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公开(公告)号：CN117364233A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311434158.5
申请日：2023-10-31
申请人： 湖南烁科晶磊半导体科技有限公司 , 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要： 本发明公开一种用于分子束外延设备的传样系统及传样方法，系统包括：处理室、环形传输腔、连接组件、环形驱动组件和升降驱动组件；晶圆在处理室内进行工艺处理，多个处理室沿竖直方向均布在环形传输腔上方，连接组件用于连接处理室与环形传输腔；环形驱动组件位于环形传输腔侧部，以实现晶圆沿环形传输腔运动；升降驱动组件位于环形传输腔底部，环形驱动组件与升降驱动组件之间设有隔离屏，升降驱动组件与处理室相对应，以实现晶圆沿竖直方向进出处理室。本发明具有结构紧凑、操作简单、传样精度高、自动化程度高、占地面积小等优点，解决了因水平磁力杆传样时端部弯曲变形大而引起的传样不精确及齿轮齿条传动易卡死等问题，实现晶圆高质量传输。
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公开(公告)号：CN117153691A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311019532.5
申请日：2023-08-14
申请人： 湖南烁科晶磊半导体科技有限公司 , 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要： 本发明公开了一种基于分子束外延的氧化镓器件结构的制造方法，包括以下步骤：采用分子束外延、电子束直写、电荷耦合刻蚀、金属磁控溅射及电子束蒸发法制备，先在未掺杂的Ga2O3衬底上采用分子束外延依次制备基底掺杂层、本征缓冲层和轻掺杂外延层形成分子束外延模板，采用电子束蒸镀法沉积Ni/Pt金属势垒层，采用电感耦合等离子体刻蚀法形成深沟槽后沉积HfO2介质层，在HfO2介质层上面依次溅射沉积TiW金属缓冲层、Pt/Au金属引线层；最后将基片进行背面减薄去应力，最终在背面沉积Ti/Ni/Au漏极。本发明制得的器件具有外延层品质好、沟槽栅极区域线框一致性好、击穿电压高等优点。
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公开(公告)号：CN105609456A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510983506.3
申请日：2015-12-24
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68714 , H01L21/67706 , H01L21/6773 , H01L21/67736
摘要： 本发明公开了一种石墨舟承载装置及互联式石墨舟装卸片生产线，此石墨舟承载装置包括承载托板、分设于承载托板两端部的轴向限位块和轴向锁紧部，所述承载托板沿石墨舟长度方向水平布置，所述轴向锁紧部可远离或靠近轴向限位块，所述承载托板上于轴向限位块和轴向锁紧部之间间隔固设若干支撑条，每一根支撑条均沿石墨舟宽度方向布置且两端向外伸出，各支撑条的两伸出端上分设限位挡块。本发明具有能极大提高生产效率、降低人员劳动强度等优点。
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公开(公告)号：CN105236208A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510553360.9
申请日：2015-09-02
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： B65H63/00
摘要： 本发明公开了一种用于多线切割机的收放线检测装置，包括收放线轮、导向轮、连接板、第一检测传感器和第二检测传感器，导向轮通过连接板与多线切割机的横移架连接，卷绕于收放线轮的钢线引出后绕接于导向轮上，第一检测传感器固接在连接板上并位于收放线轮处，第二检测传感器固接在连接板上并位于导向轮处。该检测装置具有检测精度和灵敏度高、可大大提高生产运行效率的优点。
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公开(公告)号：CN104441286B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201410676474.8
申请日：2014-11-24
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要： 本发明公开了一种用于多线切割机的全自动主辊布线装置，缠绕在收放线轴上的钢线通过导向轮缠绕在主辊的线槽内；导向轮和主辊之间固定有电动直线平台；电动直线平台与固定板顶端固定连接；固定板下端安装有定位传感器和绕线轮；钢线自导向轮引出后通过绕线轮缠绕在主辊的线槽内；固定板底端固定有安装块；安装块上固定有检测传感器，且检测传感器、定位传感器均能在电动直线平台的带动下沿主辊的轴向方向移动；检测传感器靠近主辊，并与主辊的线槽位置相对；电动直线平台、检测传感器、旋转编码器、定位传感器均与多线切割机的控制系统连接。本发明结构紧凑，自动化程度高，操作简单，布线灵活，适应性强。
