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公开(公告)号：CN115201941B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202110392524.X
申请日：2021-04-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种适用于空间环境的高效红外宽光谱减反射膜，该减反射膜是在红外透镜或窗口基底上，以Ge、YbF3为高低折射率材料进行主膜系构建，以ZnS为粘合层改善基底与膜层材料间的结合特性，辅以最外层ZnS为保护层提高减反射膜的空间环境使用可靠性。膜系设计采用考虑介质吸收的高低折射率交替膜系设计方法辅以粘合层，获得满足技术要求的设计结果。该宽光谱减反射膜在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺，能够实现对2‑16μm波段能量高效透射，同时具有良好的空间环境可靠性，适合于多谱段红外遥感仪器的透镜和窗口使用，在保证红外光学系统能量的高效传递的同时减少了鬼像对成像系统的影响。
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公开(公告)号：CN112162340B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010965503.8
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片，该分色片入射面采用长波通滤光片的膜系结构形式，实现短波红外反射，中长波红外透射的光谱分光功能，膜系采用锗和硫化锌作为高低折射率材料。通过使用双反射堆来实现多通道宽带反射，反射堆两端加匹配层，匹配层中使用氟化镱，优化匹配层压缩透射通道波纹；出射面设计了宽光谱减反射膜，以获得透射通道高透射率。分色片在制备过程中采用合适的沉积速率、沉积温度与离子辅助沉积等工艺。该分色片能实现在1.29μm～1.38μm、1.58μm～1.83μm、1.95μm～2.32μm三个通道内高反射，3.70μm～12.50μm内多个通道高透射。本发明的分色片可靠性好、光学及物理性能稳定。
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公开(公告)号：CN105629355A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610020758.0
申请日：2016-01-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B1/10
CPC classification number: G02B1/10
Abstract: 本发明公开了一种介质金属膜堆的低偏振灵敏度分色膜的制作方法，首先基于介质-金属-介质结构的膜堆组合，通过光学导纳技术来确定初步的光学薄膜设计；通过光学薄膜设计软件进行膜系微调和优化，使膜系结构方便监控制作；对基片进行清洗和镀前处理，采用蒸发或溅射方法进行薄膜沉积；采用反射式光学监控系统进行半直接监控，每个膜堆采用一个监控片；完成所有膜堆的沉积，输出成品。本发明可以制作高精度的低偏振灵敏度分色膜，分色光谱性能优异，同时保持透光波段的低偏振灵敏度。
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公开(公告)号：CN101907494A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010234840.6
申请日：2010-07-23
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于探测器杜瓦封装焊接的宽光谱中短波红外窗口及制备工艺，该窗口以硅为基底材料，其中一个表面的边缘及侧面是由纳米量级镍铬层作为粘合层镀制一定厚度的金膜，称之为金属化层，用于探测器杜瓦的封装焊接。而该表面中间区域及另外一表面是以ZnS和YF3作为高低折射率材料，等效层采用ZnS和Si镀制而成的高低折射率交替的多层膜结构的宽光谱中短波红外减反射膜。该减反射膜采用离子源辅助、合适基底温度等特定工艺镀制而成。该窗口在1.2-4.8μm范围内平均透射率T＞95％，且在2.7-3.0μm范围内未见YF3常见的水汽吸收峰。本发明性能稳定，适合于现代多光谱空间遥感仪器的中短波红外探测器杜瓦窗口。
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公开(公告)号：CN119688634A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411806204.4
申请日：2024-12-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于傅里叶变换红外光谱仪的低温会聚透射光谱测量装置。它包括傅里叶变换红外光谱仪、会聚角光学系统、低温光学系统和接收器。会聚角光学系统包括准直透镜、光阑、会聚透镜组和反射镜，低温光学系统包括窗口片、样品架和低温恒温器。利用准直透镜将红外光谱仪出射的发散光转化为平行光，利用孔径光阑调控平行光光斑大小，利用一套会聚透镜先将平行光转化为会聚光、待会聚光经过样品出射后再将出射的发散光转化为平行光，利用非球面凹面反射镜将入射的平行光以会聚状态反射进接收器，利用低温恒温器将样品温度降至待测温度。该低温会聚透射光谱测量装置具有结构简单、会聚角度可调控范围大、光谱波段和温度覆盖范围宽等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115201941A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202110392524.X
