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公开(公告)号：CN109358001B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN201811251434.3
申请日：2018-10-25
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
IPC分类号： G01N21/01
摘要： 本发明公开了一种基于太赫兹光谱仪的可弯曲样品的固定装置，该固定装置包括：第一夹具组件和第二夹具组件，其中第一夹具组件至少包括第一固定夹，第二夹具组件至少包括第二固定夹，第一固定夹和第二固定夹被设置为：分别夹持待测样品的第一端和第二端，第一固定夹和第二固定夹在第一水平方向上移动，以弯曲所述待测样品。此外，本发明还公开了一种包括太赫兹时域光谱仪和上述固定装置的测量系统以及一种测量方法，测量方法采用测量系统进行测量，包括步骤：采用固定装置将待测样品夹持固定，并根据需要调整待测样品弯曲度；采用太赫兹时域光谱仪的发射端发出太赫兹信号，采用太赫兹时域光谱仪的接收端接收穿透待测样品的太赫兹信号，并进行分析。
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公开(公告)号：CN109358001A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811251434.3
申请日：2018-10-25
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
IPC分类号： G01N21/01
摘要： 本发明公开了一种基于太赫兹光谱仪的可弯曲样品的固定装置，该固定装置包括：第一夹具组件和第二夹具组件，其中第一夹具组件至少包括第一固定夹，第二夹具组件至少包括第二固定夹，第一固定夹和第二固定夹被设置为：分别夹持待测样品的第一端和第二端，第一固定夹和第二固定夹在第一水平方向上移动，以弯曲所述待测样品。此外，本发明还公开了一种包括太赫兹时域光谱仪和上述固定装置的测量系统以及一种测量方法，测量方法采用测量系统进行测量，包括步骤：采用固定装置将待测样品夹持固定，并根据需要调整待测样品弯曲度；采用太赫兹时域光谱仪的发射端发出太赫兹信号，采用太赫兹时域光谱仪的接收端接收穿透待测样品的太赫兹信号，并进行分析。
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公开(公告)号：CN209280545U
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201821735116.X
申请日：2018-10-25
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
IPC分类号： G01N21/01
摘要： 本实用新型公开了一种基于太赫兹光谱仪的可弯曲样品的固定装置，该固定装置包括：第一夹具组件和第二夹具组件，其中第一夹具组件至少包括第一固定夹，第二夹具组件至少包括第二固定夹，第一固定夹和第二固定夹被设置为：分别夹持待测样品的第一端和第二端，第一固定夹和第二固定夹在第一水平方向上移动，以弯曲所述待测样品。此外，本实用新型还公开了一种包括太赫兹时域光谱仪和上述固定装置的测量系统。本实用新型所述的固定装置克服了现有技术的不足，可以对可弯曲的待测样品进行测试，且可以自由方便地调节待测样品在空间内的相对位置，从而控制样品的弯曲程度，大大地增加了待测样品的可测量范围。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN115032844B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202210309420.2
申请日：2022-03-28
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G02F1/35
摘要： 本发明涉及一种太赫兹双光梳光谱稳定系统，包括：光学回路，用于将第一光频梳信号和第二光频梳信号进行耦合；混频器，用于将耦合后的第一光频梳信号和第二光频梳信号进行混频，产生双光梳信号；所述混频器的本振信号端连接有多级倍频链路，所述多级倍频链路用于对射频信号进行倍频处理，再通过所述混频器倍频产生太赫兹波段的本征信号，所述太赫兹波段的本征信号分别与所述第一光频梳信号和第二光频梳信号在所述混频器中混频，在微波波段产生两个下变频光频梳信号；分别锁定两个下变频光频梳信号的梳齿以锁定载波偏移频率，从而得到稳定的双光梳光谱。本发明能够在不引入飞秒激光器的情况下对载波偏移频率进行锁定。
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公开(公告)号：CN112304431B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN201910686320.X
申请日：2019-07-26
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本申请实施例涉及太赫兹应用技术领域，采用本申请实施例公开的成像系统及成像方法，通过机械联动组件与光学组件配合传输光源发射的第一光信号实现对不可移动物体的逐点移动扫描，并基于光学组件反射带有待成像物体信息的第二光束，基于机械联动组件反馈待成像物体的位置信息，再通过数据采集处理模块接收第二光束和物体的位置信息，进行图像还原。
