公开(公告)号：CN107561120A

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201710507120.4

申请日：2017-06-28

申请人： 普因特工程有限公司

发明人： 安范模 ,  朴胜浩 ,  边圣铉

IPC分类号： G01N27/00

CPC分类号： G01N27/128 ,  G01N27/14 ,  G01N33/0016 ,  G01N33/0031

摘要： 一种微型多阵列传感器包括衬底、形成在衬底上的传感器电极和形成在衬底上的加热器电极。传感器电极包括形成在衬底上的第一传感器电极和形成在衬底的与第一传感器电极相对的表面上的第二传感器电极。加热器电极布置成相比于第二传感器电极更靠近第一传感器电极。

公开(公告)号：CN104316576B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201410607093.4

申请日：2014-10-31

申请人： 中国矿业大学

发明人： 马洪宇 ,  秦顺利 ,  王丽影

IPC分类号： G01N27/14

CPC分类号： G01N27/14 ,  G01N27/18

摘要： 一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法，属于甲烷传感器及其制备方法，特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其制备方法与甲烷检测方法。该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆片加工硅加热器，硅加热器同时作为甲烷敏感元件、不需催化剂载体及催化剂材料。该甲烷传感器的加工工艺与CMOS工艺兼容，若大批量生产具有价格低廉的优势，且可批量校准。该甲烷传感器具有功耗低、灵敏度高、响应速度快、缺乏氧气时不会对甲烷检测产生影响、不受积碳、中毒等因催化剂所带来影响的特点。

公开(公告)号：CN106353370A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610815646.4

申请日：2016-09-12

申请人： 国网天津市电力公司 ,  国家电网公司

发明人： 李超群 ,  贾诗乐 ,  陈涛 ,  董俊国 ,  李拥福 ,  李岩 ,  王竤晟 ,  王磊 ,  田成凤 ,  杜志敏 ,  孙建刚 ,  宋长勇 ,  张校东 ,  邸晓东 ,  杨宇全 ,  李德强

IPC分类号： G01N27/04 ,  G01N27/14

CPC分类号： G01N27/041 ,  G01N27/14

摘要： 一种配电变压器绕组材质无损检测装置及方法。装置包括采集传感器、信号调理电路、信号采集卡、检测计算机、检测控制器、放电回路和电源模块。本发明可方便变电运维人员对变压器绕组材质进行检测并实现无损测量，防止不法供应商以铝充铜，确保入网配电变压器产品质量。本发明成果应用后，一方面可提高配电变压器的寿命和稳定性，进一步可全面推广覆盖国家电网配电网系统的配电变压器准入检测工作，直接和间接效益明显。一方面，可有效提高变电运维人员的工作效率及管理水平。另一方面，可以及早发现问题，提高供电可靠性，从根本上保证了电网安全、可靠运行，经济效益显著。

公开(公告)号：CN103998732B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201180075687.X

申请日：2011-12-21

申请人： 丰田自动车株式会社

发明人： 吉冈卫

IPC分类号： F01N3/20

CPC分类号： F01N3/2013 ,  F01N3/2006 ,  F01N3/2026 ,  F01N3/2853 ,  F01N3/2864 ,  F01N11/00 ,  F01N2550/22 ,  F01N2900/0602 ,  F01N2900/1404 ,  G01N27/14 ,  Y02T10/26 ,  Y02T10/47

摘要： 对电加热式催化剂的异常进行更加准确地检测。一种电加热式催化剂的异常检测装置，具备：发热体，其设置于内燃机的排气通路，通过通电而发热；绝缘部，其进行绝缘以使得在对发热体通电时在所述排气通路中不流动电流，所述电加热式催化剂的异常检测装置还具备判定部，该判定部在从内燃机启动前起对发热体通电、且从内燃机启动起经过预定期间后的绝缘部的绝缘电阻值为阈值以下的情况下，判定为电加热式催化剂存在异常。

