一种CMOS图像传感器像素结构及其制备、使用方法

    公开(公告)号:CN109599408B

    公开(公告)日:2022-05-03

    申请号:CN201811598009.1

    申请日:2018-12-26

    发明人: 韩恒利 龚婧

    IPC分类号: H01L27/146

    摘要: 本发明属于光电探测领域的图像传感器,提出了一种CMOS图像传感器像素结构及其制备、使用方法;所述像素结构包括P型衬底,所述P型衬底包括由下至上设置的光敏区、倍增区以及像元区域;所述像元区域位于P型衬底的顶部的左侧或由右侧,所述像元区域上形成有深N阱电子通道,并连通至倍增区;本发明通过在像素部分对探测到的光子所形成的光生载流子进行倍增,从而提高器件探测微弱光的灵敏度,进而提升了CMOS图像传感器在微光下的探测成像能力。

    背照式图像传感器制作方法

    公开(公告)号:CN103337505A

    公开(公告)日:2013-10-02

    申请号:CN201310220610.8

    申请日:2013-06-05

    发明人: 韩恒利 邓刚

    IPC分类号: H01L27/146

    摘要: 一种背照式图像传感器制作方法,其改进在于:先在外延硅片上制作钝化层,再制作光吸收层,最后制作表面结构。本发明的有益技术效果是:可解决现有技术中只能使用设备价格高昂、操作复杂、加工效率低下的激光(脉冲)退火技术来对钝化层进行激活的缺陷,提高器件的加工效率,降低生产成本,节省能源。

    一种抗辐射加固栅介质的EMCCD结构

    公开(公告)号:CN113113440B

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202110394057.4

    申请日:2021-04-13

    IPC分类号: H01L27/148

    摘要: 本发明属于CCD器件技术邻域,具体涉及一种抗辐射加固栅介质的EMCCD结构,该结构包括:光敏区、存储区、水平区、电子倍增寄存器以及读出放大器;光敏区的结构包括硅衬底、栅介质二氧化硅层、栅介质氮化硅层以及多晶硅层;存储区、水平区和电子倍增寄存器的介质层的结构与光敏区的结构相似;电子倍增寄存器的栅介质二氧化硅层比光敏区和存储区的栅介质二氧化硅层厚;本发明的EMCCD结构中较薄的光敏区和存储区的栅介质二氧化硅层保证了EMCCD良好的抗辐射性能,较厚的电子倍增寄存器栅介质二氧化硅层保证了EMCCD在高电压工作时良好的绝缘性,解决了因电子倍增寄存器漏电而给图像造成亮斑或者亮条的问题。

    一种抗辐射加固栅介质的EMCCD结构

    公开(公告)号:CN113113440A

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN202110394057.4

    申请日:2021-04-13

    IPC分类号: H01L27/148

    摘要: 本发明属于CCD器件技术邻域,具体涉及一种抗辐射加固栅介质的EMCCD结构,该结构包括:光敏区、存储区、水平区、电子倍增寄存器以及读出放大器;光敏区的结构包括硅衬底、栅介质二氧化硅层、栅介质氮化硅层以及多晶硅层;存储区、水平区和电子倍增寄存器的介质层的结构与光敏区的结构相似;电子倍增寄存器的栅介质二氧化硅层比光敏区和存储区的栅介质二氧化硅层厚;本发明的EMCCD结构中较薄的光敏区和存储区的栅介质二氧化硅层保证了EMCCD良好的抗辐射性能,较厚的电子倍增寄存器栅介质二氧化硅层保证了EMCCD在高电压工作时良好的绝缘性,解决了因电子倍增寄存器漏电而给图像造成亮斑或者亮条的问题。

    一种CMOS图像传感器像素结构及其制备、使用方法

    公开(公告)号:CN109599408A

    公开(公告)日:2019-04-09

    申请号:CN201811598009.1

    申请日:2018-12-26

    发明人: 韩恒利 龚婧

    IPC分类号: H01L27/146

    摘要: 本发明属于光电探测领域的图像传感器,提出了一种CMOS图像传感器像素结构及其制备、使用方法;所述像素结构包括P型衬底,所述P型衬底包括由下至上设置的光敏区、倍增区以及像元区域;所述像元区域位于P型衬底的顶部的左侧或由右侧,所述像元区域上形成有深N阱电子通道,并连通至倍增区;本发明通过在像素部分对探测到的光子所形成的光生载流子进行倍增,从而提高器件探测微弱光的灵敏度,进而提升了CMOS图像传感器在微光下的探测成像能力。

    制作CCD二次或二次以上多晶硅的工艺

    公开(公告)号:CN103400847B

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201310352108.2

    申请日:2013-08-14

    发明人: 廖乃镘 韩恒利

    IPC分类号: H01L27/146

    摘要: 一种制作CCD二次或二次以上多晶硅的工艺,通过在前一次刻蚀操作中形成的过刻蚀区,来为后续的层间氮化硅层提供空间;本发明的有益技术效果是:在不改变多晶硅淀积工艺的前提下,可有效降低各次多晶硅层之间的层间介质厚度,保证不同位置处的层间介质厚度的均一性,提高器件品质。