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公开(公告)号：CN109061894B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201810910887.6
申请日：2018-08-10
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 清华大学
摘要： 一种巨型光学平面反射阵列装置的超精密准直仪器及准直方法，包括基体装置，基体装置上有多个采用标准联接的接口为元件及检测仪器提供安装定位功能；在基体装置上水平安装有小口径反射元件阵列，在基体装置上竖直安装有小口径半透半反元件阵列，在基体装置上可安装一个在竖直面上二维运动的大口径反射元件，在基体装置上安装有可移动并精密调整的光学自准直仪。在对仪器进行了校准之后，在检测工位上安装待检测的巨型光学平面反射阵列装置，可完成对其各反射元件的准直操作。本发明既可以对极大口径的光学平面反射阵列进行检测并准直，也能够在大口径激光干涉仪难以使用的工程条件下开展工作，并能够实现较高的准直精度。
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公开(公告)号：CN107571273A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710963796.4
申请日：2017-10-17
申请人： 清华大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 一种大口径光学元件精密洁净装配的自动化抓取装置与方法，装置由可重构的末端执行器、操控机械臂、计算机控制单元、任务管理软件及工艺数据库系统、扫码识别器以及电气辅助支持系统等组成。其中末端执行器装置采用了真空吸附方式，包括法兰联接盘、中央主轴单元、支撑杆系、移动滑块单元、吸盘阵列单元、视频跟踪系统等。进行精密光学元件的抓取与装配操作时，扫码识别出零件号，自动检索出元件的适用工艺并按照指令流程调整末端执行器的构型，操控末端执行器实现对光学元件的精准抓取与稳定吸附，移动机械臂将元件放置到指定工位，完成装配操作后机械臂携带末端执行器归复原位。本发明可满足大口径光学元件精密洁净自动化装配的工程需求。
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公开(公告)号：CN107571273B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201710963796.4
申请日：2017-10-17
申请人： 清华大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 一种大口径光学元件精密洁净装配的自动化抓取装置与方法，装置由可重构的末端执行器、操控机械臂、计算机控制单元、任务管理软件及工艺数据库系统、扫码识别器以及电气辅助支持系统等组成。其中末端执行器装置采用了真空吸附方式，包括法兰联接盘、中央主轴单元、支撑杆系、移动滑块单元、吸盘阵列单元、视频跟踪系统等。进行精密光学元件的抓取与装配操作时，扫码识别出零件号，自动检索出元件的适用工艺并按照指令流程调整末端执行器的构型，操控末端执行器实现对光学元件的精准抓取与稳定吸附，移动机械臂将元件放置到指定工位，完成装配操作后机械臂携带末端执行器归复原位。本发明可满足大口径光学元件精密洁净自动化装配的工程需求。
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公开(公告)号：CN109061894A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810910887.6
申请日：2018-08-10
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 清华大学
摘要： 一种巨型光学平面反射阵列装置的超精密准直仪器及准直方法，包括基体装置，基体装置上有多个采用标准联接的接口为元件及检测仪器提供安装定位功能；在基体装置上水平安装有小口径反射元件阵列，在基体装置上竖直安装有小口径半透半反元件阵列，在基体装置上可安装一个在竖直面上二维运动的大口径反射元件，在基体装置上安装有可移动并精密调整的光学自准直仪。在对仪器进行了校准之后，在检测工位上安装待检测的巨型光学平面反射阵列装置，可完成对其各反射元件的准直操作。本发明既可以对极大口径的光学平面反射阵列进行检测并准直，也能够在大口径激光干涉仪难以使用的工程条件下开展工作，并能够实现较高的准直精度。
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公开(公告)号：CN103810343B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410062520.5
申请日：2014-02-24
申请人： 清华大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G06F17/50
摘要： 一种零件关键工艺表面的创成式精细化表征方法，先对表面进行网格划分形成离散点集合，并基于轮廓公差要求生成带随机偏差的新离散点集合；再将该离散点集合插值成为样条曲面，形成理想表面的一个带轮廓误差的实例；在轮廓误差表面上继续进行高密度网格划分形成离散点集合，并基于粗糙度要求生成带随机偏差的新离散点集合；继续将该离散点集合插值成为样条曲面，形成零件表面的一个带制造误差的精细化表征实例；用新的精细化表面替换零件名义模型上的原表面，可以生成一个原零件模型带制造误差的新实例，重复上述进程能够多次重建带制造误差的零件实例集，这些实例从整体上反映出该零件关键工艺表面的实际工程状态，具有高效、准确、低成本的优点。
