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公开(公告)号：CN103465015B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310419708.6
申请日：2013-09-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和3个调整螺钉组件，在连接板上3个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结构简单，对零件的加工精度要求不高，可有效降低加工成本。
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公开(公告)号：CN103728842B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310544975.6
申请日：2013-11-06
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明调整支撑机构可以实现照明镜组单元的安装调整和支撑固定，对照明镜组单元进行X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度方向进行调整，安装调整固定方便，具有较高的定位精度。
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公开(公告)号：CN103676065B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201310530362.7
申请日：2013-10-31
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G02B7/02
摘要： 一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同轴的目的。本发明适用于大口径透镜调整固定，结构简单轻巧，安装调整方便，具有较高的安全性，可对透镜进行较高精度的定位，同时减少结构的整体尺寸和重量；本发明的调整块采用与透镜热膨胀系数相近的材料，弹性压圈上设有狭缝，可减小温度变化和外界振动对透镜的影响；本发明的零件使用普通精密车床加工即可达到要求精度，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN103465015A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310419708.6
申请日：2013-09-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和三个调整螺钉组件，在连接板上三个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结构简单，对零件的加工精度要求不高，可有效降低加工成本。
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公开(公告)号：CN104215176B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201410472652.5
申请日：2014-09-17
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 一种高精度光学间隔测量装置和测量方法，装置包括：短相干光源、激光测长光源、照明指示用光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、测量光路、参考镜光路、延迟扫描光路、波分复用器、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、环境传感器。本发明采用时域光学相干层析技术，利用宽带光源及高精度延迟扫描光路实现光学元件间隔的非接触测量，通过共光路激光测长技术获取延迟光路的精确位移，采用五步相移干涉条纹包络的提取算法以及通过环境补偿，消除测量误差，提高测量精度，在测量范围内间隔测量精度可达到亚微米级，同时在光学仪器装调过程中可以实现实时测量，提高测量效率。
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公开(公告)号：CN104215176A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410472652.5
申请日：2014-09-17
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 一种高精度光学间隔测量装置和测量方法，装置包括：短相干光源、激光测长光源、照明指示用光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、测量光路、参考镜光路、延迟扫描光路、波分复用器、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、环境传感器。本发明采用时域光学相干层析技术，利用宽带光源及高精度延迟扫描光路实现光学元件间隔的非接触测量，通过共光路激光测长技术获取延迟光路的精确位移，采用五步相移干涉条纹包络的提取算法以及通过环境补偿，消除测量误差，提高测量精度，在测量范围内间隔测量精度可达到亚微米级，同时在光学仪器装调过程中可以实现实时测量，提高测量效率。
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公开(公告)号：CN103728842A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310544975.6
申请日：2013-11-06
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明调整支撑机构可以实现照明镜组单元的安装调整和支撑固定，对照明镜组单元进行X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度方向进行调整，安装调整固定方便，具有较高的定位精度。
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公开(公告)号：CN103676065A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310530362.7
申请日：2013-10-31
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G02B7/02
摘要： 一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同轴的目的。本发明适用于大口径透镜调整固定，结构简单轻巧，安装调整方便，具有较高的安全性，可对透镜进行较高精度的定位，同时减少结构的整体尺寸和重量；本发明的调整块采用与透镜热膨胀系数相近的材料，弹性压圈上设有狭缝，可减小温度变化和外界振动对透镜的影响；本发明的零件使用普通精密车床加工即可达到要求精度，降低了加工成本。
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