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公开(公告)号：CN103728842A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310544975.6
申请日：2013-11-06
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明调整支撑机构可以实现照明镜组单元的安装调整和支撑固定，对照明镜组单元进行X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度方向进行调整，安装调整固定方便，具有较高的定位精度。
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公开(公告)号：CN103676065A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310530362.7
申请日：2013-10-31
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G02B7/02
摘要： 一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同轴的目的。本发明适用于大口径透镜调整固定，结构简单轻巧，安装调整方便，具有较高的安全性，可对透镜进行较高精度的定位，同时减少结构的整体尺寸和重量；本发明的调整块采用与透镜热膨胀系数相近的材料，弹性压圈上设有狭缝，可减小温度变化和外界振动对透镜的影响；本发明的零件使用普通精密车床加工即可达到要求精度，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN103676065B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201310530362.7
申请日：2013-10-31
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G02B7/02
摘要： 一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同轴的目的。本发明适用于大口径透镜调整固定，结构简单轻巧，安装调整方便，具有较高的安全性，可对透镜进行较高精度的定位，同时减少结构的整体尺寸和重量；本发明的调整块采用与透镜热膨胀系数相近的材料，弹性压圈上设有狭缝，可减小温度变化和外界振动对透镜的影响；本发明的零件使用普通精密车床加工即可达到要求精度，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN113203686B
公开(公告)日：2023-02-14
申请号：CN202110412690.1
申请日：2021-04-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N21/21
摘要： 一种非平面透明元件的偏振特性检测装置及检测方法，装置包括：偏振特性测量设备、匹配液、容器、夹持件；匹配液置于容器内，夹持件用于夹持非平面透明元件，并将其完全浸没于容器内的匹配液中；匹配液与非平面透明元件配合使用以使测量光束经过匹配液和非平面透明元件后的射出方向与单独经过平面透明元件后的射出方向一致；偏振特性测量设备用于检测非平面透明元件与匹配液配合使用的整体偏振特性，并基于整体偏振特性获得非平面透明元件的偏振特性。由于将非平面透明元件完全浸没于匹配液中，使测量光束经过匹配液和非平面透明元件后的射出方向与单独经过平面透明元件后的射出方向一致，进而达到平面透明元件的效果。
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公开(公告)号：CN103465015B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310419708.6
申请日：2013-09-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和3个调整螺钉组件，在连接板上3个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结构简单，对零件的加工精度要求不高，可有效降低加工成本。
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公开(公告)号：CN103728842B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310544975.6
申请日：2013-11-06
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明调整支撑机构可以实现照明镜组单元的安装调整和支撑固定，对照明镜组单元进行X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度方向进行调整，安装调整固定方便，具有较高的定位精度。
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公开(公告)号：CN113203686A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110412690.1
申请日：2021-04-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N21/21
摘要： 一种非平面透明元件的偏振特性检测装置及检测方法，装置包括：偏振特性测量设备、匹配液、容器、夹持件；匹配液置于容器内，夹持件用于夹持非平面透明元件，并将其完全浸没于容器内的匹配液中；匹配液与非平面透明元件配合使用以使测量光束经过匹配液和非平面透明元件后的射出方向与单独经过平面透明元件后的射出方向一致；偏振特性测量设备用于检测非平面透明元件与匹配液配合使用的整体偏振特性，并基于整体偏振特性获得非平面透明元件的偏振特性。由于将非平面透明元件完全浸没于匹配液中，使测量光束经过匹配液和非平面透明元件后的射出方向与单独经过平面透明元件后的射出方向一致，进而达到平面透明元件的效果。
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公开(公告)号：CN103770044B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201410014815.5
申请日：2014-01-14
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 一种六自由度调整安装机构，包括一安装座板、一调整板、三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元，在所述的安装座板与所述调整板之间设置所述的三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元：两个水平调整子单元分布在安装座板长边同一侧面的两端，第三个水平调整子单元分布在安装座板一个短边侧面的中间，所述的2个竖直调整子单元分布在所述的调整板短边侧面的两端，该短边侧面与安装第三个水平调整子单元的安装座板的短边侧面相应，第三个竖直调整子单元分布在所述的调整板另一短边侧面的中间。本发明适用于大型机械设备分段建造、分段装配时的精密调整和对接，而且结构简单，操作方便，可精密调整安装大载荷机构的六自由度调整安装装置。
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公开(公告)号：CN103770044A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410014815.5
申请日：2014-01-14
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： B25B11/00
CPC分类号： B25B11/00
摘要： 一种六自由度调整安装机构，包括一安装座板、一调整板、三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元，在所述的安装座板与所述调整板之间设置所述的三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元：两个水平调整子单元分布在安装座板长边同一侧面的两端，第三个水平调整子单元分布在安装座板一个短边侧面的中间，所述的2个竖直调整子单元分布在所述的调整板短边侧面的两端，该短边侧面与安装第三个水平调整子单元的安装座板的短边侧面相应，第三个竖直调整子单元分布在所述的调整板另一短边侧面的中间。本发明适用于大型机械设备分段建造、分段装配时的精密调整和对接，而且结构简单，操作方便，可精密调整安装大载荷机构的六自由度调整安装装置。
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