公开(公告)号：CN108671695A

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201810315733.2

申请日：2010-08-31

申请人： 蓝区技术有限公司

发明人： 杜尚卡·菲利波维奇 ,  劳伦斯·惠特比 ,  比知纳·米林 ,  弗雷德里克·卡欣

IPC分类号： B01D53/02 ,  B01J20/28 ,  B01J20/10 ,  G01N25/18 ,  A61M16/01 ,  A61M16/22

CPC分类号： B01J20/20 ,  A61M16/009 ,  A61M16/0093 ,  A61M16/1055 ,  A61M16/1065 ,  A61M2205/84 ,  B01D53/02 ,  B01D53/70 ,  B01D2253/1085 ,  B01D2253/306 ,  B01D2253/308 ,  B01D2257/2062 ,  B01D2257/2064 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2257/504 ,  B01D2258/02 ,  B01D2259/4009 ,  B01D2259/40094 ,  B01D2259/4533 ,  B01J20/103 ,  B01J20/12 ,  B01J20/16 ,  B01J20/18 ,  B01J20/28057 ,  B01J20/28061 ,  B01J20/28064 ,  B01J20/28071 ,  B01J20/28078 ,  B01J20/2808 ,  B01J20/28083 ,  B01J20/3408 ,  B01J20/3483 ,  B01J2220/603 ,  B01J2220/606 ,  C07C41/34 ,  F16K11/00 ,  G01N25/18 ,  G01N27/14 ,  Y02C10/08

摘要： 用于从气体流中回收至少一种卤代烃的系统和方法。该回收包括通过将气体流暴露于吸附剂进行吸附，所述吸附剂具有晶格结构，该晶格结构具有平均孔隙开口在约5至约50埃之间的孔隙直径。所述吸附剂因而通过在一些条件下将该吸附剂暴露于净化气体而产生，所述条件使得至少一种吸附的卤代烃从该吸附剂中有效解吸。所述至少一种卤代烃(和杂质或反应产物)可由所述净化气体冷凝并经受分馏以提供回收的卤代烃。

公开(公告)号：CN108627560A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201711076550.1

申请日：2017-11-06

申请人： 现代自动车株式会社 ,  起亚自动车株式会社 ,  韩国纳米传感器技术有限公司

发明人： 吴善美 ,  孙玄洙 ,  权宗珉 ,  金良起 ,  李台远 ,  金智惠

IPC分类号： G01N27/407 ,  G01N27/406

CPC分类号： G01N27/4175 ,  G01N25/18 ,  G01N27/14 ,  G01N27/18 ,  G01N27/407 ,  G01N27/4067

摘要： 一种利用加热器电流变化的气体传感器模块的温度补偿方法可以包括：从电解质的电解反应等式推导气体传感器模块的输出电压等式，并将输出电压等式推导为针对基于传感器温度而变化的波动温度和未知类型补偿系数的等式；由加热器电流来推导波动温度，并由所述加热器电流和所述补偿系数来推导输出电压等式，所述加热器电流指的是形成于气体传感器模块中的加热器电流值；在两点或多点处测量取决于加热器电流的输出电压，以确定所述输出电压等式的补偿系数，而所述输出电压配置成利用由气体传感器模块测量的加热器电流的变化来补偿，而不考虑外部温度。

公开(公告)号：CN107727697A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201711019802.7

申请日：2017-10-26

申请人： 北京科技大学

发明人： 李平 ,  谭奇伟 ,  安富强 ,  刘志伟 ,  曲选辉 ,  秦明礼

IPC分类号： G01N27/04 ,  G01N27/14

CPC分类号： G01N27/04 ,  G01N27/14

摘要： 本发明提供一种高通量材料芯片四探针原位电阻测量设备，属于材料测试技术领域。该设备包括高通量四探针探头、耐高温高压气密罐体、样品架台、多通道四探针电阻测试仪、传输线缆和数据记录软件；样品架台位于耐高温高压气密罐体内，高通量四探针探头安装在样品架台上，高通量四探针探头通过传输线缆连接多通道四探针电阻测试仪，数据记录软件安装于上位机，接收来自多通道四探针电阻测试仪测量的数据。本发明能够在高温高压气体环境下，同时测量和记录多达64个样品的四探针电阻随时间、气压、温度等参数的变化，具备足够的精度和可靠性，极高的数据采集频率，低廉的硬件成本和简单的操作方法，同时也可以满足对少量样品电阻精确测量的要求。

公开(公告)号：CN107192744A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201710213909.9

