公开(公告)号：CN109427538B

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN201710735726.3

申请日：2017-08-24

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 欧欣 ,  王庶民 ,  王畅 ,  游天桂 ,  张焱超 ,  黄凯 ,  王利娟 ,  林家杰 ,  潘文武

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种异质结构的制备方法，包括提供供体衬底，并于供体衬底表面形成牺牲层；于牺牲层表面形成薄膜盖层，其远离所述牺牲层的表面为注入面；从注入面进行离子注入，以在牺牲层中形成缺陷层；提供受体衬底，并将受体衬底与薄膜盖层的注入面键合；沿缺陷层剥离所述牺牲层，以将键合有薄膜盖层的受体衬底与供体衬底分离，获得受体衬底‑薄膜盖层异质结构。通过上述方案，本发明中引入含铝化合物等易被化学腐蚀的材料作为牺牲层，层裂之后借用含铝化合物易氧化的特点，将处理牺牲层的工序简化，并且使得到的异质结构和供体衬底表面洁净，可以成功的将薄膜盖层转移到受体衬底上，在提供柔性衬底的同时，供体衬底材料还可以重复利用。

公开(公告)号：CN112063007A

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN202010782564.0

申请日：2020-08-06

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  贵州梅岭电源有限公司

Inventor： 谢晓华 ,  石斌 ,  王畅 ,  张建 ,  夏保佳

IPC: C08J9/28 ,  C08J5/18 ,  H01M2/02 ,  H01M12/08 ,  C08L23/06 ,  C08L23/08 ,  C08L23/02

Abstract: 本发明涉及一种锂‑空气电池用防水透气膜的制备方法，包括：将聚烯烃熔融在白油中，成膜、萃取、干燥，即得。本发明通过控制聚烯烃的浓度，以及成膜过程中的温度等条件制备出厚度可调、致密的防水透气膜。采用该防水透气膜制备的扣式锂‑空气电池环境适应性强，适合在空气中工作，在0.1mA/cm2的电流密度下，空气环境中可持续放电1200h以上。

公开(公告)号：CN109427538A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201710735726.3

申请日：2017-08-24

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 王庶民 ,  欧欣 ,  王畅 ,  游天桂 ,  张焱超 ,  黄凯 ,  王利娟 ,  林家杰 ,  潘文武

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种异质结构的制备方法，包括提供供体衬底，并于供体衬底表面形成牺牲层；于牺牲层表面形成薄膜盖层，其远离所述牺牲层的表面为注入面；从注入面进行离子注入，以在牺牲层中形成缺陷层；提供受体衬底，并将受体衬底与薄膜盖层的注入面键合；沿缺陷层剥离所述牺牲层，以将键合有薄膜盖层的受体衬底与供体衬底分离，获得受体衬底-薄膜盖层异质结构。通过上述方案，本发明中引入含铝化合物等易被化学腐蚀的材料作为牺牲层，层裂之后借用含铝化合物易氧化的特点，将处理牺牲层的工序简化，并且使得到的异质结构和供体衬底表面洁净，可以成功的将薄膜盖层转移到受体衬底上，在提供柔性衬底的同时，供体衬底材料还可以重复利用。