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公开(公告)号：CN118362807A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410562273.9
申请日：2024-05-08
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： G01R31/00
摘要： 本发明公开一种分布电容能量吸收验证装置，属于直流高压浪涌抑制领域，主要由直流高压发生器、高压开关、高压电容组、隔离变压器、能量吸收装置以及高压球隙短路开关等部件组成，通过高压电容组模拟分布电容，利用高压球隙短路开关模拟直流高压系统的短路故障，实现能量吸收装置的性能验证。本发明具有验证电压精确可调、脉冲电容组容量可调、可定量分析等优点，是分布电容能量吸收装置设计与制造过程中进行性能评估的可靠装置。
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公开(公告)号：CN118362807B
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410562273.9
申请日：2024-05-08
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： G01R31/00
摘要： 本发明公开一种分布电容能量吸收验证装置，属于直流高压浪涌抑制领域，主要由直流高压发生器、高压开关、高压电容组、隔离变压器、能量吸收装置以及高压球隙短路开关等部件组成，通过高压电容组模拟分布电容，利用高压球隙短路开关模拟直流高压系统的短路故障，实现能量吸收装置的性能验证。本发明具有验证电压精确可调、脉冲电容组容量可调、可定量分析等优点，是分布电容能量吸收装置设计与制造过程中进行性能评估的可靠装置。
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公开(公告)号：CN118737781A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410891112.4
申请日：2024-07-04
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要： 本发明公开了一种大功率射频离子源保护系统，涉及射频离子源技术领域。通过对反应射频离子源等离子体放电状态的的驻波信号和功率反射信号进行处理，并与设定的保护阈值进行比较，从而可判定出在非正常放电下需要发出的保护信号，进而关闭射频功率输出，中止等离子体放电，达到保护离子源和功率源的目的。同时，在等离子体建立的初始时刻，由于阻抗匹配从失配进入匹配的过程中会引起驻波和反射信号的突变，本发明的保护系统设计了一个盲区，用于在该时刻来屏蔽保护信号的发出，从而避免等离子体无法正常激发。本发明不仅提升了射频离子源工作时的安全性，还有效地保障了射频离子源的高效持久运行。
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公开(公告)号：CN118356787A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410563864.8
申请日：2024-05-08
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： B01D53/32
摘要： 本发明公开了一种真空泵返油降解装置，由放电腔体、激励线圈以及射频功率源等部分组成，通过向放电腔体通入放电基底气体并产生等离子体，利用等离子体中高温、高密度的自由电子撞击真空泵油蒸汽分子中的碳碳键，将真空泵油的大分子转化为难沉积易抽离的低分子物质。该装置能够有效阻止真空泵油蒸汽反流至真空室，相较于一般的真空泵油蒸汽冷凝或者吸附装置，其具有结构简单、造价成本低、随开随用、维护周期长、正常使用过程中不需要更换部件等优点。
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公开(公告)号：CN113485515B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202110728552.4
申请日：2021-06-29
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： G05F1/66
摘要： 本发明涉及一种大功率射频功率源输出功率线性控制系统和方法，所述系统包括射频信号产生单元、射频功放模块组、功率合成单元、控制信号源、信号处理单元、功率控制单元；射频功放模块组的每个射频功放模块连接至功率合成单元中功率合成变压器的初级；功率合成单元对各个射频功放模块的功率进行合成输出；控制信号源是给定的用于控制输出功率的模拟电压信号；所述功率控制单元根据信号处理单元得到的数字信号，通过协同调整功率模块数量以及供电单元电压控制射频功放模块组的功率输出。本发明实现了模拟信号对射频功率源输出功率的线性控制，保证了输出功率的线性叠加，从根本上解决了功率调节精度下降的问题，提高了在高功率输出条件下的功率调节精度。
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公开(公告)号：CN113485515A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110728552.4
