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公开(公告)号：CN108857864A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810465743.4
申请日：2018-05-16
申请人： 中国砂轮企业股份有限公司
IPC分类号： B24B37/11 , B24D18/00 , B23K26/362
摘要： 本发明提供研磨工具及其制造方法，研磨工具包括一基板及一研磨颗粒。研磨颗粒与基板相固接，研磨颗粒具有一基部及四个自基部凸起且为相邻的尖端，四个尖端之间形成一个类似十字形的凹陷区，且四个尖端中的两个相邻者之间在凹陷区中形成有一排料表面，排料表面位于该凹陷区之一末端，且排料表面与基部的一侧表面相邻并与侧表面形成介于120‑160度之间的内部角度。
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公开(公告)号：CN106607759A
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201610550352.3
申请日：2016-07-13
申请人： 中国砂轮企业股份有限公司
CPC分类号： B24B53/017 , B24B53/12 , B24B37/20
摘要： 本发明公开一种混合式化学机械研磨修整器，包括一基座、一第一研磨单元和多个第二研磨单元，该第一研磨单元包括一第一结合层、设置于该第一结合层上的一研磨单元基板及设置于该研磨单元基板上的一研磨层，该研磨层为一钻石镀膜，该钻石镀膜表面具有多个研磨尖端，该第二研磨单元包括一第二结合层、设置于该第二结合层上的一承载柱、设置于该承载柱上的一研磨颗粒及设置于该承载柱和该研磨颗粒之间的一磨料结合层。利用具有该研磨层的该第一研磨单元和具有该研磨颗粒的该第二研磨单元，可使该化学机械研磨修整器兼具优异的切削力和平坦化能力。
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公开(公告)号：CN107020574A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610846563.1
申请日：2016-09-23
申请人： 中国砂轮企业股份有限公司
CPC分类号： B24B53/017 , B24B37/20 , B24B53/12 , B24B37/22 , B24B37/26 , B24D18/00 , H01L21/67092
摘要： 一种化学机械研磨修整器及其制造方法，该化学机械研磨修整器包括一基板以及至少一研磨单元，该研磨单元设置于该基板上，该研磨单元分别包括一支撑层、一研磨层以及一应力抵销层，该支撑层具有一远离该基板的工作面以及一与该工作面相对的非工作面，该研磨层设置于该支撑层的该工作面，且该研磨层是利用化学气相沉积法所形成的一第一钻石镀膜，该第一钻石镀膜具有多个研磨尖端，该应力抵销层设置于该支撑层的该非工作面，该应力抵销层是利用化学气相沉积法所形成的一第二钻石镀膜。该应力抵销层可发挥抵销热应力的效果，减少该支撑层的翘曲或变形。
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公开(公告)号：CN106607759B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201610550352.3
申请日：2016-07-13
申请人： 中国砂轮企业股份有限公司
CPC分类号： B24B53/017 , B24B53/12
摘要： 本发明公开一种混合式化学机械研磨修整器，包括一基座、一第一研磨单元和多个第二研磨单元，该第一研磨单元包括一第一结合层、设置于该第一结合层上的一研磨单元基板及设置于该研磨单元基板上的一研磨层，该研磨层为一钻石镀膜，该钻石镀膜表面具有多个研磨尖端，该第二研磨单元包括一第二结合层、设置于该第二结合层上的一承载柱、设置于该承载柱上的一研磨颗粒及设置于该承载柱和该研磨颗粒之间的一磨料结合层。利用具有该研磨层的该第一研磨单元和具有该研磨颗粒的该第二研磨单元，可使该化学机械研磨修整器兼具优异的切削力和平坦化能力。
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公开(公告)号：CN108857864B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201810465743.4
申请日：2018-05-16
申请人： 中国砂轮企业股份有限公司
IPC分类号： B24B37/11 , B24D18/00 , B23K26/362
摘要： 本发明提供研磨工具及其制造方法，研磨工具包括一基板及一研磨颗粒。研磨颗粒与基板相固接，研磨颗粒具有一基部及四个自基部凸起且为相邻的尖端，四个尖端之间形成一个类似十字形的凹陷区，且四个尖端中的两个相邻者之间在凹陷区中形成有一排料表面，排料表面位于该凹陷区之一末端，且排料表面与基部的一侧表面相邻并与侧表面形成介于120‑160度之间的内部角度。
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