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公开(公告)号：CN109061894B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201810910887.6
申请日：2018-08-10
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 清华大学
摘要： 一种巨型光学平面反射阵列装置的超精密准直仪器及准直方法，包括基体装置，基体装置上有多个采用标准联接的接口为元件及检测仪器提供安装定位功能；在基体装置上水平安装有小口径反射元件阵列，在基体装置上竖直安装有小口径半透半反元件阵列，在基体装置上可安装一个在竖直面上二维运动的大口径反射元件，在基体装置上安装有可移动并精密调整的光学自准直仪。在对仪器进行了校准之后，在检测工位上安装待检测的巨型光学平面反射阵列装置，可完成对其各反射元件的准直操作。本发明既可以对极大口径的光学平面反射阵列进行检测并准直，也能够在大口径激光干涉仪难以使用的工程条件下开展工作，并能够实现较高的准直精度。
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公开(公告)号：CN107571273A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710963796.4
申请日：2017-10-17
申请人： 清华大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 一种大口径光学元件精密洁净装配的自动化抓取装置与方法，装置由可重构的末端执行器、操控机械臂、计算机控制单元、任务管理软件及工艺数据库系统、扫码识别器以及电气辅助支持系统等组成。其中末端执行器装置采用了真空吸附方式，包括法兰联接盘、中央主轴单元、支撑杆系、移动滑块单元、吸盘阵列单元、视频跟踪系统等。进行精密光学元件的抓取与装配操作时，扫码识别出零件号，自动检索出元件的适用工艺并按照指令流程调整末端执行器的构型，操控末端执行器实现对光学元件的精准抓取与稳定吸附，移动机械臂将元件放置到指定工位，完成装配操作后机械臂携带末端执行器归复原位。本发明可满足大口径光学元件精密洁净自动化装配的工程需求。
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公开(公告)号：CN107571273B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201710963796.4
申请日：2017-10-17
申请人： 清华大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 一种大口径光学元件精密洁净装配的自动化抓取装置与方法，装置由可重构的末端执行器、操控机械臂、计算机控制单元、任务管理软件及工艺数据库系统、扫码识别器以及电气辅助支持系统等组成。其中末端执行器装置采用了真空吸附方式，包括法兰联接盘、中央主轴单元、支撑杆系、移动滑块单元、吸盘阵列单元、视频跟踪系统等。进行精密光学元件的抓取与装配操作时，扫码识别出零件号，自动检索出元件的适用工艺并按照指令流程调整末端执行器的构型，操控末端执行器实现对光学元件的精准抓取与稳定吸附，移动机械臂将元件放置到指定工位，完成装配操作后机械臂携带末端执行器归复原位。本发明可满足大口径光学元件精密洁净自动化装配的工程需求。
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公开(公告)号：CN109061894A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810910887.6
申请日：2018-08-10
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 清华大学
摘要： 一种巨型光学平面反射阵列装置的超精密准直仪器及准直方法，包括基体装置，基体装置上有多个采用标准联接的接口为元件及检测仪器提供安装定位功能；在基体装置上水平安装有小口径反射元件阵列，在基体装置上竖直安装有小口径半透半反元件阵列，在基体装置上可安装一个在竖直面上二维运动的大口径反射元件，在基体装置上安装有可移动并精密调整的光学自准直仪。在对仪器进行了校准之后，在检测工位上安装待检测的巨型光学平面反射阵列装置，可完成对其各反射元件的准直操作。本发明既可以对极大口径的光学平面反射阵列进行检测并准直，也能够在大口径激光干涉仪难以使用的工程条件下开展工作，并能够实现较高的准直精度。
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公开(公告)号：CN107179591A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201710344539.2
申请日：2017-05-16
申请人： 清华大学
IPC分类号： G02B7/00
