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公开(公告)号：CN109061894B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201810910887.6
申请日：2018-08-10
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 清华大学
摘要： 一种巨型光学平面反射阵列装置的超精密准直仪器及准直方法，包括基体装置，基体装置上有多个采用标准联接的接口为元件及检测仪器提供安装定位功能；在基体装置上水平安装有小口径反射元件阵列，在基体装置上竖直安装有小口径半透半反元件阵列，在基体装置上可安装一个在竖直面上二维运动的大口径反射元件，在基体装置上安装有可移动并精密调整的光学自准直仪。在对仪器进行了校准之后，在检测工位上安装待检测的巨型光学平面反射阵列装置，可完成对其各反射元件的准直操作。本发明既可以对极大口径的光学平面反射阵列进行检测并准直，也能够在大口径激光干涉仪难以使用的工程条件下开展工作，并能够实现较高的准直精度。
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公开(公告)号：CN107571273A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710963796.4
申请日：2017-10-17
申请人： 清华大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 一种大口径光学元件精密洁净装配的自动化抓取装置与方法，装置由可重构的末端执行器、操控机械臂、计算机控制单元、任务管理软件及工艺数据库系统、扫码识别器以及电气辅助支持系统等组成。其中末端执行器装置采用了真空吸附方式，包括法兰联接盘、中央主轴单元、支撑杆系、移动滑块单元、吸盘阵列单元、视频跟踪系统等。进行精密光学元件的抓取与装配操作时，扫码识别出零件号，自动检索出元件的适用工艺并按照指令流程调整末端执行器的构型，操控末端执行器实现对光学元件的精准抓取与稳定吸附，移动机械臂将元件放置到指定工位，完成装配操作后机械臂携带末端执行器归复原位。本发明可满足大口径光学元件精密洁净自动化装配的工程需求。
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公开(公告)号：CN107571273B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201710963796.4
申请日：2017-10-17
申请人： 清华大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 一种大口径光学元件精密洁净装配的自动化抓取装置与方法，装置由可重构的末端执行器、操控机械臂、计算机控制单元、任务管理软件及工艺数据库系统、扫码识别器以及电气辅助支持系统等组成。其中末端执行器装置采用了真空吸附方式，包括法兰联接盘、中央主轴单元、支撑杆系、移动滑块单元、吸盘阵列单元、视频跟踪系统等。进行精密光学元件的抓取与装配操作时，扫码识别出零件号，自动检索出元件的适用工艺并按照指令流程调整末端执行器的构型，操控末端执行器实现对光学元件的精准抓取与稳定吸附，移动机械臂将元件放置到指定工位，完成装配操作后机械臂携带末端执行器归复原位。本发明可满足大口径光学元件精密洁净自动化装配的工程需求。
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公开(公告)号：CN109061894A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810910887.6
申请日：2018-08-10
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 清华大学
摘要： 一种巨型光学平面反射阵列装置的超精密准直仪器及准直方法，包括基体装置，基体装置上有多个采用标准联接的接口为元件及检测仪器提供安装定位功能；在基体装置上水平安装有小口径反射元件阵列，在基体装置上竖直安装有小口径半透半反元件阵列，在基体装置上可安装一个在竖直面上二维运动的大口径反射元件，在基体装置上安装有可移动并精密调整的光学自准直仪。在对仪器进行了校准之后，在检测工位上安装待检测的巨型光学平面反射阵列装置，可完成对其各反射元件的准直操作。本发明既可以对极大口径的光学平面反射阵列进行检测并准直，也能够在大口径激光干涉仪难以使用的工程条件下开展工作，并能够实现较高的准直精度。
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公开(公告)号：CN116375350B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202310413943.6
申请日：2023-04-18
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及一种高抗激光损伤性能的石英表面制备方法，包括以下步骤：先对石英基片进行刻蚀处理；其后再对所述石英基片进行Marangoni干燥处理；最后再对所述石英基片进行二氧化碳激光热处理；通过刻蚀能够有效去除石英表面的抛光残留物和亚表面缺陷层等低通量损伤前驱体，但同时也会引入高通量前驱体，比如痕量的无机盐和有机物类沉积物；而后利用Marangoni干燥大幅降低残留液膜厚度实现无机盐类沉积物的有效抑制；再利用二氧化碳激光热处理实现对有机物类沉积物的热降解，进而获得具有高抗激光损伤性能的石英表面。
