于纳米材料制备领域，具体涉及一种纳米多孔金及其制备方法。本发明所要解决的技术问题是提供一种纳米多孔金，其孔隙率沿厚度方向呈梯度变化。本发明的纳米多孔金比传统纳米多孔金具有更高的表面增强拉曼散射强度和更高的弹性模量。
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