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公开(公告)号：CN114414522B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202111612383.4
申请日：2021-12-27
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01N21/3581
摘要： 本发明涉及一种采用太赫兹光学自探测表征光频梳相干光谱的装置和方法，装置包括太赫兹量子级联激光器、IQ解调器、干涉仪、锁相放大器、拍频信号提取器、第一T型偏置器和第二T型偏置器。其中，所述待测太赫兹量子级联光频梳的出射光经过所述干涉仪发生干涉，耦合至所述太赫兹量子级联激光器谐振腔内，所述太赫兹量子级联激光器作为探测器测得光频梳模式间拍频的干涉信号。本发明不同于传统傅里叶变换光谱法测得的强度干涉谱，本发明测得是模式间拍频信号的干涉谱，对其进行傅里叶变换可得到光频梳的相干光谱，从而能够表征太赫兹量子级联光频梳梳齿之间的频率与相位信息。
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公开(公告)号：CN108917929B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201810509364.0
申请日：2018-05-24
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明提供一种太赫兹共焦显微成像系统，包括光源模块；数据采集模块；数据处理与图像还原模块；载物台模块，用于承载一待成像物体并其进行旋转和平移，以及将待成像物体的旋转平移二维信息发送至数据处理与图像还原模块；光路传输模块，用于将太赫兹光束沿一光路传输至数据采集模块，该光路上具有两个焦点且该光路穿过所述待成像物体；空间滤波模块，包括分别设于所述两个焦点处的针孔。本发明还提供其成像方法。本发明的成像系统避免了分束片的使用，减少了能量损耗，提高了成像信噪比，可以实现对隐匿物体的快速成像；此外，采用亚毫米针孔对太赫兹光束进行空间滤波，提高了成像的横向及纵向分辨率，最终可以得到物体的切片图像。
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公开(公告)号：CN116314395A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310277492.8
申请日：2023-03-21
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： H01L31/0352 , H01L31/102 , H01L31/0304 , H01L31/0224
摘要： 本发明涉及一种可单模双模工作的量子阱阵列探测器，自上而下包括上电极层、GaAs有源区和下电极层；所述GaAs有源区分布有数个微腔阵列单元；所述微腔阵列单元的顶层为上金属电极(5)，每一排所述上金属电极(5)两两之间通过二级阶梯型微带线连接，形成上电极层；所述上金属电极(5)具有若干条可调整角度的缺陷。本发明利用耦合机制的调控，可实现量子阱阵列探测器单模、双模两种探测模式，具有更好的市场应用前景。
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公开(公告)号：CN116247514A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310240998.1
申请日：2023-03-14
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： H01S5/227
摘要： 本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器脊波导刻蚀方法。该方法包括：(1)提供一种太赫兹量子级联激光器材料；(2)在材料表面进行刻蚀，刻蚀出一深度和下接触层厚度相同的凹槽(7)；(3)采用配备激光干涉仪的干法刻蚀系统对材料再进行刻蚀，刻蚀出脊形结构(8)，凹槽(7)同步被刻蚀，激光干涉仪对凹槽底部进行在线检测；(4)当激光干涉仪振荡信号强度出现跳变时，凹槽(7)底部刚好被刻蚀至下接触层(4)与刻蚀停止层(3)界面，而此时脊形结构(8)两边刚好被刻蚀至多量子阱有源区(5)和下接触层(4)的界面。该方法仅通过增加一步简单的凹槽预刻蚀工艺，即可有效判断最佳刻蚀深度，提高了激光器脊波导刻蚀深度准确性。
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公开(公告)号：CN116136614A
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：CN202111356091.9
申请日：2021-11-16
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明提供一种基于二维封闭式光子晶体结构的二阶以上窄带通滤波器，包括：第一金属板、金属柱阵列及第二金属板，金属柱阵列包括周围金属柱及缺陷金属柱；周围金属柱呈行和列等间距排布；缺陷金属柱呈列排布；缺陷金属柱两侧均与周围金属柱相邻；缺陷金属柱与相邻的周围金属柱之间的间距与两相邻周围金属柱之间的间距相等；缺陷金属柱包括第一缺陷金属柱至第N缺陷金属柱，N≥2，且以第一缺陷金属柱至第N缺陷金属柱为缺陷金属柱周期依次呈列排布，相邻两个所述缺陷金属柱周期之间具有间隔，间隔为相邻两缺陷金属柱之间间距的两倍。可解决二阶以上带通滤波器频带宽，频带工作效率相差大且频带内振荡明显的问题。
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