申请日：2021-06-29
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： G05F1/66
摘要： 本发明涉及一种大功率射频功率源输出功率线性控制系统和方法，所述系统包括射频信号产生单元、射频功放模块组、功率合成单元、控制信号源、信号处理单元、功率控制单元；射频功放模块组的每个射频功放模块连接至功率合成单元中功率合成变压器的初级；功率合成单元对各个射频功放模块的功率进行合成输出；控制信号源是给定的用于控制输出功率的模拟电压信号；所述功率控制单元根据信号处理单元得到的数字信号，通过协同调整功率模块数量以及供电单元电压控制射频功放模块组的功率输出。本发明实现了模拟信号对射频功率源输出功率的线性控制，保证了输出功率的线性叠加，从根本上解决了功率调节精度下降的问题，提高了在高功率输出条件下的功率调节精度。
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公开(公告)号：CN115859756A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202310165563.5
申请日：2023-02-27
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要： 本发明公开了一种射频离子源驱动器等效阻抗计算方法，该方法基于理想气体方程、等离子体电动力学以及变压器模型等理论，通过给定的感性耦合射频等离子体放电条件，逐步推导等离子体电子温度、欧姆加热频率、随机加热频率、等离子体电导率等等离子体状态参数，最终计算得出各项放电条件下射频离子源驱动器的等效阻抗数值结果。该方法具有计算速度快、参数更改灵活、计算条件要求低等优点，弥补了射频离子源驱动器等效阻抗解析计算的空白，为射频离子源阻抗匹配的设计与长脉冲稳定运行提供了理论参考。
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公开(公告)号：CN106229122A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610808040.8
申请日：2016-09-07
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
CPC分类号： H01F27/2823 , H01F27/24
摘要： 本发明公开了一种高频隔离变压器，包括有铠装高压电缆和多个磁环，所述的铠装高压电缆包括有内导体以及依次包覆在内导体外侧的内绝缘层、屏蔽层、外绝缘层、铠装层和橡胶外护套，所述的多个磁环紧密的套在铠装高压电缆的橡胶外护套上，所述的内导体的两端形成变压器的次级，并连接绝缘接口次级输出端，所述的屏蔽层和铠装层的两端连接形成变压器的初级，且屏蔽层和铠装层的两端分别连接绝缘接口初级输入端。本发明通过有效的结构设计，将射频离子源的射频发射机和射频离子源上高电位端的线圈等进行了隔离，且通过采用常规的高压电缆作为主体结构，简化了加工和制作难度，降低了成本。
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公开(公告)号：CN208027124U
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201820360356.X
申请日：2018-03-16
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： G05B19/042
摘要： 本实用新型公开了一种用于IGBT驱动的高精度触发系统，包括有FPGA以及分别与FPGA连接的电源电路、芯片配置及调试电路、时钟及复位电路、串口通信电路、显示及状态输入输出电路和IGBT驱动信号输出接口，所述的电源电路分别给FPGA、芯片配置及调试电路、时钟及复位电路、串口通信电路和显示及状态输入输出电路供电。本实用新型以FPGA芯片为核心，结合硬件描述语言实现多路IGBT驱动触发信号，系统输出精度高，抗干扰性强，易于集成，成本低。本实用新型利用通信接口实现FPGA与PC机通信，可以通过PC机实时控制所述系统输出脉冲的参数，易于调试和工程应用，增强了系统的可扩展性。
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公开(公告)号：CN206743100U
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201720283814.X
申请日：2017-03-22
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： H02M1/092
摘要： 本实用新型公开了一种强流离子源抑制极电源快速高压开关，包括有IGBT串联电路、均压电路、驱动电路和信号处理电路，IGBT串联电路由多只IGBT串联连接而成，均压电路包括有相互并联的静态均压电阻和动态缓冲电路，动态缓冲电路包括有二极管、缓冲电阻、缓冲电容，缓冲电阻与缓冲电容串联连接，二极管并联在缓冲电阻的两端，每个IGBT的集电极和发射极上并联一个均压电路，均压电路的二极管的正极连接到对应IGBT的集电极；各IGBT的栅极与IGBT驱动电路连接，IGBT驱动电路与信号处理电路双向电连接，信号处理电路完成IGBT各种信号的逻辑处理并通过光纤与主控系统双向连接。本实用新型结构简单、运行可靠、功耗低。
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