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公开(公告)号:CN103625114B
公开(公告)日:2015-10-28
申请号:CN201310580549.8
申请日:2013-11-19
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要: 本发明公开了一种制备太阳能电池超细主副栅线的喷墨装置。为了减少减反膜的遮挡面积,实现高的高宽比来提高太阳能电池的转换效率。所述喷墨装置包括直线导轨,装在每组直线导轨上的横向定位机构和纵向定位机构,每组横向直线导轨包括横向直线滑轨和横向滑动滑块,每组纵向直线导轨包括纵向直线滑轨和纵向滑动滑块;所述纵向滑动滑块上固定有导轨安装座;所述横向滑动滑块底端装有由二维微位移机构和多个压电陶瓷组成的微动定位平台,所述二维微位移机构底端固定安装有喷墨打印头阵列。本发明可以满足喷墨打印头高的定位精度和一次性完成相互垂直超细主/副栅线的制备,该机构灵活可调、运行可靠、可提高栅线印刷的生产效率和降低电池片的碎片率。
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公开(公告)号:CN103522761B
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN201310480726.5
申请日:2013-10-15
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号: B41J2/14
摘要: 本发明公开了一种应用于超细栅太阳能电池的喷墨打印头。为解决传统的丝网印刷电极制备工艺受印刷浆料颗粒大小和印刷网孔的限制,烧结后的细栅线宽度很难低于50μm,高宽比很难控制的问题,所述喷墨打印头包括固定座,装在在固定座底面的喷墨头座;所述喷墨头座包括多个由微变横壁和微变侧壁构成的小墨室,每个小墨室具有一个进墨孔和喷墨孔;每个小墨室一侧均设有一个用于调整喷墨孔大小的第一压电陶瓷,每个小墨室上方均设有一个驱动墨滴从喷墨孔内喷出的第二压电陶瓷。本发明实现了超细栅的制备,形成比传统丝网印刷技术精细的电极结构和更优越的高宽比,减少了遮挡面积,提高了光电转换效率。
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公开(公告)号:CN103522761A
公开(公告)日:2014-01-22
申请号:CN201310480726.5
申请日:2013-10-15
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号: B41J2/14
摘要: 本发明公开了一种应用于超细栅太阳能电池的喷墨打印头。为解决传统的丝网印刷电极制备工艺受印刷浆料颗粒大小和印刷网孔的限制,烧结后的细栅线宽度很难低于50μm,高宽比很难控制的问题,所述喷墨打印头包括固定座,装在在固定座底面的喷墨头座;所述喷墨头座包括多个由微变横壁和微变侧壁构成的小墨室,每个小墨室具有一个进墨孔和喷墨孔;每个小墨室一侧均设有一个用于调整喷墨孔大小的第一压电陶瓷,每个小墨室上方均设有一个驱动墨滴从喷墨孔内喷出的第二压电陶瓷。本发明实现了超细栅的制备,形成比传统丝网印刷技术精细的电极结构和更优越的高宽比,减少了遮挡面积,提高了光电转换效率。
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公开(公告)号:CN105543976B
公开(公告)日:2018-07-24
申请号:CN201510917395.6
申请日:2015-12-14
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号: C30B31/06
摘要: 本发明公开了一种减压扩散炉炉口冷却密封装置,所述减压扩散炉反应管管口安装石英炉门,所述石英炉门内端面装设密封圈,所述石英炉门通过密封圈与反应管管口的安装法兰内端面密封抵接,所述密封圈的周边设有对密封圈进行局部强制冷却的强冷装置,所述强冷装置包括对石英炉门和安装法兰外周圆、安装法兰外端面进行局部强冷的气冷器组件,以及对石英炉门外端面进行局部强冷的金属炉门组件。本发明具有能减缓了密封圈老化速度、提高反应室内的密封可靠性等优点。
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公开(公告)号:CN104032283B
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201410252214.8
申请日:2014-06-09
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号: C23C16/52
摘要: 本发明公开了一种大面积平板式PECVD设备反应腔压力的控制装置,包括反应腔体,所述反应腔体入口端与送气系统连通,所述反应腔体出口端通过气路管道与真空泵连通,所述反应腔体与所述真空泵之间的气路管道上安装有真空蝶阀;所述真空蝶阀与所述反应腔体之间的气路管道与微调气路连通,所述微调气路由质量流量控制器和相应的管道组成。所述的反应腔体出口端气路管道安装有压力传感器;所述真空蝶阀的电子执行器、微调气路中的质量流量控制器与控制器连接。本发明实现了PECVD工艺准备阶段反应室压力的快速降低和工艺过程中反应腔真空度的精确控制功能。
