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公开(公告)号：CN113970843A
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202111117738.2
申请日：2021-09-23
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种尺寸可调的软光阑及包括有该软光阑的调光组件，涉及激光加工技术领域，解决如何抑制衍射效应及如何调节光斑大小的问题，包括包括前盖，所述前盖的内侧依次与所述前盖同轴设置有纵向滑轨固定板、软光阑齿a组件、调节滑轨旋转件及后盖；本发明通过尺寸可调的软光阑设置，可以有效抑制激光光路中小孔光阑使用导致的衍射问题；将其应用于透镜组合滑轨系统中，可以在抑制衍射环的前提下改善激光光斑的圆度；可以对激光进行扩束和缩束，使所需光斑的大小、圆度得到灵活的调节，以提升激光加工质量；必要时还可以通过软光阑拦截生成圆形的近平顶光，适应不同的微加工需求。
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公开(公告)号：CN112454014B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202011178769.4
申请日：2020-10-29
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种红外透明陶瓷晶粒尺寸的测量方法，包括步骤1：将平片状红外透明陶瓷样品粘贴在抛光机的可旋转的工件台上、将可旋转的柔性抛光垫压在样品表面上对其进行抛光，且抛光垫对工件的压力可调；步骤2：用白光干涉仪对抛光后的红外透明陶瓷样品表面进行三维形貌检测，选用放大10倍的镜头，对样品抛光表面进行表面三维形貌检测；本发明面向红外透明陶瓷大晶粒尺寸的材料特点，根据抛光过程中抛光材料去除量与晶粒尺寸之间的尺寸效应关系，使抛光后的红外透明陶瓷材料表面的晶粒间存在明显的高度差橘皮效应，根据白光干涉仪的成像特点，在光学显微镜下实现红外透明陶瓷材料平均晶粒尺寸的统计。
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公开(公告)号：CN113970843B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202111117738.2
申请日：2021-09-23
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种尺寸可调的软光阑及包括有该软光阑的调光组件，涉及激光加工技术领域，解决如何抑制衍射效应及如何调节光斑大小的问题，包括包括前盖，所述前盖的内侧依次与所述前盖同轴设置有纵向滑轨固定板、软光阑齿a组件、调节滑轨旋转件及后盖；本发明通过尺寸可调的软光阑设置，可以有效抑制激光光路中小孔光阑使用导致的衍射问题；将其应用于透镜组合滑轨系统中，可以在抑制衍射环的前提下改善激光光斑的圆度；可以对激光进行扩束和缩束，使所需光斑的大小、圆度得到灵活的调节，以提升激光加工质量；必要时还可以通过软光阑拦截生成圆形的近平顶光，适应不同的微加工需求。
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公开(公告)号：CN112454014A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011178769.4
申请日：2020-10-29
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种红外透明陶瓷晶粒尺寸的测量方法，包括步骤1：将平片状红外透明陶瓷样品粘贴在抛光机的可旋转的工件台上、将可旋转的柔性抛光垫压在样品表面上对其进行抛光，且抛光垫对工件的压力可调；步骤2：用白光干涉仪对抛光后的红外透明陶瓷样品表面进行三维形貌检测，选用放大10倍的镜头，对样品抛光表面进行表面三维形貌检测；本发明面向红外透明陶瓷大晶粒尺寸的材料特点，根据抛光过程中抛光材料去除量与晶粒尺寸之间的尺寸效应关系，使抛光后的红外透明陶瓷材料表面的晶粒间存在明显的高度差橘皮效应，根据白光干涉仪的成像特点，在光学显微镜下实现红外透明陶瓷材料平均晶粒尺寸的统计。
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公开(公告)号：CN116275604A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211518483.5
申请日：2022-11-30
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/046 , B23K26/18 , B23K26/70
