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公开(公告)号：CN117856015A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410002372.1
申请日：2024-01-02
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01S3/067
Abstract: 本公开提供了一种基于外注入信号的脉冲激光放大系统及方法，可以应用于低重频纳秒脉冲光纤激光技术领域。该系统包括：外注入信号装置和脉冲激光器。外注入信号装置包括：第一泵浦源，被配置为产生第一泵浦光；谐振腔，被配置为吸收第一泵浦光，基于粒子数反转产生自发辐射，得到中间外注入信号光；调制器，被配置为对中间外注入信号光进行调制，得到目标外注入信号光；衰减器，被配置为调整目标外注入信号光的功率。脉冲激光器，被配置为对初始信号光进行增益放大，输出目标信号光，其中，初始信号光包括目标外注入信号光和脉冲激光器中的种子信号光。
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公开(公告)号：CN114566855A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202210089084.5
申请日：2022-01-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本申请涉及高功率大能量脉冲激光放大技术领域，尤其涉及一种用于调Q脉冲光纤激光器的波形控制器。其中，该波形控制器，包括：输入光纤导入第一脉冲激光；分束单元将第一脉冲激光分束为至少三路光纤传输的第二脉冲激光；延时单元对至少三路的第二脉冲激光进行时域波形调控，得到至少三路的第三脉冲激光；合束单元将至少三路的第三脉冲激光合束为一路，得到第四脉冲激光；输出光纤导出第四脉冲激光。采用上述方案的本申请可以实现对脉冲激光的波形控制以及降低脉冲激光的脉冲峰值功率，进而实现调Q脉冲光纤激光器中脉冲激光功率和能量的进一步放大。
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公开(公告)号：CN114566855B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202210089084.5
申请日：2022-01-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本申请涉及高功率大能量脉冲激光放大技术领域，尤其涉及一种用于调Q脉冲光纤激光器的波形控制器。其中，该波形控制器，包括：输入光纤导入第一脉冲激光；分束单元将第一脉冲激光分束为至少三路光纤传输的第二脉冲激光；延时单元对至少三路的第二脉冲激光进行时域波形调控，得到至少三路的第三脉冲激光；合束单元将至少三路的第三脉冲激光合束为一路，得到第四脉冲激光；输出光纤导出第四脉冲激光。采用上述方案的本申请可以实现对脉冲激光的波形控制以及降低脉冲激光的脉冲峰值功率，进而实现调Q脉冲光纤激光器中脉冲激光功率和能量的进一步放大。
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公开(公告)号：CN116329781A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202111593358.6
申请日：2021-12-23
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064 , B23K26/03 , B23K26/08 , H01L21/268
Abstract: 本公开提供一种脆性材料自然裂片装置及其方法，脆性材料裂片装置包括吸附台、激光系统、光束聚焦系统以及三维位移系统，将大能量脉冲激光聚焦在脆性材料内部，当焦点处功率密度达到一定值时，材料被气化形成蒸汽，蒸汽的扩展使得材料实现自然裂片。本公开主要特点是脉冲激光在材料内焦点位置处形成的蒸汽不断向周围扩展，在扫描完成后整个晶圆出现翘曲，即可实现材料的自然裂片。
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公开(公告)号：CN117060202A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310912725.7
申请日：2023-07-24
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本申请提出一种激光脉冲串时域形貌调制装置及方法，其中，该装置包括：激光源、控制模块、增益补偿循环模块和光纤耦合器；激光源，用于产生待调制的初始激光脉冲串；控制模块，用于发出控制增益补偿循环模块的工作状态的射频信号，并将其输送至增益补偿循环模块；增益补偿循环模块，用于提升第一激光脉冲串中的各个子脉冲的能量，并使提升能量后的子脉冲与初始激光脉冲串中对应的子脉冲在时域上重合；光纤耦合器，用于将各个叠加后的子脉冲按照预设的耦合比进行耦合，输出第一激光脉冲串和调制后的第二激光脉冲串。本方案利用增益预补偿技术和脉冲时域叠加技术对包络内各个子脉冲的能量进行逐个调控，实现激光脉冲串时域的形貌调制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113708204A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202111132248.X