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公开(公告)号:CN103426970B
公开(公告)日:2015-09-02
申请号:CN201310327366.5
申请日:2013-07-31
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
CPC分类号: Y02P70/521
摘要: 本发明公开了一种太阳能电池片自动调心定位机构,包括基座,所述基座上固定有用于对太阳能电池片前后定位的定位组件、用于对太阳能电池片左右定位的夹持组件、用于驱动所述定位组件和夹持组件的驱动机构。本发明结构紧凑,运行可靠、响应快,降低了设备成本,提高了设备自动化程度和生成效率。能有效减少碎片的产生,并提高了单台装备的生产效率,为太阳能电池片生产线的全自动化打下基础。
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公开(公告)号:CN103257209A
公开(公告)日:2013-08-21
申请号:CN201310174386.3
申请日:2013-05-13
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要: 本发明涉及太阳能电池片工艺中使用的扩散炉的气流均匀性检测装置,扩散炉的炉体内装有硅片,炉体长度方向的两端分别为炉口和炉尾,该气流均匀性检测装置包括风速测量仪和置于炉体后方并沿炉体长度方向做直线运动的直线运动机构,风速测量仪的测量端从炉尾穿入炉体内且风速测量仪的测量端置于炉体内硅片的上方,而风速测量仪的另一端通过连接件与直线运动机构相连。本发明所述气流均匀性检测装置能精确测量炉体内的气流均匀性,整个检测装置结构简单,操作方便。
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公开(公告)号:CN105552000B
公开(公告)日:2018-07-24
申请号:CN201510917375.9
申请日:2015-12-14
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要: 本发明公开了一种减压扩散炉及载板承载装置,包括箱式电阻炉体、炉门组件和石英反应腔,所述石英反应腔安放于箱式电阻炉体内,且通过炉门组件密封,所述炉门组件的内侧设有与石英反应腔端面紧密贴合的环形密封圈,所述石英反应腔靠近环形密封圈的端部套设风冷降温装置。本发明具有结构简单、高产能等优点。
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公开(公告)号:CN106563338A
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201610993154.4
申请日:2016-11-11
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
CPC分类号: B01D53/002 , B01D53/1406 , B01D53/1456 , B01D53/18 , B01D53/263 , B01D2252/10 , B01D2252/103 , B01D2257/55 , B01D2258/02
摘要: 本发明公开了一种低压扩散炉尾气处理装置,包括冷却腔、吸收过滤腔、除湿腔及尾气导管,所述冷却腔内盛有用于液化或凝固尾气中的偏磷酸和五氧化二磷的冷却液,所述吸收过滤腔内盛有用于吸收尾气中的五氧化二磷、三氯化磷和偏磷酸的吸收液,所述除湿腔内盛有用于吸收尾气中的三氯化磷、偏磷酸和水蒸气的吸收剂,所述尾气导管一端与低压扩散炉的尾气管连接,另一端穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内,所述除湿腔的进气管穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内。本发明具有结构简单、成本低、可有效净化尾气、提高设备使用寿命等优点。
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公开(公告)号:CN106403625A
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201610785971.0
申请日:2016-08-31
申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要: 本发明公开了一种氢气退火炉废气处理系统,包括废气导出管、阻燃单向阀、废气燃烧装置及排废筒,所述废气导出管经所述阻燃单向阀与所述废气燃烧装置的进气端连通,所述废气燃烧装置的排气端与所述排废筒连通;本发明进一步公开了该氢气退火炉废气处理系统的废气处理方法,包括以下步骤:S1,加热使废气燃烧装置内的温度至氢气的燃点以上;S2,利用废气导出管将废气经阻燃单向阀导入废气燃烧装置,同时废气燃烧装置中导入空气,废气与空气中的氧气燃烧;S3,燃烧产生的水蒸汽及残余气体经排废筒排出。本发明具有结构简单、操作方便。安全性高等优点。
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