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公开(公告)号：CN116626793A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310599730.7
申请日：2023-05-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种利用湿法刻蚀制作熔石英衬底曲线型光栅元件的方法，包括：对熔石英衬底进行清洗；对清洗后的熔石英衬底表面涂覆光敏性有机材料膜层；在涂覆有光敏性有机材料膜层的熔石英衬底表面曝光显影，产生光栅图像；进行湿法刻蚀，将曝光显影产生的光栅图像转移到熔石英衬底上，得到熔石英衬底光栅；对熔石英衬底光栅进行清洗，去除湿法刻蚀后熔石英衬底光栅表面残留的光敏性有机材料膜层材料，得到熔石英衬底曲线型光栅元件。本发明的方法可制作无亚表面缺陷的熔石英衬底光栅元件，进而提升熔石英衬底光栅元件的抗激光损伤性能，延长光栅元件使用寿命，降低熔石英衬底光栅元件使用成本。
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公开(公告)号：CN109740270B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN201910018170.5
申请日：2019-01-09
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G06F30/20 , B23P19/04 , B25J19/02 , G06F119/14
摘要： 本发明公开一种基于接触力与力矩预测和分析的大长径比轴孔装配系统及方法，先由预测机构通过三轴位姿参数I1、三轴接触力数据I2、三轴力矩数据I3预测装配过程的实际接触力/力矩数据I5；再由受力分析机构根据三轴位姿参数I1、实际接触力/力矩数据I5分析装配过程中大长径比插轴与装配孔的受力情况，得出装配姿态的调整分析结果。有益效果：通过建立精确的数学模型，继而通过收集的数据对参数进行求解，将采集不同条件下的数据对用来训练神经网络模型并建立其映射关系，实现精确预测力与力矩，并在预测后通过装配过程中大长径比轴的受力情况准确分析其装配是否有偏差，从而为精确控制装配动作提供分析支持。
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公开(公告)号：CN109940604B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201910084044.X
申请日：2019-01-29
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开一种基于点云数据的工件三维定位系统及方法，通过视觉分析机构将深度相机的数据转化为装配点位的位置信息，从而得到实时的准确位置关系，不论待装配工件是否改变位置，都能为后续机器人动作提供精准的位置信息，实现快速准确的装配动作。
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公开(公告)号：CN103278128A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310185152.9
申请日：2013-05-17
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 西南科技大学
IPC分类号： G01B21/22
摘要： 本发明公开了一种快速的KDP晶体最佳匹配角精确测量方法，包括以下步骤：A1单点调谐曲线的快速测量；A2、晶体全口径的最佳匹配角计算方法；采用快速搜索策略，在最佳匹配角附近获取该测量点在不同角度下的相对转换效率，从而拟合该点的调谐曲线。采用各单点的相对转换效率总和最大规则求取晶体全口径的最佳匹配角。本发明的方法针对现有测量系统存在测量速度慢、计算晶体最佳匹配角存在误差等问题，实现了对KDP晶体最佳匹配角的快速、准确测量。
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公开(公告)号：CN113021223B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110332917.1
申请日：2021-03-29
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明涉及一种用于大口径平面反射镜的周圈少点夹持框及夹持方法，属于精密光机技术领域，夹持框包括框体、定位元件、压框和夹持元件，框体用于安装和夹持反射镜，定位元件的末端与反射镜相抵以定位反射镜，压框用于限制反射镜自框体内脱出，通过改变夹持元件与反射镜之间的间距，对反射镜的侧面及正面进行夹持，本发明借助夹持元件和定位元件，对反射镜的正面和侧面分别进行夹持，采用侧面中心线点夹持方式，降低夹持力对反射镜面形附加畸变的影响，从受力原理上保证夹持对反射镜面形的低应力性，结构可靠，夹持便捷，能够满足反射镜夹持附加面形畸变和夹持稳定性要求，有利于工程的批量推广。
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