公开(公告)号：CN103676065B

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201310530362.7

申请日：2013-10-31

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 薛佩佩 ,  杨宝喜 ,  陈明 ,  李璟 ,  任冰强 ,  钱珍梅 ,  王振 ,  黄惠杰

IPC分类号： G02B7/02

摘要： 一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同轴的目的。本发明适用于大口径透镜调整固定，结构简单轻巧，安装调整方便，具有较高的安全性，可对透镜进行较高精度的定位，同时减少结构的整体尺寸和重量；本发明的调整块采用与透镜热膨胀系数相近的材料，弹性压圈上设有狭缝，可减小温度变化和外界振动对透镜的影响；本发明的零件使用普通精密车床加工即可达到要求精度，降低了加工成本。

公开(公告)号：CN103728842A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201310544975.6

申请日：2013-11-06

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 薛佩佩 ,  陈明 ,  杨宝喜 ,  任冰强 ,  钱珍梅 ,  王振 ,  黄惠杰

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明调整支撑机构可以实现照明镜组单元的安装调整和支撑固定，对照明镜组单元进行X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度方向进行调整，安装调整固定方便，具有较高的定位精度。

公开(公告)号：CN103676065A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310530362.7

申请日：2013-10-31

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 薛佩佩 ,  杨宝喜 ,  陈明 ,  李璟 ,  任冰强 ,  钱珍梅 ,  王振 ,  黄惠杰

IPC分类号： G02B7/02

摘要： 一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同轴的目的。本发明适用于大口径透镜调整固定，结构简单轻巧，安装调整方便，具有较高的安全性，可对透镜进行较高精度的定位，同时减少结构的整体尺寸和重量；本发明的调整块采用与透镜热膨胀系数相近的材料，弹性压圈上设有狭缝，可减小温度变化和外界振动对透镜的影响；本发明的零件使用普通精密车床加工即可达到要求精度，降低了加工成本。

公开(公告)号：CN104111018B

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201410370880.1

申请日：2014-07-31

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 钱珍梅 ,  杨宝喜 ,  任冰强 ,  黄惠杰

IPC分类号： G01B5/14

摘要： 一种高精度的间隔测量装置，其特点在于：由基座、固定支架、调节杆、测量杆、2个定位螺母和2个锁紧螺母组成，本发明具有结构简单，操作方便，对环境的要求不高，可以实现高精度的测量。

公开(公告)号：CN104196841B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201410336496.X

申请日：2014-07-16

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 杨增辉 ,  钱珍梅 ,  任冰强 ,  程伟林 ,  王振 ,  黄惠杰

IPC分类号： F16B1/04

摘要： 一种自动挂靠及简易解锁的对接装置，其特点在于：由部件挂钩、防撞装置和主机挂钩组成。本发明具有结构简单、对接方便、定位准确并且安装牢固的自动挂靠及简易解锁的特点。

公开(公告)号：CN103770044B

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201410014815.5

申请日：2014-01-14

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 杨增辉 ,  钱珍梅 ,  任冰强 ,  王振 ,  程伟林 ,  孙征宇 ,  黄惠杰

IPC分类号： B25B11/00

摘要： 一种六自由度调整安装机构，包括一安装座板、一调整板、三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元，在所述的安装座板与所述调整板之间设置所述的三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元：两个水平调整子单元分布在安装座板长边同一侧面的两端，第三个水平调整子单元分布在安装座板一个短边侧面的中间，所述的2个竖直调整子单元分布在所述的调整板短边侧面的两端，该短边侧面与安装第三个水平调整子单元的安装座板的短边侧面相应，第三个竖直调整子单元分布在所述的调整板另一短边侧面的中间。本发明适用于大型机械设备分段建造、分段装配时的精密调整和对接，而且结构简单，操作方便，可精密调整安装大载荷机构的六自由度调整安装装置。

公开(公告)号：CN103770044A

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201410014815.5

申请日：2014-01-14

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 杨增辉 ,  钱珍梅 ,  任冰强 ,  王振 ,  程伟林 ,  孙征宇 ,  黄惠杰

IPC分类号： B25B11/00

CPC分类号： B25B11/00

摘要： 一种六自由度调整安装机构，包括一安装座板、一调整板、三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元，在所述的安装座板与所述调整板之间设置所述的三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元：两个水平调整子单元分布在安装座板长边同一侧面的两端，第三个水平调整子单元分布在安装座板一个短边侧面的中间，所述的2个竖直调整子单元分布在所述的调整板短边侧面的两端，该短边侧面与安装第三个水平调整子单元的安装座板的短边侧面相应，第三个竖直调整子单元分布在所述的调整板另一短边侧面的中间。本发明适用于大型机械设备分段建造、分段装配时的精密调整和对接，而且结构简单，操作方便，可精密调整安装大载荷机构的六自由度调整安装装置。

公开(公告)号：CN103465015A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201310419708.6

申请日：2013-09-16

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 钱珍梅 ,  杨增辉 ,  任冰强 ,  程伟林 ,  薛佩佩 ,  王振 ,  林栋梁 ,  孙征宇 ,  黄惠杰

IPC分类号： B23P19/10 ,  G03F7/20 ,  G02B7/00

摘要： 一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和三个调整螺钉组件，在连接板上三个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结构简单，对零件的加工精度要求不高，可有效降低加工成本。

公开(公告)号：CN103465015B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201310419708.6

申请日：2013-09-16

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 钱珍梅 ,  杨增辉 ,  任冰强 ,  程伟林 ,  薛佩佩 ,  王振 ,  林栋梁 ,  孙征宇 ,  黄惠杰

IPC分类号： B23P19/10 ,  G03F7/20 ,  G02B7/00

摘要： 一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和3个调整螺钉组件，在连接板上3个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结构简单，对零件的加工精度要求不高，可有效降低加工成本。

公开(公告)号：CN103728842B

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201310544975.6

申请日：2013-11-06

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 薛佩佩 ,  陈明 ,  杨宝喜 ,  任冰强 ,  钱珍梅 ,  王振 ,  黄惠杰

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明调整支撑机构可以实现照明镜组单元的安装调整和支撑固定，对照明镜组单元进行X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度方向进行调整，安装调整固定方便，具有较高的定位精度。