公开(公告)号：CN111571000A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN202010438905.2

申请日：2020-05-21

申请人： 中国科学院半导体研究所

发明人： 张志研 ,  徐昕 ,  林学春 ,  刘顿 ,  何跃 ,  董智勇 ,  赵树森

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/36 ,  B08B7/00

摘要： 一种用于大型设备的激光清洗装置及方法，该激光清洗装置包括履带车底盘，用于实现水平方向上移动；转动部件，设置在履带车底盘上，用于实现水平方向上的旋转；升降部件，设置在转动部件上，起升降作用；运动部件，设置在升降部件上；清洗加工头，设置在运动单元上；激光部件，设置在清洗加工头内部，用于产生激光；远心镜头定位组件，设置在运动部件上，用于定位；以及控制部件，用于实现清洗加工头对大型设备的清洗。本发明可实现大型结构件的自动化清洗；通过网格划分法对大型结构进行分割可简化自动控制系统的复杂性。

公开(公告)号：CN111571000B

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN202010438905.2

申请日：2020-05-21

申请人： 中国科学院半导体研究所

发明人： 张志研 ,  徐昕 ,  林学春 ,  刘顿 ,  何跃 ,  董智勇 ,  赵树森

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/36 ,  B08B7/00

摘要： 一种用于大型设备的激光清洗装置及方法，该激光清洗装置包括履带车底盘，用于实现水平方向上移动；转动部件，设置在履带车底盘上，用于实现水平方向上的旋转；升降部件，设置在转动部件上，起升降作用；运动部件，设置在升降部件上；清洗加工头，设置在运动单元上；激光部件，设置在清洗加工头内部，用于产生激光；远心镜头定位组件，设置在运动部件上，用于定位；以及控制部件，用于实现清洗加工头对大型设备的清洗。本发明可实现大型结构件的自动化清洗；通过网格划分法对大型结构进行分割可简化自动控制系统的复杂性。

公开(公告)号：CN105904085A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201610532697.6

申请日：2016-07-07

申请人： 中国科学院半导体研究所

发明人： 汪楠 ,  徐昕 ,  赵亚平 ,  陈晴 ,  林学春 ,  杨盈莹 ,  于海娟

IPC分类号： B23K26/064

CPC分类号： B23K26/064 ,  B23K2101/40

摘要： 一种半导体激光加工系统，包括：用于产生激光的半导体激光装置以及光路部分，光路部分包括：依次设置的第一双折射晶体、偏振旋转器、二分之一波片、以及第二双折射晶体；其中，所述激光正向通过所述光路部分后，对加工件进行加工，而由所述加工件反射形成的反馈光逆向通过所述光路部分后，沿与所述激光平行且偏移预设距离的方向出射，避免了反馈光返回半导体激光器造成的不良影响。