申请日：2021-09-26
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供一种多腔复合脉冲激光器，包括：外谐振腔，包括：泵浦源，用于产生泵浦光；外腔增益光纤，用于吸收泵浦源产生的泵浦光并辐射外腔信号激光；外腔反射型布拉格光栅，用于将外腔信号激光在外腔反射型布拉格光栅内振荡，形成激光振荡；内谐振腔，包括：内腔增益光纤，用于吸收外腔信号激光，形成外腔脉冲激光；内腔增益光纤能够吸收外腔激光脉冲，并辐射内腔信号激光；内腔反射型布拉格光栅，用于将内腔信号激光在内腔反射型布拉格光栅内振荡，形成激光脉冲并输出。本公开提供一种多腔复合脉冲激光放大器。
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公开(公告)号：CN114985990B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202210826507.7
申请日：2022-07-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064 , H01L21/78
Abstract: 本发明公开了一种双激光裂片方法和装置，该方法和装置为对脆性材料进行裂片的方法和装置，利用超短脉冲激光束的高峰值功率和“冷加工”的特点在材料非线性吸收，使得材料的局部位置发生爆破，形成微裂纹实现材料改质，然后利用短脉冲激光束或连续激光束的热特性实现材料内部裂纹的均匀扩展，最终获得表面粗糙度较低的材料表面。由于材料表面粗糙度较低，在进行研磨和抛光时可大大减小后续的加工时间，这样对加工效率有质的提升，同时降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN113708204B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202111132248.X
申请日：2021-09-26
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供一种多腔复合脉冲激光器，包括：外谐振腔，包括：泵浦源，用于产生泵浦光；外腔增益光纤，用于吸收泵浦源产生的泵浦光并辐射外腔信号激光；外腔反射型布拉格光栅，用于将外腔信号激光在外腔反射型布拉格光栅内振荡，形成激光振荡；内谐振腔，包括：内腔增益光纤，用于吸收外腔信号激光，形成外腔脉冲激光；内腔增益光纤能够吸收外腔激光脉冲，并辐射内腔信号激光；内腔反射型布拉格光栅，用于将内腔信号激光在内腔反射型布拉格光栅内振荡，形成激光脉冲并输出。本公开提供一种多腔复合脉冲激光放大器。
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公开(公告)号：CN115770964A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202111059052.2
申请日：2021-09-09
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 本发明提供一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置，包括激光器、光束扩束准直系统、衍射元件以及光束聚焦系统；激光器用以发射激光，光束扩束准直系统设于激光传输的光路上，所述光束扩束准直系统用以对所述激光器发出的激光进行扩束；衍射元件用以使激光产生多个衍射级次；光束聚焦系统用以对激光进行聚焦，以使得激光在脆性材料的纵向位置上会形成多焦点。本发明是通过引入特定衍射光学元件，并在聚焦光路上加上高频振荡的滤光片，控制在材料内部焦点的聚焦先后顺序，在材料纵向位置上激光一次扫描即可形成多个改质层，从而提高大大提高冷裂效率。
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公开(公告)号：CN114985990A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210826507.7
申请日：2022-07-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064 , H01L21/78
Abstract: 本发明公开了一种双激光裂片方法和装置，该方法和装置为对脆性材料进行裂片的方法和装置，利用超短脉冲激光束的高峰值功率和“冷加工”的特点在材料非线性吸收，使得材料的局部位置发生爆破，形成微裂纹实现材料改质，然后利用短脉冲激光束或连续激光束的热特性实现材料内部裂纹的均匀扩展，最终获得表面粗糙度较低的材料表面。由于材料表面粗糙度较低，在进行研磨和抛光时可大大减小后续的加工时间，这样对加工效率有质的提升，同时降低了生产成本。
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