-
公开(公告)号:CN111571000B
公开(公告)日:2021-08-31
申请号:CN202010438905.2
申请日:2020-05-21
申请人: 中国科学院半导体研究所
摘要: 一种用于大型设备的激光清洗装置及方法,该激光清洗装置包括履带车底盘,用于实现水平方向上移动;转动部件,设置在履带车底盘上,用于实现水平方向上的旋转;升降部件,设置在转动部件上,起升降作用;运动部件,设置在升降部件上;清洗加工头,设置在运动单元上;激光部件,设置在清洗加工头内部,用于产生激光;远心镜头定位组件,设置在运动部件上,用于定位;以及控制部件,用于实现清洗加工头对大型设备的清洗。本发明可实现大型结构件的自动化清洗;通过网格划分法对大型结构进行分割可简化自动控制系统的复杂性。
-
公开(公告)号:CN111571000A
公开(公告)日:2020-08-25
申请号:CN202010438905.2
申请日:2020-05-21
申请人: 中国科学院半导体研究所
摘要: 一种用于大型设备的激光清洗装置及方法,该激光清洗装置包括履带车底盘,用于实现水平方向上移动;转动部件,设置在履带车底盘上,用于实现水平方向上的旋转;升降部件,设置在转动部件上,起升降作用;运动部件,设置在升降部件上;清洗加工头,设置在运动单元上;激光部件,设置在清洗加工头内部,用于产生激光;远心镜头定位组件,设置在运动部件上,用于定位;以及控制部件,用于实现清洗加工头对大型设备的清洗。本发明可实现大型结构件的自动化清洗;通过网格划分法对大型结构进行分割可简化自动控制系统的复杂性。
-