CPC分类号： G02B7/00
摘要： 一种激光倍频晶体的精密夹持装置与主动光学控制方法，该装置包括框架组件、晶体压板、促动器支架、压电纳米促动器、球形压头、预紧螺钉和压电陶瓷控制器。激光倍频晶体元件在所述框架组件正面底部的凸台实现底面定位；晶体压板安装在框架组件上对晶体进行初始预紧；压电纳米促动器安装在促动器支架上，实现对晶体面形的超精密主动光学调控。基于该装置提出的全闭环装校工艺流程将仿真建模计算、机械装配预紧和自动光学调校串联起来，可以有效提高晶体面形质量，从而保证高功率激光光束质量。最终实现惯性约束聚变装置中大径厚比光学元件更合理、更精准、更便捷、更高效的装配。
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公开(公告)号：CN107807431A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201711317569.0
申请日：2017-12-11
申请人： 清华大学
IPC分类号： G02B7/00
CPC分类号： G02B7/00
摘要： 一种大口径高功率激光倍频晶体边缘自锁夹持装置和方法，该装置包括激光倍频晶体、外支撑框、侧向限位螺钉、边缘可自锁夹持器、预紧螺钉和垫块等组成；其中边缘可自锁夹持器在安装到位后可形成自锁结构，由夹持器基座、促动转架、连接限位块、转动支架、转轴、固定螺钉组成；在高洁净光学装配环境中进行超精密大口径激光倍频晶体的装校操作时，使用一把内六角扳手可以快速、无接触地完成对晶体X\Y\Z三个方向的定位夹紧，并能够实现对夹持力的进一步精密调校；本发明可满足大口径高功率激光倍频晶体精密、洁净、高效装配的工程需求。
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公开(公告)号：CN107807431B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201711317569.0
申请日：2017-12-11
申请人： 清华大学
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 一种大口径高功率激光倍频晶体边缘自锁夹持装置和方法，该装置包括激光倍频晶体、外支撑框、侧向限位螺钉、边缘可自锁夹持器、预紧螺钉和垫块等组成；其中边缘可自锁夹持器在安装到位后可形成自锁结构，由夹持器基座、促动转架、连接限位块、转动支架、转轴、固定螺钉组成；在高洁净光学装配环境中进行超精密大口径激光倍频晶体的装校操作时，使用一把内六角扳手可以快速、无接触地完成对晶体X\Y\Z三个方向的定位夹紧，并能够实现对夹持力的进一步精密调校；本发明可满足大口径高功率激光倍频晶体精密、洁净、高效装配的工程需求。
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公开(公告)号：CN107179591B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201710344539.2
申请日：2017-05-16
申请人： 清华大学
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 一种激光倍频晶体的精密夹持装置与主动光学控制方法，该装置包括框架组件、晶体压板、促动器支架、压电纳米促动器、球形压头、预紧螺钉和压电陶瓷控制器。激光倍频晶体元件在所述框架组件正面底部的凸台实现底面定位；晶体压板安装在框架组件上对晶体进行初始预紧；压电纳米促动器安装在促动器支架上，实现对晶体面形的超精密主动光学调控。基于该装置提出的全闭环装校工艺流程将仿真建模计算、机械装配预紧和自动光学调校串联起来，可以有效提高晶体面形质量，从而保证高功率激光光束质量。最终实现惯性约束聚变装置中大径厚比光学元件更合理、更精准、更便捷、更高效的装配。
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公开(公告)号：CN207586507U
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201721715566.8
申请日：2017-12-11
申请人： 清华大学
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 一种大口径高功率激光倍频晶体边缘自锁夹持装置，该装置包括激光倍频晶体、外支撑框、侧向限位螺钉、边缘可自锁夹持器、预紧螺钉和垫块等组成；其中边缘可自锁夹持器在安装到位后可形成自锁结构，由夹持器基座、促动转架、连接限位块、转动支架、转轴、固定螺钉组成；在高洁净光学装配环境中进行超精密大口径激光倍频晶体的装校操作时，使用一把内六角扳手可以快速、无接触地完成对晶体X\Y\Z三个方向的定位夹紧，并能够实现对夹持力的进一步精密调校；本实用新型可满足大口径高功率激光倍频晶体精密、洁净、高效装配的工程需求。
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