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公开(公告)号：CN103810343A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410062520.5
申请日：2014-02-24
申请人： 清华大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G06F17/50
摘要： 一种零件关键工艺表面的创成式精细化表征方法，先对表面进行网格划分形成离散点集合，并基于轮廓公差要求生成带随机偏差的新离散点集合；再将该离散点集合插值成为样条曲面，形成理想表面的一个带轮廓误差的实例；在轮廓误差表面上继续进行高密度网格划分形成离散点集合，并基于粗糙度要求生成带随机偏差的新离散点集合；继续将该离散点集合插值成为样条曲面，形成零件表面的一个带制造误差的精细化表征实例；用新的精细化表面替换零件名义模型上的原表面，可以生成一个原零件模型带制造误差的新实例，重复上述进程能够多次重建带制造误差的零件实例集，这些实例从整体上反映出该零件关键工艺表面的实际工程状态，具有高效、准确、低成本的优点。
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公开(公告)号：CN107015336B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201710367106.9
申请日：2017-05-23
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种大径厚比光学元件的多功能夹持系统，该夹持系统包括元件框、光学元件、夹持模块和压紧螺钉；光学元件通过夹持模块的固定在元件框内，夹持模块通过压紧螺钉固定在元件框上，夹持模块通过夹持模块安装面与元件框固定连接，夹持模块的光学元件接触面与光学元件的表面接触并传递压力，夹持模块能够实现光学元件接触面相对于夹持模块安装面在X轴方向转动、Y轴方向转动以及Z轴方向平动三个自由度的自适应调节，进而保证夹持模块的光学元件接触面与光学元件时刻处于面接触的状态，有利于控制光学元件面型。
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公开(公告)号：CN106197950B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201610569127.4
申请日：2016-07-19
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种米级尺度多光轴平行检测装置及检测方法，其包括第一校准部、第二校准部、第三校准部、第一平移机构和控制系统，所述第一校准部包括自准直仪一、固定基准和第一支撑平台，所述自准直仪一和固定基准依次安装在所述第一支撑平台上，所述第二校准部和第三校准部安装在所述第一平移机构上，所述第二校准部和第三校准部与控制系统连接，本发明装置满足多光轴平行性检测需求，采用该检测方法进行多光轴平行性检测，检测区域可达数米见方，检测过程实现自动化。
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公开(公告)号：CN104483098B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201410672266.0
申请日：2014-11-20
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01M11/00
摘要： 本发明公开了一种晶体匹配角离线测量误差实时修正方法，应用激光自准直仪监测晶体匹配角测量过程中入射激光漂移角度，若激光漂移角度大于预设阈值0.4″则舍去该角漂过大的测量数据，应用自准直仪监测晶体测量过程中待测晶体发生的旋转角度偏差，将其中保留的旋转角度偏差代入进匹配角计算中。其显著效果是：通过自准直仪对测量过程中光路基准偏移和光学角漂进行实时修正，并在晶体匹配角测量过程中的对动态误差进行了修正，改变了过去只针对基准的静态误差修正情况，保证了晶体匹配角测量的精确性，可以最大程度消除大口径晶体离线测量系统中的动态测量误差。
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公开(公告)号：CN104597580B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201510041238.3
申请日：2015-01-27
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明公开了一种平面类光学元件胶结方法，包括以下步骤：将平面光学元件安装到镂空定位槽中并定位；固定连接件于调整夹具中；架设光学监视系统；取下连接件，做表面处理、涂胶；利用调整夹具调整连接件位姿，并通过光学监视系统全程观测，实现对平面光学元件与胶结连接件间相对位置关系精密调整、胶层厚度及均匀性精密控制，通过本发明方法完成的多点胶结应力均匀、厚度一致性高、胶层均匀，光学元件附加面形不超过100nm，对光学元件性能影响极小。对粘性流体胶水厚度实现了连续控制，且操作简单。
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