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公开(公告)号：CN116544294A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310027692.8
申请日：2023-01-09
申请人： 中国科学院上海技术物理研究所
IPC分类号： H01L31/102 , H01L31/024 , H01L31/0296 , H01L31/02 , G05D23/24
摘要： 本发明公开了一种可精确控温的垂直集成式制冷型碲镉汞探测器组件，其结构从下往上依次为三级半导体制冷器，环氧胶，锰钴镍氧热敏电阻，环氧胶，碲镉汞探测器；其中锰钴镍氧热敏电阻结构从下往上依次为蓝宝石衬底，锰钴镍氧薄膜，以及热敏薄膜表面两侧的镉/金复合电极；其中碲镉汞探测器结构从下往上依次为蓝宝石衬底，环氧胶，碲镉汞功能材料，阳极氧化层，ZnS增透层，以及碲镉汞材料表面两侧的铟/金复合电极。该探测器组件不仅能够准确测得探测器温度的实时变化，而且有效解决了常规工艺中将热敏电阻贴附在探测器侧壁上带来的温度漂移问题，使得碲镉汞探测器的精确控温成为可能，极大缓解了高精度应用场景中对探测器控温精度的要求。
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公开(公告)号：CN109238475A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810945362.6
申请日：2018-08-20
申请人： 中国科学院上海技术物理研究所
IPC分类号： G01J5/20
摘要： 本发明公开了一种有弯曲支撑腿微桥结构的锰钴镍氧热敏电阻探测器及方法，包括一双抛蓝宝石衬底；磁控溅射法生长的SiO2桥墩；一锰钴镍氧薄膜材料；制作成弯曲腿结构的欧姆接触电极。弯曲腿与锰钴镍材料下方的牺牲层释放后，形成自支撑的悬空结构。该结构不仅降低了光敏面与下方衬底之间直接的热传导，而且有效降低了电极与衬底之间的热传导，使得热敏探测器的响应率大大提高。
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公开(公告)号：CN115747715B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202211520071.5
申请日：2022-11-30
申请人： 中国科学院上海技术物理研究所
摘要： 本发明提供一种支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件，属于红外探测器技术领域，其可至少部分解决现有的红外探测器窗口片金属化工艺中手工粘贴掩膜块导致的精度不准和效率低下的问题。本发明的一种支撑板具有第一开孔、第二开孔、第三开孔和凸台，凸台设于支撑板用于与定位板接触的表面上，且凸台用于与定位板开口卡合，用于掩膜块定位。
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公开(公告)号：CN115747715A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211520071.5
申请日：2022-11-30
申请人： 中国科学院上海技术物理研究所
摘要： 本发明提供一种支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件，属于红外探测器技术领域，其可至少部分解决现有的红外探测器窗口片金属化工艺中手工粘贴掩膜块导致的精度不准和效率低下的问题。本发明的一种支撑板具有第一开孔、第二开孔、第三开孔和凸台，凸台设于支撑板用于与定位板接触的表面上，且凸台用于与定位板开口卡合，用于掩膜块定位。
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