摘要： 本发明公开了一种使用超快激光加工ICF靶丸锥形充气孔的方法，涉及激光束加工领域，解决小孔尺寸与材料的要求导致传统机械加工在靶丸打孔上应用受限的问题，包括：飞秒激光器的激光穿过聚焦物镜，将焦点对准靶丸顶端；将飞秒激光器的激光平均功率调至2‑4mW；以靶丸顶点为圆心，加工最大直径为4‑20μm的同心圆；加工完一层后，关闭激光，激光移动回圆心，将Z轴下降；至激光焦点位于靶丸顶点表面或位于靶丸壁厚的2/3位置的上方5‑10μm处；本发明可加工不同尺寸的靶丸锥形充气孔，在保证充气管插至需要的靶丸壳层位置的同时，大大提高了后续管球配合的准确性和成功率，对于支撑激光惯性约束聚变实验的推进具有重要的意义。
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公开(公告)号：CN115091107B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211015796.9
申请日：2022-08-24
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种用于激光加工的高精度装夹装置及装夹方法，涉及超精密加工装置技术领域，包括结构支架组、低速转轴、二自由度平动的二自由度微位移平台、水平调节装置、高倍显微镜、显微镜支架；低速转轴通过轴承座竖直设置在结构支架组上，低速转轴顶部穿过结构支架组通过螺钉与轴套与二自由度微位移平台底部连接，所述二自由度微位移平台顶部安装水平调节装置，所述显微镜支架活动设置在结构支架组一侧，所述高倍显微镜安装在显微镜支架上且位于水平调节装置上方，所述水平调节装置上表面设置有便于工件的放置和初步定位的同心环形标线和定位中心；本发明可以提高激光加工过程中工件表面不同位置的加工精度和加工质量的一致性。
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公开(公告)号：CN115091107A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202211015796.9
申请日：2022-08-24
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种用于激光加工的高精度装夹装置及装夹方法，涉及超精密加工装置技术领域，包括结构支架组、低速转轴、二自由度平动的二自由度微位移平台、水平调节装置、高倍显微镜、显微镜支架；低速转轴通过轴承座竖直设置在结构支架组上，低速转轴顶部穿过结构支架组通过螺钉与轴套与二自由度微位移平台底部连接，所述二自由度微位移平台顶部安装水平调节装置，所述显微镜支架活动设置在结构支架组一侧，所述高倍显微镜安装在显微镜支架上且位于水平调节装置上方，所述水平调节装置上表面设置有便于工件的放置和初步定位的同心环形标线和定位中心；本发明可以提高激光加工过程中工件表面不同位置的加工精度和加工质量的一致性。
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公开(公告)号：CN115026449A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210666689.6
申请日：2022-06-14
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/03 , B23K26/06
摘要： 本发明公开了一种紧聚焦飞秒激光光束的准直性调校方法及装置，用于对飞秒激光准直校对，包括飞秒激光器、可调光阑、衰减能量装置、转向器一、转向器二、载物台、载玻片、显微视觉模块、平移台；飞秒激光器发射激光束、可调光阑、衰减能量装置沿激光发射方向依次同轴设置；衰减能量装置通过转向器一、转向器二与显微视觉模块光路串联；其中，转向器一、转向器二沿激光光路依次串联；载玻片放置在载物台台面上，承接显微视觉模块输出光；显微视觉模块与转向器二与平移台台面固定连接。
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公开(公告)号：CN113953691A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202110723914.0
申请日：2021-06-28
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了使用激光加工的精密高效彩色钛合金制备方法，属于激光加工彩色钛合金领域，以解决现有的钛合金表面着色技术存在加工对象面型以及面积受限、涂层着色易脱落、氧化工艺复杂、纳米光刻效率低下且成本高的缺陷，包括如下步骤：钛合金进行清洗并晾干，之后置于红外皮秒激光器的加工台；使用可控制扫描振镜工作的ezCAD软件依据表面着色要求选择激光器参数和加工工艺参数；进行激光着色；再次清洗并晾干。皮秒激光加工的热效应远低于纳秒激光，对材料的损伤小；价格较飞秒激光低廉且效更高；对环境无特殊要求，方法简单，易实现自动化加工；加工对象尺寸无限制；配合加工平台可对复杂结构产品进行着色；材料表面预处理简单，绿色环保。
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