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公开(公告)号：CN103752197B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201410006299.1
申请日：2014-01-07
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： B01F7/18
摘要： 本发明公开了一种切割液搅拌系统。为了防止切割液由于虹吸影响导致驱动装置损坏的问题，所述切割液搅拌系统，包括驱动装置，储液装置，以及与驱动装置的动力输出端相联的搅拌桨；所述搅拌桨的搅拌叶片置于所述储液装置内；所述储液装置和驱动装置之间通过隔离座相联，所述搅拌桨的搅拌轴顶端装有位于隔离座内的挡板块，所述隔离座内壁设有环形圈，该环形圈位于挡板块上方，使环形圈和挡板块形成迷宫式结构；所述驱动装置与隔离座之间设有密封结构。本发明可避免切割液进入砂浆搅拌机减速器轴封造成搅拌机系统损坏，可延长搅拌机的使用寿命一倍以上，明显提高切割机的可靠性，降低了电池片的生产成本。
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公开(公告)号：CN103681420A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310592633.1
申请日：2013-11-22
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521 , H01L21/67778
摘要： 本发明公开了一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片系统，解决了人工装卸片劳动强度大、生产效率低、硅片破损率高、生产成本高的问题。所述舟自动装卸片系统包括与PECVD设备进舟侧相连的主机架、装在主机架上的硅片输入机构、硅片输出机构、硅片抓取机构及石墨舟输送机构。主机架无石墨舟的一端对称布置硅片输入机构和硅片输出机构；主机架有石墨舟的一端即靠近PECVD设备的一端正面安装石墨舟输送机构，背面大底板上固定硅片抓取机构。本发明大幅提高了太阳能电池生产线自动化程度和生产效率，降低了硅片破损率和生产成本。
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公开(公告)号：CN102534563A8
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210118049.8
申请日：2012-04-20
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 一种用于金属有机化学气相沉积反应器的斜入式气体喷淋头，所述斜入式气体喷淋头包括位于反应腔室上方的气体喷射板，该气体喷射板上方设有气体连接板，在气体连接板与气体喷射板之间设有至少两个层叠的气体分布板；所述气体连接板上设置有若干气体接口及冷却液接口，且在该气体分布板及气体喷射板上设置有若干相互隔离的气体通道，所述气体通道包括与相应的气体接口连通的第一前体气体通道、第二前体气体通道和载气通道，以及与冷却液接口连通的冷却液通道。本发明解决了水平式反应器中存在的沿气流方向反应物耗尽的问题，同时也避免了垂直式反映器中不容易形成稳定层流的缺点。
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公开(公告)号：CN105609456B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201510983506.3
申请日：2015-12-24
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 本发明公开了一种石墨舟承载装置及互联式石墨舟装卸片生产线，此石墨舟承载装置包括承载托板、分设于承载托板两端部的轴向限位块和轴向锁紧部，所述承载托板沿石墨舟长度方向水平布置，所述轴向锁紧部可远离或靠近轴向限位块，所述承载托板上于轴向限位块和轴向锁紧部之间间隔固设若干支撑条，每一根支撑条均沿石墨舟宽度方向布置且两端向外伸出，各支撑条的两伸出端上分设限位挡块。本发明具有能极大提高生产效率、降低人员劳动强度等优点。
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公开(公告)号：CN105632957A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201510969748.7
申请日：2015-12-22
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要： 本发明公开了一种电池片测试方法，在位于所述测试工位的前方设置有夹持定位工位，当所述电池片在测试工位进行性能测试时，对所述夹持定位工位上的待测试电池片进行夹持定位；当测试工位上的电池片测试完成后，所述夹持定位工位上的待测试电池片传输至测试工位直接进行性能测试。本发明还公开了一种电池片测试装置，包括传输轨道，所述传输轨道上设置有夹持定位组件和测试组件，在所述传输轨道的传输方向上，依次设置有夹持定位工位和测试工位，所述夹持定位组件安装在所述夹持定位工位上，所述测试组件安装于所述测试工位上。本发明的装置以及方法均具有测试效率高、定位精准等优点。
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