申请日：2021-04-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种适用于空间环境的高效红外宽光谱减反射膜，该减反射膜是在红外透镜或窗口基底上，以Ge、YbF3为高低折射率材料进行主膜系构建，以ZnS为粘合层改善基底与膜层材料间的结合特性，辅以最外层ZnS为保护层提高减反射膜的空间环境使用可靠性。膜系设计采用考虑介质吸收的高低折射率交替膜系设计方法辅以粘合层，获得满足技术要求的设计结果。该宽光谱减反射膜在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺，能够实现对2‑16μm波段能量高效透射，同时具有良好的空间环境可靠性，适合于多谱段红外遥感仪器的透镜和窗口使用，在保证红外光学系统能量的高效传递的同时减少了鬼像对成像系统的影响。
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公开(公告)号：CN104035147A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410259004.1
申请日：2014-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B1/11
Abstract: 本发明公开了一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜，该增透膜镀制在以Ge为基体材料的光学透镜上，光线垂直入射。膜系设计采用前截止滤光片为基本结构，采用非对称等效层获得与基底折射率的匹配。以ZnS和YF3作为主膜系的高低折射率材料，ZnS和Ge作为等效层材料。在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该增透膜能将可见光及近红外波段的太阳辐照尽可能反射掉，而将长波红外辐射尽可能透射。本发明具有太阳光反射功能的长波红外增透膜性能稳定，适合于中高轨道应用的小型长寿命光学敏感器的太阳防护窗使用，也可用作多光谱红外相机的分色片。
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公开(公告)号：CN103293577A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310251572.2
申请日：2013-06-21
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种以ZnSe晶体为基底的红外宽光谱分光膜，该分光膜的工作角度为0—30°，镀制在ZnSe基底上，以Ge和ZnSe为高低折射率材料，采用高低折射率交替的膜系设计方法获得折射率的匹配。大角度入射红外宽光谱分光膜在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该分光膜在入射角为0—30°时，能够实现均衡分光。本发明分光膜性能稳定，适合于干涉式大气探测技术中干涉系统的宽光谱分光使用。
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公开(公告)号：CN101907494B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201010234840.6
申请日：2010-07-23
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B1/11
Abstract: 本发明公开了一种用于探测器杜瓦封装焊接的宽光谱中短波红外窗口及制备工艺，该窗口以硅为基底材料，其中一个表面的边缘及侧面是由纳米量级镍铬层作为粘合层镀制一定厚度的金膜，称之为金属化层，用于探测器杜瓦的封装焊接。而该表面中间区域及另外一表面是以ZnS和YF3作为高低折射率材料，等效层采用ZnS和Si镀制而成的高低折射率交替的多层膜结构的宽光谱中短波红外减反射膜。该减反射膜采用离子源辅助、合适基底温度等特定工艺镀制而成。该窗口在1.2-4.8μm范围内平均透射率T＞95％，且在2.7-3.0μm范围内未见YF3常见的水汽吸收峰。本专利产品性能稳定，适合于现代多光谱空间遥感仪器的中短波红外探测器杜瓦窗口。
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公开(公告)号：CN101403806A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810202261.6
申请日：2008-11-05
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种可见/短、中波红外宽光谱分色片，该分色片以锗为基底，反射堆以ZnS和YF3为高低折射率材料，等效层采用SiO和Ge，采用离子源辅助、合适基底温度等特定工艺镀制而成。该分色片在入射角为45°下测得：透射区波段2.5～2.95μm，4.2～4.8μm，＞90％；反射区波段0.55～0.75μm，＞70％。本发明分色片产品性能稳定，适合于现代多光谱空间遥感仪器的分色使用。
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