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公开(公告)号：CN119882253A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510201291.9
申请日：2025-02-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种带宽和分光比可调的分光膜及调控方法，属于光学薄膜技术领域。所述分光膜的结构从下往上依次包括基底、界面减反膜、虚拟界面层和空气。所述界面减反膜为高低折射率膜构成的多层干涉型减反膜或基于渐变折射率实现的宽带减反膜，实现虚拟界面层到基底的反射基本为零。所述虚拟界面层为厚度为零的膜层，其与空气的界面实现宽带均匀分光。所述调控方法通过对渐变折射率的减反膜的子层细分程度来调控带宽，通过虚拟界面层折射率来调控分光比。本发明提供的分光膜及调控方法，可实现任意带宽的均匀分光，分光比可调，膜系结构简单，易于设计和制备。
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公开(公告)号：CN112162341A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010965517.X
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种光栅多级次光谱和红外背景辐射抑制的光学滤光片。在光学基片的正面上，利用线性渐变前截止滤光片，实现超光谱光学成像系统宽波段范围内，由于光栅分光引起的二级光谱的抑制与消除；在同一光学基片的背面，划分两块不同的区域，分别制备后截止滤光片和窄带滤光片，分别实现红外背景辐射抑制和光栅零级次光谱的消除。其中，光学滤光片背面区域的划分，由凸面光栅零级次光谱出现的位置来具体确定。该光学滤光片具有高度的功能集成性、结构紧凑、光学效率高等特点。
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公开(公告)号：CN103245999B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201310148794.1
申请日：2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/28
Abstract: 本发明公开了一种宽光谱带外抑制光学滤光片，在光学基片的两面分别制备滤光片的主峰膜系和带外抑制膜系。滤光片主峰选用全介质薄膜材料，采用多谐振腔F-P结构或前后截止膜系结构，滤光片带外抑制选用介质与金属薄膜材料组合，利用诱导透射实现滤光片宽光谱范围的带外抑制。该光学滤光片具有光谱稳定，带外抑制范围宽，高可靠性，高信噪比等特点。
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公开(公告)号：CN101692456B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN200910197301.7
申请日：2009-10-16
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L27/144 , H01L31/105 , H01L31/0232 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种集成滤光微结构的InGaAs线列或面阵探测器，它由InP衬底、N型InP层、氮化硅钝化层、InGaAs吸收层、P型InP帽层、P电极区、中心波长在λ1的Si/SiO2滤光微结构薄膜、中心波长在λ2的Si/SiO2滤光微结构薄膜和P电极互连层和N电极区组成。滤光微结构是基于法布里-珀罗谐振腔结构设计的带通型滤光片，选用Si和SiO2作为高折射率(nH)材料和低折射率(nL)材料。本发明的优点：滤光片微结构直接生长在InGaAs探测器芯片上，避免了多波段之间可能存在的“串色”和杂散光的进入，同时有利于两个波段尽可能靠近，缩短对同一目标探测的时间延迟。
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公开(公告)号：CN120035275A
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202510201427.6
申请日：2025-02-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于光谱分析的硅基阵列探测器的紫外光减反膜，属于光学薄膜技术领域。所述紫外光减反膜的结构从下往上依次包括硅基阵列芯片、厚度渐变膜层和匹配反射膜堆。基于成像光谱仪的阵列探测器单像元只探测单色光的特点，利用厚度渐变膜层以及匹配反射膜堆逐像元优化对应单色光的光吸收效率，从而实现更高效的光电转换效率，特别适用于紫外波段光谱分析用硅基探测器的性能优化。本发明提供的紫外光减反膜，可以极大提高硅基探测器的紫外光吸收效率，兼容现有硅基探测器制备工艺，膜系结构简单，易于制备和批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115807207A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202111071468.6
申请日：2021-09-14
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法，涉及光学薄膜技术领域。其包括步骤：制备Si膜层和SiO2膜层，获取所述膜层的第一光学厚度，进行退火处理；获取经退火处理后的Si膜层和SiO2膜层的光学常数及第二光学厚度；根据所述光学常数，计算滤光片的膜系；根据光学厚度的变化量，计算所述滤光片的修正监控膜系；在修正监控膜系的光学监控下制备所述滤光片，并进行退火处理，制得近红外滤光片。本发明提供的一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法，其制备的近红外滤光片具有高透过率和高环境稳定性等优点。
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公开(公告)号：CN109852930B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201910246126.X
申请日：2019-03-29
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种补偿中口径介质膜平面反射镜镀膜形变的方法，根据薄膜应力与变形关系式Stoney公式，首先通过分析小口径样片镀膜后应力及变形情况，预测在相同工艺条件镀膜后中口径平面反射镜面形变化；然后通过对中口径平面反射镜镀膜面预加工出与变形方向相反的面形，来补偿镀膜后膜层应力造成的基片变形，最后完成中口径介质膜平面反射镜膜层的沉积。采用本发明的补偿方法制作的中口径介质膜平面反射镜具有单面镀膜面形可控，工艺可操作性强，成品率高等优点。
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公开(公告)号：CN119688634A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411806204.4
申请日：2024-12-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于傅里叶变换红外光谱仪的低温会聚透射光谱测量装置。它包括傅里叶变换红外光谱仪、会聚角光学系统、低温光学系统和接收器。会聚角光学系统包括准直透镜、光阑、会聚透镜组和反射镜，低温光学系统包括窗口片、样品架和低温恒温器。利用准直透镜将红外光谱仪出射的发散光转化为平行光，利用孔径光阑调控平行光光斑大小，利用一套会聚透镜先将平行光转化为会聚光、待会聚光经过样品出射后再将出射的发散光转化为平行光，利用非球面凹面反射镜将入射的平行光以会聚状态反射进接收器，利用低温恒温器将样品温度降至待测温度。该低温会聚透射光谱测量装置具有结构简单、会聚角度可调控范围大、光谱波段和温度覆盖范围宽等特点。
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公开(公告)号：CN119148270A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411147973.8
申请日：2024-08-21
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种以硅为基底的宽角度位相差消偏反射镜。该反射镜利用金属镍铬膜层和金属银膜层的结合，提升了硅基底和金属膜层之间的结合力；利用金属膜层特性实现了信号通道高反射率、低偏振灵敏度；利用保护层保证金属膜层避免氧化，从而反射镜具有较高的环境适应性；利用多层介质位相抑制膜层实现信号通道宽角度范围内位相差消偏。本发明的硅基底宽角度位相差消偏反射镜具有膜层数少、工艺易于实施及可靠性好的特点。
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公开(公告)号：CN112162341B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010965517.X
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种光栅多级次光谱和红外背景辐射抑制的光学滤光片。在光学基片的正面上，利用线性渐变前截止滤光片，实现超光谱光学成像系统宽波段范围内，由于光栅分光引起的二级光谱的抑制与消除；在同一光学基片的背面，划分两块不同的区域，分别制备后截止滤光片和窄带滤光片，分别实现红外背景辐射抑制和光栅零级次光谱的消除。其中，光学滤光片背面区域的划分，由凸面光栅零级次光谱出现的位置来具体确定。该光学滤光片具有高度的功能集成性、结构紧凑、光学效率高等特点。
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