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公开(公告)号：CN112621538A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011480650.2
申请日：2020-12-15
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
Abstract: 本发明提供一种谐振子壳体端面的抛光方法，包括：S1、将待抛光的谐振子固定于环形工装的内部，形成组合体；S2、将组合体放置于抛光盘上，并使得待抛光的谐振子中心柱插入抛光盘布置的孔内；S3、在抛光液的辅助下，通过组合体与抛光盘之间发生的相对运动进行谐振子端面抛光。本发明的谐振子壳体端面的抛光方法，解决了谐振子中心柱过长对壳体端面抛光带来的干扰问题，有效保证壳体端面的平面度、粗糙度以及与谐振子中心轴的垂直度。
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公开(公告)号：CN108857588A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810653280.4
申请日：2018-06-22
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种抛光装置和抛光方法，涉及抛光技术领域。本发明实施例提出了一种抛光装置，包括：舱体，所述舱体内设有由隔离板分隔而成的第一腔体和第二腔体，所述隔离板用于使所述第一腔体和所述第二腔体之间连通或隔离，所述第一腔体内设有用于检测待抛元件形貌特征的检测设备，所述第二腔体内设有用于对待抛元件抛光的抛光设备。本发明主要是用于提高待抛元件的加工效率。
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公开(公告)号：CN110894599B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201811069708.7
申请日：2018-09-13
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
IPC: C23C16/513 , C23C16/455
Abstract: 本发明是关于一种等离子体化学气相沉积系统。该沉积系统包括等离子体沉积装置，该等离子体沉积装置包括等离子体炬和沉积室。该沉积系统还包括：尾气循环装置、新鲜气体供给装置和在线监控装置，该尾气循环装置一端连接于沉积室的排气口，另一端连接于等离子体炬的进气口；该新鲜气体供给装置，连接于等离子体炬的进气口；该在线监控装置用于实时检测气体组分、温度、沉积室压力及沉积基体温度。本发明还提出了一种等离子体化学气相沉积方法。本发明方法将等离子体化学气相沉积系统排放的气体经简单处理后进行气体循环使用，克服现有技术气体消耗较大的问题，大大降低气体成本，同时保证沉积系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN112548450A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011388324.9
申请日：2020-12-01
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
Abstract: 本发明涉及超薄片固定技术领域，尤其涉及一种超薄片固定装置及方法。该超薄片固定装置包括固定底座和定位基板，所述固定底座的上表面设有与所述定位基板的形状相适配的定位槽，所述定位基板安装于所述定位槽的内部；所述定位基板的上表面为设有用于固定超薄片的液膜。本发明结构简单，操作方便，能够依靠液膜的表面张力将超薄片固定在定位基板上，从而有效解决了超薄片在切割和镀膜过程中极易弯曲变形的问题，确保了超薄片在加工过程中的平面度和平整度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110894599A
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201811069708.7
申请日：2018-09-13
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
IPC: C23C16/513 , C23C16/455
Abstract: 本发明是关于一种等离子体化学气相沉积系统。该沉积系统包括等离子体沉积装置，该等离子体沉积装置包括等离子体炬和沉积室。该沉积系统还包括：尾气循环装置、新鲜气体供给装置和在线监控装置，该尾气循环装置一端连接于沉积室的排气口，另一端连接于等离子体炬的进气口；该新鲜气体供给装置，连接于等离子体炬的进气口；该在线监控装置用于实时检测气体组分、温度、沉积室压力及沉积基体温度。本发明还提出了一种等离子体化学气相沉积方法。本发明方法将等离子体化学气相沉积系统排放的气体经简单处理后进行气体循环使用，克服现有技术气体消耗较大的问题，大大降低气体成本，同时保证沉积系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN110316970A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910468977.9
申请日：2019-05-31
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
Abstract: 本发明提出一种超薄石英玻璃片的制备方法。所述方法联合使用精密机械抛光和酸刻蚀的方法制备超薄石英玻璃片；其厚度≤100μm，厚度均匀性为-2μm～2μm，表面粗糙度Ra≤2nm；所述方法包括以下步骤：采用精密机械抛光将石英玻璃片研磨、抛光，得第一石英玻璃片；清洗；酸刻蚀，得超薄石英玻璃片；所述的酸刻蚀采用氢氟酸，其浓度为10～20mol/L，酸刻蚀的温度为30℃～40℃，酸刻蚀的速率≤1μm/min。所述方法联合使用精密机械抛光和氢氟酸刻蚀相结合的方法加工石英玻璃片，通过对各工序的工艺参数匹配协调，避免了石英玻璃薄片制备过程中碎裂，同时提高其厚度均匀性和表面粗糙度，从而更加适于实用。
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公开(公告)号：CN111238461B
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202010159093.8
申请日：2020-03-09
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
Abstract: 本发明涉及惯性导航技术领域，尤其涉及一种谐振子及其制备方法。谐振子的制备方法包括如下步骤：掏棒、一次退火、内表面成型、外表面成型、二次退火、酸刻蚀以及清洗。本发明采用一次装卡成型技术，有效保证谐振子内外表面的径向圆度、同轴度达到亚微米级精度；该方法还具有成品率高、一致性好等优点；制备的谐振子具有应力小、无亚表面损伤、机械品质因数高的特点。
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公开(公告)号：CN116754652A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310644807.8
申请日：2023-06-01
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
Abstract: 本发明提供一种固体材料内耗测量装置及测量方法，包括真空腔体、真空机组、样品固定工装、振动激励组件、振动检测组件与振动信号处理分析组件。基于该装置提出一种固体材料内耗测量方法，该方法可以测量金属及非金属固体材料在特定振动频率下的内耗大小，具有灵敏度高、测量精度高等优点。
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公开(公告)号：CN111238461A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010159093.8
申请日：2020-03-09
Applicant: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
Abstract: 本发明涉及惯性导航技术领域，尤其涉及一种谐振子及其制备方法。谐振子的制备方法包括如下步骤：掏棒、一次退火、内表面成型、外表面成型、二次退火、酸刻蚀以及清洗。本发明采用一次装卡成型技术，有效保证谐振子内外表面的径向圆度、同轴度达到亚微米级精度；该方法还具有成品率高、一致性好等优点；制备的谐振子具有应力小、无亚表面损伤、机械品质因数高的特点。
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