申请日：2017-04-01

申请人： 上海申矽凌微电子科技有限公司

发明人： 赖建文

IPC分类号： G01N27/14 ,  G01N27/04

CPC分类号： G01N27/041 ,  G01N27/14

摘要： 本发明提供一种气敏电阻的制造方法及使用该方法制造的气体传感器，包括如下步骤：步骤1，在硅片的背面用两阶刻蚀法制作空硅腔体；步骤2，在硅片的正面用同一金属层同时制作加热电阻和气敏电阻的测量电极；步骤3，在硅片的正面制作气敏电阻以及加热电阻的电极。与现有技术相比，本发明的有益效果如下：采用干法湿法两步工艺，可以明显提高刻蚀的效率和质量。工艺流程可以使用一层金属布线同时实现气敏电阻的加热功能和电阻测试功能，简化工艺。气敏材料的测量采用四端的Kevin结构，可以同时精确测量材料的电阻率变化。本发明采用Lift‑off工艺制作气敏电阻和铝金属连线，可以独立制作多个气敏材料的传感单元。同时可以与低成本的铝铜金属布线工艺兼容。

公开(公告)号：CN102574098B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201080044151.7

申请日：2010-08-31

申请人： 蓝区技术有限公司

发明人： 杜尚卡·菲利波维奇 ,  劳伦斯·惠特比 ,  比知纳·米林 ,  弗雷德里克·卡欣

IPC分类号： B01J20/16 ,  B01D3/00 ,  B01D53/04 ,  B01D53/26 ,  B01D53/44

CPC分类号： C07C41/34 ,  A61M16/009 ,  A61M16/0093 ,  A61M16/1055 ,  A61M16/1065 ,  A61M2205/84 ,  B01D53/02 ,  B01D53/70 ,  B01D2253/1085 ,  B01D2253/306 ,  B01D2253/308 ,  B01D2257/2062 ,  B01D2257/2064 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2257/504 ,  B01D2258/02 ,  B01D2259/4009 ,  B01D2259/40094 ,  B01D2259/4533 ,  B01J20/103 ,  B01J20/12 ,  B01J20/16 ,  B01J20/18 ,  B01J20/20 ,  B01J20/28057 ,  B01J20/28061 ,  B01J20/28064 ,  B01J20/28071 ,  B01J20/28078 ,  B01J20/2808 ,  B01J20/28083 ,  B01J20/3408 ,  B01J20/3483 ,  B01J2220/603 ,  B01J2220/606 ,  F16K11/00 ,  G01N25/18 ,  G01N27/14 ,  Y02C10/08

摘要： 用于从气体流中回收至少一种卤代烃的系统和方法。该回收包括通过将气体流暴露于吸附剂进行吸附，所述吸附剂具有晶格结构，该晶格结构具有平均孔隙开口在约5至约50埃之间的孔隙直径。所述吸附剂因而通过在一些条件下将该吸附剂暴露于净化气体而产生，所述条件使得至少一种吸附的卤代烃从该吸附剂中有效解吸。所述至少一种卤代烃(和杂质或反应产物)可由所述净化气体冷凝并经受分馏以提供回收的卤代烃。

公开(公告)号：CN104316577A

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201410607349.1

申请日：2014-10-31

申请人： 中国矿业大学

发明人： 马洪宇 ,  丁恩杰 ,  刘晓文 ,  赵小虎 ,  程婷婷

IPC分类号： G01N27/14 ,  G01K7/16

CPC分类号： G01K7/16 ,  G01N27/14

摘要： 一种基于倒装焊封装的微型甲烷传感器及其制备方法，属于MEMS甲烷传感器及其制备方法。该甲烷传感器首先采用MEMS技术加工制备单片高温加热器与单片甲烷气体检测器与环境温度检测器，然后通过倒装焊封装技术将单片高温加热器与单片甲烷气体检测器形成一个整体的叠层结构形式的微型甲烷传感器。其中的单片高温加热器独立加热至500℃以上高温；单片甲烷气体检测器独立检测因甲烷出现及浓度变化造成的温度下降，其测量电路与单片高温加热器的电路相互独立，互不影响。该传感器的制备工艺与CMOS工艺兼容，该甲烷传感器功耗低、灵敏度高、使用寿命长。