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公开(公告)号：CN117976582A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410177664.9
申请日：2024-02-08
申请人： 中国科学院半导体研究所
IPC分类号： H01L21/67 , H01S3/00 , H01S5/00 , H01L21/268
摘要： 本申请提供了一种脉宽可调的多脉冲激光退火系统及其控制方法，该激光退火系统包括激光器组件和调制组件。激光器组件用于输出调制脉冲激光，以对半导体晶体进行退火，调制组件与激光器组件连接，用于向激光器组件输出射频信号，以对激光器组件产生的激光进行调制。其中，射频信号被配置为一个周期内设有多个功率自第一功率向第二功率下降的射频台阶，激光器组件基于射频信号的每个射频台阶控制激光器组件输出多个不连续的子脉冲激光，多个不连续的子脉冲激光共同组成调制脉冲激光，对半导体晶体表面的退火温度和退火时间进行调整，提高了半导体晶体激光退火工艺的生产效率。
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公开(公告)号：CN112676267B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202011435616.3
申请日：2020-12-10
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本公开提供一种脉冲激光清洗方法，包括分别对第一电机和第二电机施加第一周期信号和第二周期信号，以驱动第一振镜和第二振镜进行第一方向和第二方向扫描；第一周期信号周期为第二周期信号周期的两倍，在第二周期信号一个周期内，第一周期信号与第二周期信号具有相同的两个第一时间区间和一个第二时间区间；第一周期信号在第二时间区间内波形斜率为零，其在第一时间区间内波形斜率的绝对值与第二周期信号在第二时间区间内波形斜率的绝对值相等，且第二周期信号在两时间区间内波形斜率的绝对值不相等；采用脉冲激光器对待清洗件表面进行激光扫描处理，利用工业机器人带动激光加工头在第二方向移动，以实现对待清洗件表面的清洗。
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公开(公告)号：CN113471803B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202110754231.1
申请日：2021-07-02
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 一种脉冲输出可调的声光调Q固体激光器及脉冲激光产生方法，该声光调Q固体激光器包括：振荡级模块，用于被泵浦持续产生激光；可编程信号发生器，用于产生模拟信号；声光Q驱动器，用于接收所述可编程信号发生器产生的模拟信号，产生台阶状的射频信号；声光Q开关，用于接收所述声光Q驱动器产生的射频信号，并基于所述射频信号对所述振荡级模块产生的连续激光进行调制，使其转变为脉冲激光。
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公开(公告)号：CN113471803A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110754231.1
申请日：2021-07-02
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 一种脉冲输出可调的声光调Q固体激光器及脉冲激光产生方法，该声光调Q固体激光器包括：振荡级模块，用于被泵浦持续产生激光；可编程信号发生器，用于产生模拟信号；声光Q驱动器，用于接收所述可编程信号发生器产生的模拟信号，产生台阶状的射频信号；声光Q开关，用于接收所述声光Q驱动器产生的射频信号，并基于所述射频信号对所述振荡级模块产生的连续激光进行调制，使其转变为脉冲激光。
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公开(公告)号：CN112676267A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011435616.3
申请日：2020-12-10
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本公开提供一种脉冲激光清洗方法，包括分别对第一电机和第二电机施加第一周期信号和第二周期信号，以驱动第一振镜和第二振镜进行第一方向和第二方向扫描；第一周期信号周期为第二周期信号周期的两倍，在第二周期信号一个周期内，第一周期信号与第二周期信号具有相同的两个第一时间区间和一个第二时间区间；第一周期信号在第二时间区间内波形斜率为零，其在第一时间区间内波形斜率的绝对值与第二周期信号在第二时间区间内波形斜率的绝对值相等，且第二周期信号在两时间区间内波形斜率的绝对值不相等；采用脉冲激光器对待清洗件表面进行激光扫描处理，利用工业机器人带动激光加工头在第二方向移动，以实现对待清洗件表面的清洗。
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